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Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. Patente

🇺🇸 USA

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

690
Patente
2000–2019
Anmeldejahre
20
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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690 gesamt
Patent
27.06.2019
Apparatus and method for controlling ion beam properties using energy filter
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.06.2019
Ion beam quality control using a movable mass resolving device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.06.2019
System and method to monitor glitch energy
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.06.2019
Device structure for forming semiconductor device having angled contacts
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.06.2019
Verfahren zur Erzielung eines Anhaltenden Wachstums Anisotroper Kristalle auf der Oberfläche einer Siliciumschmelze
Metallurgie & Oberflächentechnik
09.05.2019
System and method for minimizing backside workpiece damage
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.05.2019
Apparatus and techniques for beam mapping in ion beam system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.05.2019
Varied component density for thermal isolation
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.05.2019
Techniques and structure for forming dynamic random access device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.05.2019
Entfernung einer Folie von der Oberfläche einer Schmelze mittels Gasstrahlen
Metallurgie & Oberflächentechnik
01.05.2019
Hochspannungsbuchse für Kryogenik Anwendungen
Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.03.2019
Fehlerstrombegrenzer mit Fehlerprüfsystem für Leistungselektronik und Bypass-Schaltung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Elektrische Energietechnik
14.03.2019
Apparatus and method for improved ion beam current
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.02.2019
Current protection device with mutual reactor
Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.02.2019
Performance improvement of euv photoresist by ion implantation
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.01.2019
Apparatus and techniques for anisotropic substrate etching
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.01.2019
Ionenimplantation zur Herstellung eines Supraleiterbandes
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.12.2018
Fehlerstrombegrenzer mit Selbstprüfender Leistungselektronik und Zündschaltung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Elektrische Energietechnik
29.11.2018
Fixed position mask for workpiece edge treatment
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.11.2018
Fault Current Limiter Providing Symmetrical Electrostatic Shielding
Elektrische Energietechnik
31.10.2018
System und Verfahren zum Züchten Kristalliner Folien unter Verwendung eines Kaltblocks und Gasstrahls
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.09.2018
Electrostatic Element Having Grooved Exterior Surface
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.09.2018
Apparatus and techniques for decelerated ion beam with no energy contamination
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.08.2018
Apparatus and method for minimizing thermal distortion in electrodes used with ion sources
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.08.2018
Pneumatically operable current protection device for a fault current limiter
Elektrische Energietechnik
02.08.2018
Dual Cathode Ion Source
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.08.2018
Ion mass separation using rf extraction
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.06.2018
Gas injection system for ion beam device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.06.2018
Rf clean system for electrostatic elements
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.05.2018
Plasma doping using a solid dopant source
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
11.05.2018
Removable Substrate Plane Structure Ring
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.05.2018
Rf ion source with dynamic volume control
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.05.2018
Apparatus and method for differential in situ cleaning
Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
26.04.2018
Curved Post Scan Electrode
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.03.2018
Techniques for forming patterned features using directional ions
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.03.2018
Extreme Edge Uniformity Control
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.03.2018
Angle control for radicals and reactive neutral ion beams
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.02.2018
Composite patterning mask using angled ion beam deposition
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.02.2018
Electrode, accelerator column and ion implantation apparatus including same
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
17.01.2018
System und Verfahren für Steuerbare Nichtflüchtige Metallentfernung
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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