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ASML Netherlands Patente

🇳🇱 Niederlande

ASML Netherlands B.V. ist die niederländische Kernsparte des weltweit führenden Herstellers von Lithografiesystemen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Veldhoven. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Optik und Fototechnik, ergänzt um Elektronik, elektrische Energietechnik und Halbleiterbauelemente. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2020.

390
Patente
2000–2020
Anmeldejahre
16
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

Patente durchsuchen

390 gesamt
Patent
19.11.2009
Inspection apparatus for lithography
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
05.11.2009
Support structure, inspection apparatus, lithographic apparatus and methods for loading and unloading substrates
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.10.2009
Inspection apparatus for lithography
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
14.10.2009
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.09.2009
Lithografische Vorrichtung und Herstellungsverfahren für ein Halbleiterbauelement
Steuerungs- & Regelungstechnik
19.08.2009
Polarisierte Strahlung in einem lithografischen Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
19.08.2009
Lithographieapparat und Verfahren zum Aufbereiten eines Innenraums eines Gerätes zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung
Optik & Fototechnik
15.07.2009
Verfahren zur Oberflächenreinigung, Geräteherstellungsverfahren, Reinigungsanordnung, Reinigungsgerät und Lithografiegerät
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
15.07.2009
System und Verfahren zum Ausgleich kritischer Dimensionsungleichförmigkeit in einem Lithographiesystem
Optik & Fototechnik
24.06.2009
Lithografische Immersionsvorrichtung und Geräteherstellungsverfahren
Optik & Fototechnik
13.05.2009
Verfahren zum Herstellen eines Substrats für die Lithografie, Substrat, Vorrichtungsherstellungsverfahren, Aufbringer für die Isolierbeschichtung und Messvorrichtung für die Isolierbeschichtung
Optik & Fototechnik
01.04.2009
Lithografische Vorrichtung mit Lorentz-Aktuator und Verbundstoffträger
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
11.03.2009
Lithographischer Apparat, Vorrichtung für den Wechsel einer Fotomaske und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
14.01.2009
Substrate und Verfahren zur Verwendung der Substrate
Optik & Fototechnik
26.11.2008
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung von Bauelementen
Optik & Fototechnik
26.11.2008
Lithografischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
19.11.2008
Verschiebungsmesssystem
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
29.10.2008
Lithographischer Apparat
Optik & Fototechnik
08.10.2008
Lithografische Vorrichtung und Herstellungsverfahren dafür
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
27.08.2008
Lithografische Vorrichtung, Kontaminantfalle und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
13.08.2008
Optischer Abschwächer, Strahlsystem, damit ausgerüsteter lithographischer Apparat und Methode zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
09.07.2008
Mikrobauteile mit Kontakthöckern auf zwei Seiten und Herstellungsverfahren dafür
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.07.2008
Lithographischer Projektionsapparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
18.06.2008
Lithografische Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
18.06.2008
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
18.06.2008
Lithographische Vorrichtung
Optik & Fototechnik
18.06.2008
Verfahren zur Herstellung von optimierten Sollwertdaten in einem maskenlosen Lithographiesystem und entsprechendes Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
11.06.2008
Substratträger und lithographisches Verfahren
Optik & Fototechnik
16.04.2008
Verfahren, Ausrichtungsmarkierung und Nutzung eines harten Maskenmaterials
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.03.2008
Systeme und Verfahren zum Ablenken von Plasmaerzeugten Ionen, um zu Verhindern, Dass die Ionen eine Innere Komponente einer Euv-Lichtquelle Erreichen
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
27.02.2008
Lithografische Vorrichtung und Vorrichtungsherstellungsverfahren unter Verwendung von interferometrischen und maskenlosen Belichtungseinheiten
Optik & Fototechnik
13.02.2008
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
30.01.2008
Lithographische Vorrichtung, Verfahren zur Kalibrierung einer lithographischen Vorrichtung und Geräteherstellungsverfahren
Optik & Fototechnik
23.01.2008
Abgabevorrichtung für ein bedruckbares Medium
Optik & Fototechnik
23.01.2008
Lithographische Vorrichtung, Aberrationskorrekturgerät und Herstellungsverfahren für eine Vorrichtung
Optik & Fototechnik
26.12.2007
Sensor zur Verwendung in einer lithografischen Vorrichtung
Optik & Fototechnik
19.12.2007
Wellenfrontsensor mit Graufilter und damit versehene Lithographievorrichtung
Optik & Fototechnik
05.12.2007
Messwerkzeug, System mit einer lithographischen Vorrichtung und einem Messwerkzeug und Verfahren zum Bestimmen eines Parameters eines Substrats
Optik & Fototechnik
28.11.2007
Verfahren zur Ausrichtung und Belichtung eines Substrats
Optik & Fototechnik
21.11.2007
Kennzeichnungsverfahren für ein Substrat, Verfahren zur Kennzeichnung eines Arbeitsganges, Geräteherstellungsverfahren und Computerprogramm
Optik & Fototechnik

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