ASML Patente
🇳🇱 Niederlande
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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3.336 gesamt| Patent | |||
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28.09.2022
Superkontinuumstrahlungsquelle und Zugehörige Metrologievorrichtungen
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Zusammenfassung
Disclosed is a supercontinuum radiation source comprising a modulator being operable to modulate pump laser radiation comprising a train of radiation pulses to provide modulated pump laser radiation, said modulation being such to selectively provide a burst of said pulses; and a hollow-core photonic crystal fiber being operable to receive the modulated pump laser radiation and excite a working medium contained within the hollow-core photonic crystal fiber so as to generate supercontinuum radiation. |
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21.09.2022
Neuartige Schnittstellendefinition für Lithografische Vorrichtung
Optik & Fototechnik
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21.09.2022
Verbesserung eines Sem-Bildes
Software & Datenverarbeitung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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21.09.2022
Flutungssäule und Gerät für Geladene Teilchen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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21.09.2022
Auf Photonischer Hohlkernkristallfaser-Basierte Mehrwellenlängen-Lichtquellenvorrichtung
Optik & Fototechnik
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21.09.2022
Verfahren und System zur Vorhersage von Prozessinformation mit einem Parametrisierten Modell
Optik & Fototechnik
Software & Datenverarbeitung
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14.09.2022
Verfahren und Vorrichtung zur Charakterisierung eines Halbleiterherstellungsprozesses
Optik & Fototechnik
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14.09.2022
Vorrichtung mit einer Elektrostatischen Klemme und Verfahren
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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07.09.2022
Verfahren zur Herstellung einer Kapillare für eine Photonische Hohlkernkristallfaser
Anorganische Chemie & Werkstoffe
Optik & Fototechnik
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07.09.2022
Substratrückhaltesystem
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Optik & Fototechnik
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07.09.2022
System zur Inspektion und Erdung einer Maske in einem Geladenen Teilchensystem
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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07.09.2022
Verfahren und Vorrichtung zur Effizienten Erzeugung von Hohen Oberschwingungen
Optik & Fototechnik
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07.09.2022
Variables Beugungsgitter
Optik & Fototechnik
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07.09.2022
Ausrichtungsverfahren
Optik & Fototechnik
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31.08.2022
Lithografisches Verfahren
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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31.08.2022
Verfahren zur Vorhersage eines Metrologieversatzes eines Halbleiterherstellungsprozesses
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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24.08.2022
Membranreinigungsgerät
Verfahrens- & Trenntechnik
Optik & Fototechnik
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24.08.2022
Beleuchtungsquelle und Zugehörige Messvorrichtung
Optik & Fototechnik
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24.08.2022
Tröpfchenerzeugerdüse
Anorganische Chemie & Werkstoffe
Elektronik & Schaltungstechnik
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24.08.2022
Anordnung zur Trennung von Strahlung im Fernfeld
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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24.08.2022
Verfahren zur Anpassung von Messdaten an ein Modell und Modellierung einer Leistungsparameterverteilung und Zugehörige Vorrichtungen
Optik & Fototechnik
Software & Datenverarbeitung
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17.08.2022
Verfahren zur Bestimmung einer Sichtfeldeinstellung
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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10.08.2022
Verfahren zur Bestimmung eines Messrezepts und Zugehörige Messtechnische Verfahren und Vorrichtungen
Optik & Fototechnik
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10.08.2022
Metrologiesensor für Positionsmetrologie
Optik & Fototechnik
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10.08.2022
Verfahren und System zur Vorhersage von Aberrationen in einem Projektionssystem
Optik & Fototechnik
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10.08.2022
Strahlungsleitung
Optik & Fototechnik
Elektronik & Schaltungstechnik
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03.08.2022
Verfahren zur Bestimmung eines Fokusbetätigungsprofils für einen oder Mehrere Aktuatoren einer Lithografischen Belichtungsvorrichtung
Optik & Fototechnik
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03.08.2022
Auf Photonischer Hohlkernkristallfaser Basierender Breitbandstrahlungsgenerator mit Verlängerter Faserlebensdauer
Optik & Fototechnik
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Zusammenfassung
Disclosed is an optical component for a broadband light source device, the optical component being configured for generating a broadband output upon receiving pump radiation and comprising: a hollow-core photonic crystal fiber (HC-PCF); and a gas mixture filling said HC-PCF, wherein said gas mixture comprises a mixture of at least one first gas configured for the generation of the broadband radiation and at least one second gas comprising or consisting of Helium. |
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03.08.2022
Metrologieverfahren und -Vorrichtungen
Optik & Fototechnik
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Zusammenfassung
Disclosed is a method of determining a performance parameter or a parameter derived therefrom, the performance parameter being associated with a performance of a lithographic process for forming one or more structures on a substrate subject to the lithographic process. The method comprises obtaining a probability description distribution comprising a plurality of probability descriptions of the performance parameter, each probability description corresponding to a different position on the substrate and decomposing each probability description into a plurality of component probability descriptions to obtain a plurality of component probability description distributions. A component across-substrate-area model is determined for each of said plurality of component probability descriptions, which models its respective component probability description across a substrate area; and a value for said performance parameter or parameter derived therefrom is determined based on the component across-substrate-area models. |
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03.08.2022
Photonische Kristallfaser mit Hohlkern
Optik & Fototechnik
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28.07.2022
Verfahren zum Einrichten eines Projektionsbelichtungssystems, Projektionsbelichtungsverfahren und Projektionsbelichtungssystem für die Mikrolithographie
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 19.01.2021
Anhängig
Vertretung
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20.07.2022
Metrologieverfahren und -System und Lithografisches System
Optik & Fototechnik
Software & Datenverarbeitung
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20.07.2022
Verfahren und Vorrichtung zur Bereitstellung einer Breitbandigen Lichtquelle
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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20.07.2022
System zur Reduzierung der Kontamination
Optik & Fototechnik
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20.07.2022
Verfahren zur Überwachung eines Lithographischen Verfahrens und Zugehörige Vorrichtungen
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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20.07.2022
Flüssigkeitshandhabungssystem und Lithografisches Gerät
Optik & Fototechnik
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13.07.2022
Sichere Chips mit Seriennummern
Software & Datenverarbeitung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.12.2017
Erteilt am 13.07.2022
Vertretung
Corcoran, Gregory Martin Mason · Veldhoven
ASML Netherlands B.V · Veldhoven
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06.07.2022
Pellikelmembran für eine Lithographische Vorrichtung
Anorganische Chemie & Werkstoffe
Textiltechnik
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29.06.2022
Optische Vorrichtung mit Geladenen Teilchen, Objektivlinsenanordnung, Detektor, Detektoranordnung und Verfahren
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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29.06.2022
Detektorsubstrat, Inspektionsvorrichtung und Verfahren zur Probenbeurteilung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Wer vertritt ASML?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die ASML vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
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