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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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5.380 gesamt
Patent
23.10.2024
Überlagerungsmetrologie auf Basis von Vorlagenabgleich mit Adaptiver Gewichtung
EP4449205
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.10.2024
Vorrichtung für Geladene Teilchen
EP4449469
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.10.2024
Verfahren zur Erzeugung einer Musterkarte, Computerprogrammprodukt
EP4449483
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
23.10.2024
Identifizierung von Abweichenden Modulen aus einer Referenzpopulation für Maschinendiagnostik
EP4449203
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
23.10.2024
Verfahren und Vorrichtung zur Berechnung der Reparaturdosis für einen Chip eines Substrats, das von einer Lithografischen Vorrichtung Exponiert Wird
EP4449202
Optik & Fototechnik
23.10.2024
Wärmesteuerungssysteme, Modelle und Herstellungsverfahren in der Lithographie
EP4449204
Optik & Fototechnik
23.10.2024
Faser mit Photonischem Kristall
EP4451021
Optik & Fototechnik
23.10.2024
Verwendung von Verstärkungslernen zur Bestimmung der Optimalen Ausrichtung für ein Optisches System
EP4451059
Optik & Fototechnik
23.10.2024
Verfahren, Software und Systeme zur Bestimmung von Hilfsfunktionen mit Konstanter Breite unter der Auflösung
EP4449199
Optik & Fototechnik
23.10.2024
Herstellung eines Reflektierenden Beugungsgitters
EP3948369
Optik & Fototechnik
17.10.2024
Metrology method
WO2024213322
Optik & Fototechnik
17.10.2024
An Electrostatic Clamp For Use in Lithography
WO2024213326
Optik & Fototechnik
17.10.2024
Conductive polymers for reticle table cleaning apparatus
WO2024213336
Optik & Fototechnik
17.10.2024
Systems and methods for clamping a patterning device in a lithography apparatus
WO2024213378
Optik & Fototechnik
16.10.2024
Systeme und Verfahren zur Reduzierung der Musterverschiebung in einer Lithografievorrichtung
EP4445219
Optik & Fototechnik
16.10.2024
Blende und Verfahren
EP4445187
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
16.10.2024
Verfahren zur Bestimmung einer Mechanischen Eigenschaft einer auf einem Substrat Aufgetragenen Schicht und Zugehörige Vorrichtungen
EP4445218
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.10.2024
Umgebungsmuster- und Prozessbewusste Metrologie
EP4445221
Optik & Fototechnik
10.10.2024
Nozzle for providing a gas flow and method of making the nozzle
WO2024208536
Optik & Fototechnik
10.10.2024
Silencer for thermal conditioning system and lithographic apparatus
WO2024208537
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Maschinenelemente & Fluidtechnik
10.10.2024
Method and system for context aware overlay adjustment
WO2024208534
Optik & Fototechnik
10.10.2024
Method of predicting performance of a lithographic apparatus, calibration of lithographic apparatus, device manufacturing method
WO2024208515
Optik & Fototechnik
10.10.2024
Silencer for thermal conditioning system and lithographic apparatus
WO2024208535
Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik
10.10.2024
Silencer and lithographic apparatus thermal conditioning system
WO2024208565
Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik
10.10.2024
Overlay metrology based on a fringe pattern
WO2024208554
Optik & Fototechnik
10.10.2024
Euv-Transmissive Barrier
WO2024208766
Optik & Fototechnik
10.10.2024
Fluid handling system and method, and method of manufacturing devices
WO2024208512
Optik & Fototechnik
09.10.2024
Wellenleiter und Herstellungsverfahren dafür
EP4202509
Optik & Fototechnik
09.10.2024
Schalldämpfer für Thermisches Konditionierungssystem und Lithographischer Apparat
EP4442972
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Maschinenelemente & Fluidtechnik
09.10.2024
Schalldämpfer und Thermisches Konditionierungssystem für eine Lithographische Vorrichtung
EP4443237
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Maschinenelemente & Fluidtechnik
09.10.2024
Schalldämpfer für Thermisches Konditionierungssystem und Lithographischer Apparat
EP4443238
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Maschinenelemente & Fluidtechnik
09.10.2024
Plattform für eine Vorrichtung für Geladene Teilchen und Komponenten in einer Vorrichtung für Geladene Teilchen
EP4441768
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.10.2024
Substrate storage module and method
WO2024199866
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.10.2024
Gas flow apparatus and method for euv light source
WO2024199928
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
03.10.2024
System and method for calibration of inspection tools
WO2024199945
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.10.2024
Height Measurement Error Determination
WO2024199876
Optik & Fototechnik
03.10.2024
Electromagnetic motor and method of determining a position dependent motor constant for an electromagnetic motor
WO2024199902
Elektrische Energietechnik
03.10.2024
Electron-Optical Plate
WO2024199867
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.10.2024
System and method for tailoring chuck stiffness
WO2024199892
Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik
03.10.2024
Electrical Connector
WO2024199804
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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