ASML Patente
🇳🇱 Niederlande
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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16.11.2022
Bewertungssystem, Verfahren zur Bewertung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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16.11.2022
Vorrichtung zum Konditionieren und Richten eines Strahlenbündels
Optik & Fototechnik
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16.11.2022
System und Verfahren zur Sicherstellung, Dass Parametermessungen über Metrologiewerkzeuge Hinweg Übereinstimmen
Optik & Fototechnik
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16.11.2022
Laserbetriebene Lichtquelle
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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16.11.2022
Rezeptauswahl auf Basis der Konsistenz zwischen Rezepten
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 10.06.2016
Erteilt am 16.11.2022
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16.11.2022
Ladungsteilchenbeurteilungswerkzeug, Inspektionsverfahren
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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09.11.2022
Verfahren zur Bestimmung einer Stochastischen Metrik Bezüglich eines Lithographischen Prozesses
Optik & Fototechnik
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09.11.2022
Hohlkernglasfaserbasierte Strahlungsquelle
Optik & Fototechnik
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09.11.2022
Optische Elektronensäule und Verfahren zum Richten eines Strahls von Primärelektronen auf eine Probe
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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09.11.2022
System für Geladene Teilchen, Verfahren zur Bearbeitung einer Probe unter Verwendung eines Mehrfachstrahls von Geladenen Teilchen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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09.11.2022
Temperaturmessung von Optischen Elementen in einem Optischen Gerät
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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02.11.2022
Vorrichtung und Verfahren zum Transport von Radikalen
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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02.11.2022
System und Verfahren zur Bewertung Geladener Partikel
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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02.11.2022
Spiegelsystem
Optik & Fototechnik
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02.11.2022
Laserstrahlmesssystem, Laserstrahlsystem, Euv-Strahlungsquelle und Lithographische Vorrichtung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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02.11.2022
Anreicherung und Radioisotopproduktion
Verfahrens- & Trenntechnik
Elektrische Energietechnik
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02.11.2022
Netzwerkarchitektur und Protokoll für einen Cluster von Lithografiegeräten
Optik & Fototechnik
Steuerungs- & Regelungstechnik
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02.11.2022
Verfahren zur Kalibrierung einer Codierskala und Lithografische Vorrichtung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 12.09.2013
Erteilt am 02.11.2022
Vertretung
Ras, Michael Adrianus Josephus · Veldhoven
ASML Netherlands B.V · Veldhoven
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26.10.2022
Spiegel zur Durchführung von Metrologie in einem Laserstrahlsystem, Laserstrahlsystem, Euv-Strahlungsquelle und Lithografievorrichtung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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26.10.2022
Oberflächenbehandlungsvorrichtung
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Optik & Fototechnik
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26.10.2022
Metrologiewerkzeugkalibrierungsverfahren und Zugehöriges Metrologiewerkzeug
Optik & Fototechnik
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26.10.2022
Gefäss für eine Strahlungsquelle
Optik & Fototechnik
Elektronik & Schaltungstechnik
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26.10.2022
Vorrichtung und Verfahren zum Überwachen von Tröpfchen in einem Tröpfchenstrom
Elektronik & Schaltungstechnik
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26.10.2022
Ladungsteilchenstrahlengerät mit Geringem Übersprechen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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19.10.2022
Optische Vorrichtung mit Geladenen Teilchen, Objektivlinsenanordnung, Detektor, Detektoranordnung und Verfahren
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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19.10.2022
Verfahren zur Herstellung eines Substrathalters für eine Lithografische Vorrichtung, Substrattisch, Lithografischer Apparat, Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung, Verfahren zur Herstellung
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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19.10.2022
Modulares Autocodierermodell für Schätzung der Parameter eines Herstellungsprozesses
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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19.10.2022
Modulares Autocodierermodell zur Schätzung von Fertigungsprozessparametern
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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19.10.2022
Elektronenoptische Vorrichtung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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19.10.2022
Modulares Autocodierermodell zur Schätzung von Fertigungsprozessparametern
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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12.10.2022
Verfahren zur Modellierung von Messdaten über eine Substratfläche und Zugehörige Vorrichtungen
Optik & Fototechnik
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12.10.2022
Verfahren zur Bestimmung von mindestens einem Ziellayout und Zugehörige Metrologische Vorrichtung
Optik & Fototechnik
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05.10.2022
Konditioniervorrichtung und -Verfahren
Optik & Fototechnik
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05.10.2022
Flüssigkeitshandhabungsstruktur für Lithografische Vorrichtung
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 28.08.2017
Erteilt am 05.10.2022
Vertretung
Dung, Shiang-Lung · Veldhoven
ASML Netherlands B.V · Veldhoven
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05.10.2022
Strukturierungsvorrichtung für eine Lithographische Vorrichtung und Verfahren
Optik & Fototechnik
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05.10.2022
Elektronenoptisches System und Verfahren zum Betrieb eines Elektronenoptischen Systems
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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05.10.2022
Verfahren und Vorrichtungen zur Räumlichen Filterung Optischer Impulse
Optik & Fototechnik
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28.09.2022
Digitales Holografisches Mikroskop und Zugehöriges Metrologieverfahren
Optik & Fototechnik
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28.09.2022
Superkontinuumstrahlungsquelle und Zugehörige Metrologievorrichtungen
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Zusammenfassung
Disclosed is a supercontinuum radiation source comprising a modulator being operable to modulate pump laser radiation comprising a train of radiation pulses to provide modulated pump laser radiation, said modulation being such to selectively provide a burst of said pulses; and a hollow-core photonic crystal fiber being operable to receive the modulated pump laser radiation and excite a working medium contained within the hollow-core photonic crystal fiber so as to generate supercontinuum radiation. |
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28.09.2022
Fluidhandhabungssystem, Verfahren und Lithografische Vorrichtung
Optik & Fototechnik
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Wer vertritt ASML?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die ASML vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
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