ASML Patente
🇳🇱 Niederlande
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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5.380 gesamt| Patent | |||
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27.11.2024
Verfahren zur Steuerung eines Produktionssystems und Verfahren zur Thermischen Steuerung Zumindest eines Teils einer Umgebung
Optik & Fototechnik
Software & Datenverarbeitung
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27.11.2024
Kollektorströmungsring
Optik & Fototechnik
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21.11.2024
Heating apparatus
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 09.04.2024
Anhängig
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21.11.2024
Substrate Support
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.04.2024
Anhängig
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21.11.2024
Method and apparatus for measuring a topography of a surface of an object
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 15.04.2024
Anhängig
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21.11.2024
Magnetic levitation positioner assembly for use in a lithographic apparatus, lithographic apparatus with the magnetic levitation positioner assembly and method of manufacturing devices using the lithographic apparatus
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 15.04.2024
Anhängig
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21.11.2024
Method of predicting component drift on an exposure apparatus
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 18.04.2024
Anhängig
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21.11.2024
Droplet Generator
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 18.04.2024
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20.11.2024
Tropfenerzeuger
Elektronik & Schaltungstechnik
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20.11.2024
System zur Verwendung in einem Lithographischen Apparat
Optik & Fototechnik
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14.11.2024
Kompensation der Sammelvariation einer Optischen Abtastvorrichtung für Geladene Teilchen
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14.11.2024
Kompensation der Sammelvariation einer Optischen Abtastvorrichtung für Geladene Teilchen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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14.11.2024
Method of performing a qualification action on an exposure apparatus
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 09.04.2024
Anhängig
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13.11.2024
Spiegel
Optik & Fototechnik
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13.11.2024
Laserstrahlverstärkungssystem
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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13.11.2024
Euv-Kollektorspiegel
Optik & Fototechnik
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 11.09.2020
Erteilt am 13.11.2024
Vertretung
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07.11.2024
Correcting for grid distortion
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.04.2024
Anhängig
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06.11.2024
Lithographischer Apparat, Beleuchtungssystem und Verbindungsabdichtungsvorrichtung mit Schutzschild
Verfahrens- & Trenntechnik
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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06.11.2024
Strahlmanipulator in einer Ladungsteilchenstrahlvorrichtung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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31.10.2024
Metrology method and apparatus and computer program background
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 09.04.2024
Anhängig
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31.10.2024
Exposure apparatus and metrology measurement system
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.03.2024
Anhängig
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31.10.2024
Lithographic apparatus with a fluid handling structure
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 19.03.2024
Anhängig
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31.10.2024
Image positioning control method and system
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 14.03.2024
Anhängig
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31.10.2024
Method and system to control the position of an optical element
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 14.03.2024
Anhängig
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30.10.2024
Ausrichtungsbestimmungsverfahren und Computerprogramm
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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30.10.2024
Metrologieverfahren und -Vorrichtung und Computerprogrammhintergrund
Optik & Fototechnik
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Zusammenfassung
Disclosed is a method of metrology, comprising: obtaining metrology data relating to one or more targets on a substrate, the metrology data comprising intensity metric data relating to one or more intensity metrics, and phase difference metric data relating to a phase difference metric; determining intensity asymmetry metric data from said intensity metric data, said intensity asymmetry metric data describing, for each said intensity metric, an asymmetry in said intensity metric data between diffraction orders of a complementary pair of diffraction orders following diffraction by said one or more targets; obtaining one or more pre-calibrated asymmetry coefficients; and determining a value for a parameter of interest from said phase difference metric data, and said intensity asymmetry metric data as weighted by said pre-calibrated asymmetry coefficients. |
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30.10.2024
Systeme und Verfahren zur Reinigung von Elektronenquellen in Ladungsträgerstrahlsystemen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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30.10.2024
Verfahren und Vorrichtung zur Lithographischen Bilderzeugung
Optik & Fototechnik
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30.10.2024
Verfahren und System zur Steuerung der Position eines Optischen Elements
Optik & Fototechnik
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30.10.2024
Verfahren und System zur Bildpositionierungssteuerung
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Optik & Fototechnik
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30.10.2024
Strahlungsquelle
Optik & Fototechnik
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30.10.2024
Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung einer Überlagerung
Optik & Fototechnik
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30.10.2024
Projektionseinheit für einen Pegelsensor, Verfahren zur Überwachung der Höhe eines Substrats und Lithografiesystem mit der Projektionseinheit
Optik & Fototechnik
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30.10.2024
Belichtungsvorrichtung und Metrologiemesssystem
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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30.10.2024
Vakuumsystem
Optik & Fototechnik
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24.10.2024
Photonic Crystal Fiber
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 14.03.2024
Anhängig
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24.10.2024
Using reinforcement learning to determine optimal alignment for an optical system
Optik & Fototechnik
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Angemeldet am 21.03.2024
Anhängig
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24.10.2024
Optical Amplifier
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.03.2024
Anhängig
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24.10.2024
Substrate Processing
Verfahrens- & Trenntechnik
Optik & Fototechnik
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Angemeldet am 21.03.2024
Anhängig
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24.10.2024
Method for evaluating the flatness of a substrate support
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Angemeldet am 19.03.2024
Anhängig
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Wer vertritt ASML?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die ASML vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
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