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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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5.380 gesamt
Patent
03.10.2024
System and method for calibration of inspection tools
WO2024199945
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.10.2024
Gas flow apparatus and method for euv light source
WO2024199928
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
02.10.2024
Vorrichtung zur Zuführung von Flüssigem Zielmaterial zu einer Strahlungsquelle
EP4437803
Elektronik & Schaltungstechnik
02.10.2024
Pellikel und Membranen zur Verwendung in einem Lithographischen Gerät
EP4437381
Optik & Fototechnik
02.10.2024
Vorrichtung und Verfahren für eine Lithographische Vorrichtung
EP4437380
Anorganische Chemie & Werkstoffe Optik & Fototechnik
02.10.2024
Ladungsteilchenstrahlvorrichtung zur Spannungskontrastprüfung und Verfahren dafür
EP4437577
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2024
Vorrichtung zur Kontaminationsverminderung in Ladungsträgerstrahlsystemen
EP4439623
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2024
Elektronenoptische Platte
EP4439622
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2024
Abschirmanordnung für ein Elektronenoptisches Modul
EP4439621
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2024
Verfahren zur Bestimmung von Stressoren, die auf ein Substrat Aufgebracht Sind
EP4439176
Optik & Fototechnik
02.10.2024
Verfahren zur Modellierung von Messdaten über einen Substratbereich und Zugehörige Vorrichtungen
EP4439181
Optik & Fototechnik
02.10.2024
Substratspeichermodul und Verfahren
EP4439177
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2024
Verfahren zur Modellierung von Metrologiedaten über einen Substratbereich und Zugehörige Vorrichtungen
EP4439180
Optik & Fototechnik
26.09.2024
Parallel sensing camera based metrology systems and methods
WO2024193929
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
26.09.2024
Euv radiation source and position-controllable mirror
WO2024193986
Optik & Fototechnik
26.09.2024
Plasma fluorination of diamond for spotless flatness puck performance extension
WO2024193947
Verfahrens- & Trenntechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
25.09.2024
System mit Optischer Linse
EP3387481
Optik & Fototechnik
25.09.2024
Elektrischer Verbinder
EP4435976
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.09.2024
Methods and systems for determining a property of euv radiation
WO2024188550
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.09.2024
Euv Mask
WO2024188563
Optik & Fototechnik
19.09.2024
Optical component array substitution for metrology
WO2024188601
Optik & Fototechnik
19.09.2024
Alignment metrology using a local oscillator
WO2024188592
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.09.2024
Tubular acoustic damping device, fluid transport system, cooling system and lithographic apparatus
WO2024188739
Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik
19.09.2024
An illumination module for a metrology device
WO2024188798
Optik & Fototechnik
18.09.2024
Beleuchtungsmodul für eine Metrologievorrichtung
EP4431988
Optik & Fototechnik
18.09.2024
Hohlkern-Lichtleitfaserbasierte Strahlungsquelle
EP4432007
Optik & Fototechnik
12.09.2024
Fluid Handling Structure
WO2024184006
Optik & Fototechnik
12.09.2024
Substrate holder, substrate support, lithographic apparatus and method
WO2024184007
Optik & Fototechnik
12.09.2024
System for supporting a pellicle in a lithographic apparatus, allowing for pressure increase in a region between the pellicle and a patterning device
WO2024183988
Optik & Fototechnik
12.09.2024
Broad spectrum metrology systems and methods for various metrology mark types
WO2024184017
Optik & Fototechnik
12.09.2024
Improved Gas Laser
WO2024184021
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.09.2024
Method of determining stressors applied to a substrate
WO2024184019
Optik & Fototechnik
12.09.2024
Multi-layer metrology systems and methods
WO2024184047
Optik & Fototechnik
11.09.2024
Stufenkopplung für Lithografische Vorrichtung
EP4427099
Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik
11.09.2024
Vorrichtung mit mehreren Geladenen Teilchenstrahlen und Verfahren zum Betrieb davon
EP4427257
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.09.2024
Breitbandstrahlungsgenerator auf der Basis von Photonischen Hohlkernkristallfasern
EP4427093
Optik & Fototechnik
11.09.2024
Verfahren zur Bestimmung einer Leistungsparameterverteilung
EP4427097
Optik & Fototechnik
11.09.2024
Breitbandstrahlungsgenerator auf der Basis von Photonischen Hohlkernkristallfasern
EP4427094
Optik & Fototechnik
06.09.2024
Method of manufacturing an electrostatic object clamp, electrostatic object clamp and semiconductor processing apparatus
WO2024179830
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.09.2024
Membrane for euv lithography
WO2024179767
Optik & Fototechnik

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