ASML Patente
🇳🇱 Niederlande
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
Patente durchsuchen
3.336 gesamt| Patent | |||
|---|---|---|---|
|
27.09.2018
Method of determining pellicle degradation compensation corrections, and associated lithographic apparatus and computer program
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 16.02.2018
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
27.09.2018
Position measurement system, zeroing method, lithographic apparatus and device manufacturing method
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 06.02.2018
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
27.09.2018
Lithographic system, euv radiation source, lithographic scanning apparatus and control system
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 22.02.2018
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
27.09.2018
Object identification and comparison
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 02.03.2018
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
27.09.2018
Asymmetry monitoring of a structure
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 28.02.2018
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
27.09.2018
Metrology system for an extreme ultraviolet light source
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Elektronik & Schaltungstechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 15.02.2018
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
27.09.2018
Optical Pulse Generation For an Extreme Ultraviolet Light Source
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 19.03.2018
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
26.09.2018
Lithografische Vorrichtung Eingerichtet zur Bestimmung von Korrekturen zur Kompensierung von Pellikelverschlechterung
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
26.09.2018
Verfahren zur Modellierung von Lithographischen Systemen zur Durchführung von Prädiktiver Wartung
Steuerungs- & Regelungstechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
20.09.2018
Apparatus for delivering gas and illumination source for generating high harmonic radiation
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 15.02.2018
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
20.09.2018
Methods of determining stress in a substrate, control system for controlling a lithographic process, lithographic apparatus and computer program product
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 07.02.2018
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
20.09.2018
Stage system and metrology tool
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 28.02.2018
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
19.09.2018
Verfahren zur Bestimmung der Korrekturen für ein Strukturierungsverfahren, Vorrichtungsherstellungsverfahren, Steuerungssystem für Lithografievorrichtung und Lithografievorrichtung
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
19.09.2018
Metrologieverfahren und Verfahren zur Vorrichtungsherstellung
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
19.09.2018
Vorrichtung zur Abgabe von Gas
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
19.09.2018
Stufensystem und Metrologiewerkzeug
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
13.09.2018
System for evacuating a chamber
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 02.03.2018
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
13.09.2018
Euv cleaning systems and methods thereof for an extreme ultraviolet light source
Metallurgie & Oberflächentechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 15.02.2018
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
12.09.2018
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 30.05.2002
Erteilt am 12.09.2018
Vertretung
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
07.09.2018
Radiation Source
Optik & Fototechnik
Elektronik & Schaltungstechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 07.02.2018
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
05.09.2018
Inspektionsverfahren und Gerät, lithographisches Gerät, lithographische Prozesslinie und Verfahren zum Herstellen von Bauelementen
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 09.07.2007
Erteilt am 05.09.2018
Vertretung
Broeken, Petrus Henricus Johannes · Veldhoven
Van den Hooven, Jan · Veldhoven
Leeming, John Gerard · London
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
05.09.2018
Lithografische Vorrichtung und Lorentzschalter
Optik & Fototechnik
Elektrische Energietechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 25.09.2009
Erteilt am 05.09.2018
Vertretung
Maas, Abraham Johannes · Veldhoven
Maas, Abraham Johannes · Veldhoven
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
05.09.2018
Verfahren und Vorrichtung zur Berechnung Elektromagnetischer Streuungseigenschaften einer Struktur und zur Rekonstruktion Annähernder Strukturen
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
05.09.2018
Strahlungsquelle
Optik & Fototechnik
Elektronik & Schaltungstechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
30.08.2018
Radiation Source
Elektronik & Schaltungstechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 23.11.2017
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
30.08.2018
Lithographic apparatus, lithographic projection apparatus and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 30.01.2018
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
30.08.2018
Methods of aligning a diffractive optical system and diffractive optical element
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 25.01.2018
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
30.08.2018
Method of measuring variation, inspection system, computer program, and computer system
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 07.02.2018
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
30.08.2018
Methods of determining scattering of radiation by structures of finite thicknesses on a patterning device
Optik & Fototechnik
Software & Datenverarbeitung
|
|||
|
Status
Angemeldet am 13.02.2018
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
30.08.2018
Patterning device, a method of making the same, and a patterning device design method
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 20.02.2018
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
30.08.2018
Methods of determining process models by machine learning
Optik & Fototechnik
Software & Datenverarbeitung
|
|||
|
Status
Angemeldet am 20.02.2018
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
30.08.2018
Computational Metrology
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 12.02.2018
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
30.08.2018
Etch bias characterization and method of using the same
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 21.02.2018
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
30.08.2018
Load lock system for charged particle beam imaging
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 20.02.2018
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
29.08.2018
Verfahren zum Ausrichten eines Beugenden Optischen Systems und Diffraktives Optisches Element
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
29.08.2018
Verfahren zur Messung einer Variation, Inspektionssystem, Computerprogramm und Computersystem
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
22.08.2018
Vorrichtung zur Euv-Plasmaquellen-Zielablieferung
Elektrische Energietechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 17.02.2006
Erteilt am 22.08.2018
Vertretung
Grünecker Patent- und Rechtsanwälte PartG mbB · München
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
22.08.2018
Verfahren und Vorrichtung zur Überwachung eines Lithographischen Herstellungsverfahrens
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
16.08.2018
Methods for controlling lithographic apparatus, lithographic apparatus and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 20.12.2017
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
16.08.2018
Methods and apparatus for predicting performance of a measurement method, measurement method and apparatus
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 08.01.2018
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
Wer vertritt ASML?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die ASML vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Optik & Fototechnik
2.737
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
727
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
356
Elektronik & Schaltungstechnik
223
Software & Datenverarbeitung
132
Elektrische Energietechnik
125
Steuerungs- & Regelungstechnik
60
Maschinenelemente & Fluidtechnik
37
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
34
Verfahrens- & Trenntechnik
33
Anorganische Chemie & Werkstoffe
33
Metallurgie & Oberflächentechnik
20