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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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3.336 gesamt
Patent
15.11.2018
Laser Produced Plasma Source
WO2018206244
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.11.2018
Method of measuring a structure, inspection apparatus, lithographic system and device manufacturing method
WO2018206227
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
15.11.2018
Methods for evaluating resist development
WO2018206275
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
15.11.2018
Apparatus for and method of controlling debris in an euv light source
WO2018208388
Elektrische Energietechnik Elektronik & Schaltungstechnik
14.11.2018
Verfahren zur Messung einer Struktur, Inspektionsvorrichtung, Lithographiesystem und Verfahren zur Herstellung eines Artikels
EP3401733
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
08.11.2018
Method to predict yield of a device manufacturing process
WO2018202361
Optik & Fototechnik
08.11.2018
Metrology parameter determination and metrology recipe selection
WO2018202388
Optik & Fototechnik
08.11.2018
Method of measuring a parameter of interest, device manufacturing method, metrology apparatus, and lithographic system
WO2018202394
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.11.2018
Verfahren zur Messung eines Bestimmten Parameters, Vorrichtungsherstellungsverfahren, Metrologieeinrichtung und Lithografiesystem
EP3399371
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.11.2018
Lithografische Vorrichtung
EP3287848
Optik & Fototechnik
01.11.2018
Optimizing a sequence of processes for manufacturing of product units
WO2018197144
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
01.11.2018
Device manufacturing method
WO2018197146
Optik & Fototechnik
01.11.2018
Method and apparatus for optimization of lithographic process
WO2018197143
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
01.11.2018
Metrology method and apparatus and associated computer program
WO2018197198
Optik & Fototechnik
31.10.2018
Gashandhabungssystem für eine Euv-Lichtquelle auf der Basis von Lasererzeugtem Plasma
EP2181448
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
31.10.2018
Topografiemesssystem
EP3394563
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.10.2018
Verfahren zur Überwachung und Verfahren zur Herstellung von Bauelementen
EP3396456
Optik & Fototechnik
31.10.2018
Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP3396457
Optik & Fototechnik
31.10.2018
Verfahren und Vorrichtung zur Optimierung eines Lithographieverfahrens
EP3396458
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
25.10.2018
Method of performance testing a fluid handling structure
WO2018192710
Optik & Fototechnik
25.10.2018
Temporal wavelength modulated metrology system, metrology method and lithographic apparatus
WO2018192723
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
25.10.2018
Support structure, method and lithographic apparatus
WO2018192759
Optik & Fototechnik
25.10.2018
Maintaining a set of process fingerprints
WO2018192789
Optik & Fototechnik
24.10.2018
Membrananordnung
EP3391140
Optik & Fototechnik
24.10.2018
Membran zur Euv-Lithographie
EP3391138
Optik & Fototechnik
24.10.2018
Bewahrung eines Satzes von Prozessabdrücken
EP3392711
Optik & Fototechnik
18.10.2018
Mirror Array
WO2018188859
Optik & Fototechnik
18.10.2018
Method of measuring
WO2018188891
Optik & Fototechnik
17.10.2018
Herstellungsverfahren für einen Finfet, Finfet und Vorrichtung mit einem Finfet
EP3389095
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.10.2018
Verfahren zur Messung
EP3388896
Optik & Fototechnik
11.10.2018
Radiation receiving system
WO2018184802
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
11.10.2018
Lithographic method and apparatus
WO2018184783
Optik & Fototechnik
10.10.2018
Verfahren zum Entwurf von Metrologiemarken, Substrate mit Metrologiemarken, Überdeckungsmessverfahren und Verfahren zur Herstellung von Bauelementen
EP3149544
Optik & Fototechnik
10.10.2018
Vorrichtung mit mehreren Geladenen Teilchenstrahlen
EP3384279
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.10.2018
Strahlungsempfangssystem
EP3385685
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
04.10.2018
Optimizing an apparatus for multi-stage processing of product units
WO2018177659
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
04.10.2018
Apparatus, substrate handler, patterning device handler, damping system and method of manufacturing a damping system
WO2018177668
Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik
03.10.2018
Messsubstrat und Messverfahren
EP3380894
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.10.2018
Optimierung einer Vorrichtung für Mehrstufige Verarbeitung von Produkteinheiten
EP3382606
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
27.09.2018
Methods of modelling systems or performing predictive maintenance of systems, such as lithographic systems and associated lithographic systems
WO2018171982
Steuerungs- & Regelungstechnik

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34
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33
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33
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20

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