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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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5.380 gesamt
Patent
26.04.2023
Detektoranordnung, Vorrichtung für Geladene Teilchen, Gerät und Verfahren
EP4170695
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.04.2023
Endfacettenschutz für eine Lichtquelle und Verfahren zur Verwendung in Metrologieanwendungen
EP3786701
Optik & Fototechnik
26.04.2023
Reinigungsverfahren und Zugehöriges Beleuchtungsquellenmetrologiegerät
EP4170421
Optik & Fototechnik
26.04.2023
Metrologische Vorrichtung und Metrologische Verfahren basierend auf der Erzeugung Hoher Oberschwingungen aus einer Diffraktiven Struktur
EP4170430
Optik & Fototechnik
20.04.2023
A fluid extraction system, method and lithographic apparatus
WO2023061694
Optik & Fototechnik
20.04.2023
Sem Image Alignment
WO2023061678
Software & Datenverarbeitung
20.04.2023
Electrical connector for high power in a vacuum environment and method
WO2023061750
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.04.2023
Verfahren und System zur Vorhersage von Aberrationen in einem Projektionssystem
EP3938841
Optik & Fototechnik
19.04.2023
Substrathalter und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP3707559
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.04.2023
Aberrations-Aufprallsysteme, Modelle und Herstellungsverfahren
EP4165471
Optik & Fototechnik
19.04.2023
Austauschbares Modul für eine Vorrichtung mit Geladenen Teilchen
EP4165675
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.04.2023
Objekthalter, Elektrostatische Folie und Verfahren zur Herstellung einer Elektrostatischen Folie
EP4165472
Optik & Fototechnik
19.04.2023
Verfahren zur Bestimmung einer Messrezeptur in einem Metrologischen Verfahren
EP4167031
Optik & Fototechnik
19.04.2023
Fluidextraktionssystem, Verfahren und Lithografische Vorrichtung
EP4167029
Optik & Fototechnik
19.04.2023
Elektrischer Verbinder für Hohe Leistung in einer Vakuumumgebung und Verfahren
EP4167391
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.04.2023
Fiber alignment monitoring tool and associated fiber alignment method
WO2023057164
Optik & Fototechnik
13.04.2023
Method for measuring at least one target on a substrate
WO2023057237
Optik & Fototechnik
12.04.2023
Systeme, Produkte und Verfahren zur Erzeugung von Musterungsvorrichtungen und Muster dafür
EP4162322
Optik & Fototechnik
12.04.2023
Verbesserte Breitbandige Strahlungserzeugung in Photonischen Kristallen oder Hochgradig Nichtlinearen Fasern
EP4163715
Optik & Fototechnik
12.04.2023
Kammer für ein Projektionssystem einer Lithographischen Vorrichtung, Projektionssystem und Lithographisches Gerät
EP4163721
Optik & Fototechnik
12.04.2023
Substrathalter zur Verwendung in einem Lithographischen Gerät und Verfahren zur Herstellung eines Substrathalters
EP4162324
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.04.2023
Verfahren und Vorrichtung zur Detektion Geladener Teilchen
EP4163950
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.04.2023
Ausrichtung eines Sem-Bildes
EP4163869
Software & Datenverarbeitung
12.04.2023
Werkzeug zur Überwachung der Faserausrichtung und Zugehöriges Verfahren zur Faserausrichtung
EP4163687
Optik & Fototechnik
06.04.2023
Metrology method and system and lithographic system
WO2023051982
Optik & Fototechnik
05.04.2023
Hochdruck- und Vakuumfüllstandssensor in Metrologiestrahlungssystemen
EP4159009
Elektronik & Schaltungstechnik
05.04.2023
Verfahren zum Messen von mindestens einem Ziel auf einem Substrat
EP4160314
Optik & Fototechnik
05.04.2023
Maske und Maskenanordnung
EP4160315
Optik & Fototechnik
05.04.2023
Optisches Element und Membran für einen Lithographischen Apparat
EP4158423
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
30.03.2023
Pattern selection systems and methods
WO2023046385
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
30.03.2023
Source selection module and associated metrology and lithographic apparatuses
WO2023046420
Optik & Fototechnik
30.03.2023
Method for focus metrology and associated apparatuses
WO2023046410
Optik & Fototechnik
29.03.2023
Hybrider Tröpfchengenerator für Extrem-Ultraviolett-Lichtquellen in Lithographischen Strahlungssystemen
EP4154685
Elektronik & Schaltungstechnik
29.03.2023
Lithografische Vorrichtung mit einem Objekt mit einer Oberen Schicht mit Verbesserter Beständigkeit gegen Abschälen
EP3559748
Optik & Fototechnik
29.03.2023
Positionsmesssystem und Gitter für ein Positionsmesssystem
EP2920649
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
29.03.2023
Ladungsteilchenvorrichtung und -Verfahren
EP4156227
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.03.2023
Metrologieverfahren und -System und Lithografisches System
EP4155822
Optik & Fototechnik
29.03.2023
Verfahren für Fokusmetrologie und Zugehörige Vorrichtungen
EP4155821
Optik & Fototechnik
23.03.2023
Metrology method and device
WO2023041274
Software & Datenverarbeitung
23.03.2023
Apparatus and method for actively heating a substrate in an euv light source
WO2023041306
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik

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Technologiefelder

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Elektronik & Schaltungstechnik
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Software & Datenverarbeitung
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Elektrische Energietechnik
171
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92
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67
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60
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55
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39
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35

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