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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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3.336 gesamt
Patent
16.08.2018
Lithographic apparatus and device manufacturing method
WO2018145849
Optik & Fototechnik
15.08.2018
Gerät und Verfahren zur Inspektion von Strukturen
EP3361315
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
09.08.2018
Method and system for increasing accuracy of pattern positioning
WO2018141450
Optik & Fototechnik
09.08.2018
Metrology method, apparatus and computer program
WO2018141505
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
09.08.2018
Lithographic apparatus, lithographic projection apparatus and device manufacturing method
WO2018141520
Optik & Fototechnik
09.08.2018
Metrology method and apparatus and associated computer product
WO2018141503
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
08.08.2018
Lasererzeugte Plasma-Euv-Lichtquelle
EP2167193
Medizintechnik & Gesundheit Optik & Fototechnik
08.08.2018
Metrologieverfahren, Vorrichtung und Computerprogramm
EP3358413
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
08.08.2018
Verfahren zur Steuerung einer Lithografischen Vorrichtung, Lithografische Vorrichtung und Vorrichtungsherstellungsverfahren
EP3358415
Optik & Fototechnik
02.08.2018
A lithography apparatus and a method of manufacturing a device
WO2018137816
Optik & Fototechnik
02.08.2018
Method and apparatus for measuring a structure on a substrate
WO2018137925
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
02.08.2018
Methods of tuning process models
WO2018138123
Optik & Fototechnik
26.07.2018
Lithographic apparatus and method
WO2018134010
Optik & Fototechnik
26.07.2018
Generating predicted data for control or monitoring of a production process
WO2018133999
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
26.07.2018
Knowledge recommendation for defect review
WO2018134158
Steuerungs- & Regelungstechnik
26.07.2018
Defect pattern grouping method and system
WO2018134286
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
26.07.2018
Defect displaying method
WO2018134290
Software & Datenverarbeitung
26.07.2018
Cascade Defect Inspection
WO2018134287
Software & Datenverarbeitung
25.07.2018
Substrattisch, Lithographievorrichtung, Inspektionsgerät und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP3213149
Optik & Fototechnik
25.07.2018
Erzeugung von Vorhersagedaten zur Regelung oder Überwachung eines Produktionsprozesses
EP3352013
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
19.07.2018
Reducing Speckle in an Excimer Light Source
WO2018132198
Optik & Fototechnik
18.07.2018
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP3108301
Optik & Fototechnik
18.07.2018
Substrathandhabungssystem und Lithografische Vorrichtung
EP3117270
Optik & Fototechnik
12.07.2018
Reducing an Optical Power Of A Reflected Light Beam
WO2018128740
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.07.2018
Guiding device and associated system
WO2018127565
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
05.07.2018
Methods of determining scattering of radiation by structures of finite thicknesses on a patterning device
WO2018121967
Optik & Fototechnik
05.07.2018
Methods of guiding process models and inspection in a manufacturing process
WO2018121988
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
05.07.2018
Lithographic process&apparatus and inspection process and apparatus
WO2018121921
Optik & Fototechnik
05.07.2018
Simulation-assisted alignment between metrology image and design
WO2018121965
Optik & Fototechnik
04.07.2018
Reflektor für Streifenden Einfall, Lithographiegerät, Verfahren zur Herstellung eines Reflektors für Streifenden Einfall und Verfahren zur Herstellung eines Artikels
EP2678743
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
04.07.2018
Lithographische Vorrichtung, Verfahren zur Übertragung eines Substrats und Vorrichtungsherstellungsverfahren
EP3155482
Optik & Fototechnik
04.07.2018
Lithographisches Verfahren und Vorrichtung sowie Prüfverfahren und Vorrichtung
EP3343294
Optik & Fototechnik
28.06.2018
Metrology sensor, lithographic apparatus and method for manufacturing devices
WO2018114152
Optik & Fototechnik
28.06.2018
Method and apparatus for pattern fidelity control
WO2018114246
Optik & Fototechnik
28.06.2018
Charged particle beam inspection of ungrounded samples
WO2018114299
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
27.06.2018
Niveausensor für ein lithografisches Gerät und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP2228685
Optik & Fototechnik
27.06.2018
Positionskalibrierung von Ausrichtungsköpfen in einem Mehrfach-Kopf-Ausrichtungssystem
EP2275871
Optik & Fototechnik
27.06.2018
Verfahren zum Optimierung eines Lithografischen Verfahrens
EP3339958
Optik & Fototechnik
27.06.2018
Verfahren zur Bestimmung einer Position eines Merkmals
EP3339959
Optik & Fototechnik
21.06.2018
Lithography apparatus and device manufacturing method
WO2018108380
Optik & Fototechnik

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