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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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5.380 gesamt
Patent
09.02.2023
Apparatus and method for preparing and cleaning a component
WO2023011849
Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik
08.02.2023
Verfahren zum Bestimmen einer Inspektionsstrategie für eine Gruppe von Substraten in einem Halbleiterherstellungsverfahren
EP4127834
Optik & Fototechnik
08.02.2023
Bildverbesserung basierend auf Ladungsspeicherreduktion bei der Inspektion von Ladungsteilchenstrahlen
EP4128313
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.02.2023
Flutsäule, Werkzeug für Geladene Teilchen und Verfahren zum Fluten einer Probe mit Geladenen Teilchen
EP4128309
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.02.2023
Stapelausrichtungstechniken
EP4128310
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
08.02.2023
Anordnung mit einem Nichtlinearen Element und Verfahren zu deren Verwendung
EP4127830
Optik & Fototechnik
08.02.2023
Verfahren zur Datenabbildung für Analyse von Niedrigdimensionalen Daten
EP4130880
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
08.02.2023
Optische Ladungsteilchenvorrichtung
EP4131329
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.02.2023
Method for generating mask pattern
WO2023006346
Optik & Fototechnik
01.02.2023
Verfahren, Anordnung und Vorrichtung zur Verbesserten Steuerung von Breitbandstrahlungserzeugung
EP3851904
Optik & Fototechnik
01.02.2023
Verfahren und Strukturierungsvorrichtungen sowie Vorrichtungen zur Messung der Fokusleistung einer Lithografievorrichtung, Verfahren zur Herstellung der Vorrichtung
EP3394677
Optik & Fototechnik
01.02.2023
Verfahren und Vorrichtung für die Metrologie
EP4124909
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
01.02.2023
Vorrichtung und Verfahren zum Richten eines Ladungsteilchenstrahls auf eine Probe
EP4125111
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.02.2023
Programmierbares Beleuchtungssystem für eine Lithografische Einrichtung
EP4124910
Optik & Fototechnik
01.02.2023
Metrologieverfahren und Metrologievorrichtung
EP4124911
Optik & Fototechnik
26.01.2023
Systems and methods for lithographic tools with increased tolerances
WO2023001458
Optik & Fototechnik
26.01.2023
Systems and methods for thermally stable mounting of optical columns
WO2023001459
Optik & Fototechnik
26.01.2023
System and apparatus for stabilizing electron sources in charged particle systems
WO2023001480
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.01.2023
Aligning A Distorted Image
WO2023001479
Software & Datenverarbeitung
26.01.2023
Metrology method and metrology device
WO2023001448
Optik & Fototechnik
26.01.2023
Systems and methods for distributing light delivery
WO2023001536
Optik & Fototechnik
25.01.2023
Datenverarbeitungsvorrichtung und -Verfahren, System und Verfahren zur Bewertung Geladener Teilchen
EP4123579
Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.01.2023
Objekthalter, Werkzeug und Verfahren zur Herstellung eines Objekthalters
EP4121819
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.01.2023
Verformbares Spiegelsystem
EP4123380
Optik & Fototechnik
25.01.2023
Ausrichtung eines Verzerrten Bildes
EP4123583
Software & Datenverarbeitung
25.01.2023
Verfahren und Vorrichtung zur Photolithografischen Bildgebung
EP3963404
Optik & Fototechnik
25.01.2023
Datenverarbeitungsvorrichtung und -Verfahren, System und Verfahren zur Bewertung Geladener Teilchen
EP4123683
Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.01.2023
Lithographic apparatus, locking device, and method
WO2023285140
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.01.2023
Pattern selection for source mask optimization and target optimization
WO2023285071
Optik & Fototechnik
19.01.2023
Metrology systems with phased arrays for contaminant detection and microscopy
WO2023285138
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
19.01.2023
Method of determining a correction for at least one control parameter in a semiconductor manufacturing process
WO2023285066
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
19.01.2023
Droplet Detection Metrology Utilizing Metrology Beam Scattering
WO2023285108
Elektronik & Schaltungstechnik
19.01.2023
Shielding apparatus and method
WO2023285041
Optik & Fototechnik
19.01.2023
Metrology method and apparatus
WO2023285322
Optik & Fototechnik
19.01.2023
Systems and methods for tiling a substrate with oddly-shaped patterns
WO2023285025
Optik & Fototechnik
19.01.2023
Lithography system, substrate sag compensator, and method
WO2023285139
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.01.2023
System und Verfahren zur Fehlerprüfung mit Hohem Durchsatz in einem System mit Geladenen Teilchen
EP4118675
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.01.2023
Verfahren zur Bestimmung einer Korrektur für mindestens einen Steuerparameter in einem Halbleiterherstellungsverfahren
EP4120019
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
18.01.2023
Detektor für Geladene Teilchen
EP4120317
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.01.2023
Systeme und Verfahren zur Signalelektronendetektion
EP4118672
Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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