KLA Corporation Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
24
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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1.908 gesamt| Patent | |||
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06.05.2016
Measurement systems having linked field and pupil signal detection
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 31.10.2015
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06.05.2016
Automated decision-based energy-dispersive x-ray methodology and apparatus
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 27.10.2015
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06.05.2016
Quality estimation and improvement of imaging metrology targets
Optik & Fototechnik
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Angemeldet am 27.10.2015
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04.05.2016
System und Verfahren zur Fehlererkennung und Photolumineszenzmessung einer Probe
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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28.04.2016
Automated Pattern Fidelity Measurement Plan Generation
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 21.10.2015
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28.04.2016
Dynamic binning for diversification and defect discovery
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 19.10.2015
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28.04.2016
Critical dimension uniformity enhancement techniques and apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 16.10.2015
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21.04.2016
Metrology of multiple patterning processes
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 14.10.2015
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21.04.2016
Signal response metrology for image based and scatterometry overlay measurements
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.10.2015
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21.04.2016
Defect detection using structural information
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 13.10.2015
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14.04.2016
Inspection Site Preparation
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 09.10.2015
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07.04.2016
Tdi Sensor in A Darkfield System
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 02.10.2015
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07.04.2016
183nm laser and inspection system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 02.10.2015
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07.04.2016
Verification metrology targets and their design
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 02.10.2015
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31.03.2016
Laser assembly and inspection system using monolithic bandwidth narrowing apparatus
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.09.2015
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17.03.2016
Enhanced patterned wafer geometry measurements based design improvements for optimal integrated chip fabrication performance
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 09.09.2015
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10.03.2016
Optimizing the utilization of metrology tools
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 03.09.2015
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03.03.2016
Repeater Detection
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.08.2015
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18.02.2016
Predictive modeling based focus error prediction
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 23.04.2015
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04.02.2016
Inspection For Multiple Process Steps in A Single Inspection Process
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 28.07.2015
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28.01.2016
Virtual inspection systems with multiple modes
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Angemeldet am 22.07.2015
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28.01.2016
Determining coordinates for an area of interest on a specimen
Software & Datenverarbeitung
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Angemeldet am 22.07.2015
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28.01.2016
System and method for simultaneous dark field and phase contrast inspection
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.07.2015
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28.01.2016
High Resolution High Quantum Efficiency Electron Bombarded Ccd Or Cmos Imaging Sensor
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.07.2015
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21.01.2016
Metrology using overlay and yield critical patterns
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 07.07.2015
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14.01.2016
Signal response metrology based on measurements of proxy structures
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 06.07.2015
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30.12.2015
Rotated boundaries of stops and targets
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 23.06.2015
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30.12.2015
Determining A Configuration For an Optical Element Positioned in A Collection Aperture During Wafer Inspection
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.06.2015
Anhängig
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30.12.2015
Method, apparatus and system for generating multiple spatially separated inspection regions on a substrate
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 22.06.2015
Anhängig
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23.12.2015
Compound Imaging Metrology Targets
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 19.06.2015
Anhängig
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17.12.2015
Extracting comprehensive design guidance for in-line process control tools and methods
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 11.06.2015
Anhängig
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17.12.2015
Automatic recipe stability monitoring and reporting
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 11.06.2015
Anhängig
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03.12.2015
Electron beam imaging with dual wien-filter monochromator
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 22.05.2015
Anhängig
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26.11.2015
Wafer edge detection and inspection
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 15.05.2015
Anhängig
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19.11.2015
Using high resolution full die image data for inspection
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 11.05.2015
Anhängig
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19.11.2015
Apparatus, techniques, and target designs for measuring semiconductor parameters
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 11.05.2015
Anhängig
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19.11.2015
Library expansion system, method, and computer program product for metrology
Software & Datenverarbeitung
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Angemeldet am 15.05.2015
Anhängig
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19.11.2015
Defect sampling for electron beam review based on defect attributes from optical inspection and optical review
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 15.05.2015
Anhängig
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19.11.2015
Image acquisition system, image acquisition method, and inspection system
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 13.05.2015
Anhängig
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18.11.2015
Erkennung von Defekten auf einem Wafer anhand von Vorlagenbildabgleich
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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Wer vertritt KLA Corporation?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die KLA Corporation vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
1.175
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
824
Optik & Fototechnik
468
Software & Datenverarbeitung
295
Elektronik & Schaltungstechnik
47
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
23
Steuerungs- & Regelungstechnik
20
Metallurgie & Oberflächentechnik
19
Verfahrens- & Trenntechnik
15
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
14
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
10
Maschinenelemente & Fluidtechnik
7