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KLA Corporation Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
24
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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1.908 gesamt
Patent
14.11.2002
Efficient phase defect detection system and method
WO02091026
Optik & Fototechnik
17.10.2002
Improved defect detection system
WO02082064
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
02.10.2002
Vor-Ort-Überwachung für Metallisationsprozesse unter Verwendung von Wirbelstrommessungen und Optischen Messungen
EP1244907
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
26.09.2002
Gleichzeitige Beflutung und Inspektion zur Aufladungssteuerung in einem Elektronenstrahlinspektionsgerät
WO02075772
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.09.2002
Systems and methods for inspection of specimen surfaces
WO02073173
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.08.2002
Verfahren und Vorrichtung zum Rastern,fügen und Dämpfen von Messungen eines Doppelseitigen Prüfmessgeräts
EP1232384
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
27.06.2002
Improved system for measuring periodic structures
WO0250509
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
27.06.2002
Parametric profiling using optical spectroscopic systems
WO0250501
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
04.04.2002
Improved system for scatterometric measurements and applications
WO0227288
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
21.02.2002
Vorrichtung und Verfahren zur Inspektion mit mehreren Strahlen
WO0214846
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
27.12.2001
Overlay Alignment Mark Design
WO0198761
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
20.12.2001
Apparatus and method for applying feedback control to a magnetic lens
WO0196843
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.12.2001
Sectored magnetic lens and method of use
WO0197245
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.11.2001
Verfahren zur Überwachung der Ionenimplantation mittels Überprüfung eines Darüberliegenden Abdeckmaterials
WO0188955
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
22.11.2001
Ultra-broadband uv microscope imaging system with wide range zoom capability
WO0188589
Optik & Fototechnik
15.11.2001
Method and system for detecting metal contamination on a semiconductor wafer
WO0186698
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.11.2001
System and methods for classifying anomalies of sample surfaces
WO0184119
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
08.11.2001
Methods and systems for lithography process control
WO0184382
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
01.11.2001
Apparatus and methods for detecting killer particles during chemical mechanical polishing
WO0181902
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
16.08.2001
In-Situ-Sonde zur Optimierung des Oberflächenpotentials bei Elektronenstrahlkontrolle und Elektronenstrahlmetrologie
WO0159807
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.03.2001
Selbsträumende Optische Messvorrichtung sowie Verfahren zu deren Verwendung
WO0120304
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
15.03.2001
Rasterelektronenmikroskop mit einer Elektrode zur Verhinderung der Elektrostatischen Aufladung Während des Abrasterns der Probe
WO0118843
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.02.2001
Detection of film thickness through induced acoustic pulse-echos
WO0113059
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
15.02.2001
Kalibrierung eines Rasterelektronenmikroskops
WO0111656
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.11.2000
System for sensing a sample
WO0070296
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
16.11.2000
System for non-destructive measurement of samples
WO0068656
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
02.11.2000
Selbstkalibrierendes System zum Analysieren von Oberflächeneigenschaften
WO0065331
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
17.08.2000
System for measuring polarimetric spectrum and other properties of a sample
WO0047961
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
1.175
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
824
Optik & Fototechnik
468
Software & Datenverarbeitung
295
Elektronik & Schaltungstechnik
47
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
23
Steuerungs- & Regelungstechnik
20
Metallurgie & Oberflächentechnik
19
Verfahrens- & Trenntechnik
15
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
14
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
10
Maschinenelemente & Fluidtechnik
7

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