KLA Corporation Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
24
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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1.908 gesamt| Patent | |||
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29.09.2016
Method and system for charged particle microscopy with improved image beam stabilization and interrogation
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 24.03.2016
Anhängig
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29.09.2016
Model-Based Single Parameter Measurement
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.03.2016
Anhängig
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22.09.2016
Sub-pixel alignment of inspection to design
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.03.2016
Anhängig
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22.09.2016
Adaptive sampling for process window determination
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 15.03.2016
Anhängig
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14.09.2016
Auf Spektralabgleich Basierende Kalibrierung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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14.09.2016
Verfahren und Vorrichtung zur Ermittlung einer Wafergeometriemetrik
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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09.09.2016
Adaptive Nuisance Filter
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 03.03.2016
Anhängig
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09.09.2016
Adaptive Nuisance Filter
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 03.03.2016
Anhängig
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01.09.2016
Alignment of multi-beam patterning tool
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.02.2016
Anhängig
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25.08.2016
Optical metrology with reduced focus error sensitivity
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.02.2016
Anhängig
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25.08.2016
Optimizing computational efficiency by multiple truncation of spatial harmonics
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.02.2016
Anhängig
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18.08.2016
Prediction based chucking and lithography control optimization
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.02.2016
Anhängig
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11.08.2016
System and method for high throughput work-in-process buffer
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.02.2016
Anhängig
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04.08.2016
Device metrology targets and methods
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.01.2016
Anhängig
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28.07.2016
Wafer inspection with focus volumetric method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.01.2016
Anhängig
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27.07.2016
Elektronenemitter mit Integrierter Mehrpoliger Elektrodenstruktur
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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27.07.2016
Nichtinvasiver Ladungsträgerstrahlmonitor
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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27.07.2016
Dummy-Barriereschichtmerkmale zur Strukturierung von Spärlich Verteilten Metalleigenschaften auf der Barriere mit Cmp
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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21.07.2016
Measurement system optimization for x-ray based metrology
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.01.2016
Anhängig
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14.07.2016
System and method for inhibiting radiative emission of a laser-sustained plasma source
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.01.2016
Anhängig
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07.07.2016
Alignment of inspection to design using built in targets
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.12.2015
Anhängig
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06.07.2016
Gerät und Verfahren zum Sammeln von Globalen Daten Während einer Photomaskinsektion
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 28.04.2000
Erteilt am 06.07.2016
Vertretung
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23.06.2016
Plasma-Based Light Source
Optik & Fototechnik
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 15.12.2015
Anhängig
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09.06.2016
Determining critical parameters using a high-dimensional variable selection model
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.12.2015
Anhängig
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09.06.2016
Lens array-based illumination for wafer inspection
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.12.2015
Anhängig
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09.06.2016
Automatic defect classification without sampling and feature selection
Software & Datenverarbeitung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.12.2015
Anhängig
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09.06.2016
Spectroscopic Beam Profile Metrology
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.12.2015
Anhängig
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09.06.2016
Inspection systems and techniques with enhanced detection
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.11.2015
Anhängig
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09.06.2016
Predicting and controlling critical dimension issues and pattern defectivity in wafers using interferometry
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.11.2015
Anhängig
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09.06.2016
Apparatus and method for providing a humidity-controlled environment in which to perform optical contacting
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 24.06.2015
Anhängig
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02.06.2016
Analyzing and utilizing landscapes
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 24.11.2015
Anhängig
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26.05.2016
Dual wavelength dual interferometer with optical combiner-splitter
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 20.11.2015
Anhängig
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26.05.2016
System, method and computer program product for combining raw data from multiple metrology tools
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.11.2015
Anhängig
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26.05.2016
Inspection system and method using an off-axis unobscured objective lens
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.11.2015
Anhängig
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26.05.2016
Virtual inspection systems for process window characterization
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 23.11.2015
Anhängig
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19.05.2016
Photomultiplier Tube (pmt) Having A Reflective Photocathode Array
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.11.2015
Anhängig
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19.05.2016
System and method for enhanced defect detection with a digital matched filter
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 11.11.2015
Anhängig
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12.05.2016
Wafer Defect Discovery
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.11.2015
Anhängig
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11.05.2016
Vorrichtung und Verfahren zur Messung von Variationen der Form oder der Dicke von polierten, opaken Platten
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 16.03.2004
Erteilt am 11.05.2016
Vertretung
Keane, Paul Fachtna · Dublin
Johnstone, Helen Margaret · Nottingham
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06.05.2016
Apparatus and methods for optics protection from debris in plasma-based light source
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 02.11.2015
Anhängig
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Wer vertritt KLA Corporation?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die KLA Corporation vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
1.175
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
824
Optik & Fototechnik
468
Software & Datenverarbeitung
295
Elektronik & Schaltungstechnik
47
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
23
Steuerungs- & Regelungstechnik
20
Metallurgie & Oberflächentechnik
19
Verfahrens- & Trenntechnik
15
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
14
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
10
Maschinenelemente & Fluidtechnik
7