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KLA Corporation Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

495
Patente
2000–2019
Anmeldejahre
18
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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495 gesamt
Patent
24.12.2025
Automatisierte Bildbasierte Prozessüberwachung und Steuerung
EP3289607
Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.11.2025
Höhensensor mit mehreren Arbeitsabständen unter Verwendung mehrerer Wellenlängen
EP3807589
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.10.2025
Metrologie mit Diffraktionsbasiertem Fokus
EP3507653
Optik & Fototechnik
27.08.2025
Erzeugung von Simulierten Bildern aus Designinformationen
EP3350654
Software & Datenverarbeitung
28.05.2025
Retikel Optimierungsalgorithmen und Optimales Zieldesign
EP3639166
Optik & Fototechnik
30.04.2025
Design eines Asymmetrischen Detektors und Methodologie
EP3042387
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.03.2025
Beschleunigtes Training eines auf Maschinellem Lernen Basierendem Modell für Halbleiteranwendungen
EP3398123
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
08.01.2025
Verfahren und System zur Optischen Dreidimensionalen Topographiemessung
EP3998477
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
16.10.2024
Röntgenmetrologiesystem mit Breitbandiger Lasererzeugter Plasmabeleuchtungsvorrichtung
EP3738181
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
28.08.2024
Ruthenium-Eingekapselter Photokathoden-Elektronenemitter
EP3695431
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.08.2024
Verfahren und System zur Adaptiven Abtastung einer Probe Während der Elektronenstrahlprüfung
EP3001865
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.03.2024
Verbesserung der Prozesskompatibilität durch Füllfaktormodulation
EP3440511
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.02.2024
Beleuchtungssystem, Prüfwerkzeug mit Beleuchtungssystem und Verfahren zum Betrieb eines Beleuchtungssystems
EP3140638
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
10.01.2024
Kleinwinkelröntgenstreuungsmetrologiesystem für Übertragung
EP3593124
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
27.12.2023
Beleuchtungssteuerung
EP2724361
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
04.10.2023
Defektkontroll- und Photolumineszenz-Messsystem
EP2609418
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.10.2023
Verfahren zur Formklassifizierung eines Objekts
EP3274923
Software & Datenverarbeitung
21.06.2023
Vorrichtung zur Bereitstellung einer Lokalen Sauberen Mikroumgebung in der Nähe von Optischen Oberflächen eines Optischen Extrem-Uv-Systems
EP2969272
Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik
31.05.2023
Vorrichtung zur Handhabung von Substraten für Extrem Gekrümmte Wafer
EP3682468
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.04.2023
Steuerung der Amplitude und Phase von Beugungsordnungen anhand von Polarisationszielen und Polarisierter Beleuchtung
EP3387371
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
23.11.2022
Metrologiesystem und Verfahren zum Kompensieren von Überlagerungsfehlern durch das Metrologiesystem
EP3114705
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
09.11.2022
Metrologie-Überlagerungsmarke und Verfahren
EP3403142
Optik & Fototechnik
01.06.2022
Messung einer Kritischen Dimension
EP2726849
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
04.05.2022
Verwendung von Reflexions- und Übertragungskarten zur Detektion von Retikelabbau
EP2828646
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
20.04.2022
Umdrehvorrichtung, -System und -Verfahren zur Verarbeitung von Artikeln
EP3250487
Verpackungs- & Fördertechnik
06.04.2022
Wafer und Losbasiertes Hierarchisches Verfahren zur Kombination von Angepassten Metriken mit einer Globalen Klassifizierungsmethodologie zur Überwachung eines Prozesswerkzeugzustands bei Extrem Hohem Durchsatz
EP3105780
Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.03.2022
Vorrichtung und Verfahren zur Vorhersage der Druckbarkeit von Fehlern auf Waferebene
EP3210189
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
26.01.2022
Verfahren und System zur Optischen Dreidimensionalen Topographiemessung
EP3411695
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
05.01.2022
Ringlichtbeleuchter und Strahlenformer für den Ringlichtbeleuchter
EP2564111
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
15.12.2021
Systeme und Verfahren zum Scanning mit Schrägem Einfall mit 2D-Anordnung von Punkten
EP3295477
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
10.11.2021
Dauerstrichlaserunterstützte Plasmabeleuchtungsquelle
EP3213339
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
06.10.2021
Verfahren und Vorrichtung zur Fokusbestimmung
EP3033764
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.09.2021
Vorrichtung, Verfahren und Computerprogrammprodukt zur Inspektion von Zumindest der Seitenflächen von Halbleiterbauelementen
EP3281219
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.09.2021
Messwafer zum Messen der Strahlungs- und Temperaturexposition von Wafern Entlang einer Herstellungsprozesslinie
EP3201942
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.09.2021
Mehrschichtiges Überlappungsmetrologie-Ziel und Entsprechende Überlappungsmetrologie-Messsysteme
EP2601675
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.08.2021
System und Verfahren zum Einspannen eines Kontaktlosen Wafers
EP3087595
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.07.2021
Rasterelektronenmikroskop und Verfahren zur Überprüfung und Durchsicht von Proben
EP3140849
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.05.2021
Wafer- und Photomaskeninspektionssysteme und Verfahren zur Auswahl von Beleuchtungspupillenkonfigurationen
EP2823288
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.04.2021
Vorrichtung zur Reduzierung von Überlagerungsfehlern
EP3807924
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.04.2021
Automatisches Fokussierungssystem und Verfahren zur Inspektion zwischen Chips
EP3025369
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

Wer vertritt KLA Corporation?

Die Kanzleien und Patentanwälte, die KLA Corporation vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
301
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
195
Optik & Fototechnik
114
Software & Datenverarbeitung
56
Elektronik & Schaltungstechnik
15
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
4
Steuerungs- & Regelungstechnik
4
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
3
Verpackungs- & Fördertechnik
2
Verfahrens- & Trenntechnik
2
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
2
Metallurgie & Oberflächentechnik
2

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