KLA Corporation Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
24
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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1.908 gesamt| Patent | |||
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12.11.2015
Reticle inspection using near-field recovery
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.05.2015
Anhängig
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12.11.2015
Signal response metrology for scatterometry based overlay measurements
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.05.2015
Anhängig
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12.11.2015
Automatic calibration sample selection for die-to-database photomask inspection
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.05.2015
Anhängig
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05.11.2015
Light-emitting device test systems
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Angemeldet am 29.04.2015
Anhängig
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05.11.2015
Broadband light source including transparent portion with high hydroxide content
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.04.2015
Anhängig
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05.11.2015
Method and system for intrinsic led heating for measurement
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Angemeldet am 01.05.2015
Anhängig
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29.10.2015
Automated inline inspection of wafer edge strain profiles using rapid photoreflectance spectroscopy
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.04.2015
Anhängig
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29.10.2015
Scatterometry-based imaging and critical dimension metrology
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 21.04.2015
Anhängig
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29.10.2015
Confocal line inspection optical system
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 22.04.2015
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22.10.2015
System for electron beam detection
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.04.2015
Anhängig
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22.10.2015
Pattern Suppression in Logic For Wafer Inspection
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.04.2015
Anhängig
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15.10.2015
Estimating and eliminating inter-cell process variation inaccuracy
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 08.04.2015
Anhängig
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08.10.2015
System and method for transverse pumping of laser-sustained plasma
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.04.2015
Anhängig
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08.10.2015
A method, system and computer program product for generating high density registration maps for masks
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.04.2015
Anhängig
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01.10.2015
Mesoscopic defect detection for reticle inspection
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.04.2014
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01.10.2015
High Power Broadband Light Source
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.03.2015
Anhängig
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01.10.2015
Anti-reflection layer for back-illuminated sensor
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.01.2015
Anhängig
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01.10.2015
Production Sample Shaping That Preserves Re-Normalizability
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.03.2015
Anhängig
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01.10.2015
Open plasma lamp for forming a light-sustained plasma
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.03.2015
Anhängig
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01.10.2015
Delta die And Delta Database Inspection
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 24.03.2015
Anhängig
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24.09.2015
Light source with nanostructured antireflection layer
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.03.2015
Anhängig
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24.09.2015
Creating defect classifiers and nuisance filters
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 16.03.2015
Anhängig
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24.09.2015
Compressive sensing with illumination patterning
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 20.03.2015
Anhängig
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24.09.2015
Switchable laser and fiber based lamphouse for optimal power output in different wavelength bands and pixel sizes
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 17.03.2015
Anhängig
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16.09.2015
Verfahren und System zur Waferinspektion in einem Mischmodus
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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16.09.2015
Unbeeinflusste Waferdefektproben
Software & Datenverarbeitung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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11.09.2015
Composite Defect Classifier
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.03.2015
Anhängig
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27.08.2015
Signal response metrology for image based overlay measurements
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.02.2015
Anhängig
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27.08.2015
Process control using measured and estimated field parameters
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.02.2015
Anhängig
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20.08.2015
Metrology targets with filling elements that reduce inaccuracies and maintain contrast
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.09.2014
Anhängig
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20.08.2015
Wafer Notch Detection
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.02.2015
Anhängig
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20.08.2015
Multi-Spot Scanning Collection Optics
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 12.02.2015
Anhängig
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13.08.2015
Grazing Order Metrology
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.02.2015
Anhängig
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13.08.2015
Defect detection and classification based on attributes determined from a standard reference image
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.02.2015
Anhängig
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12.08.2015
Inspektionssysteme und Verfahren zur Defekterkennung auf Euv Maskenrohlingen
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.06.2010
Erteilt am 12.08.2015
Vertretung
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23.07.2015
Pattern failure discovery by leveraging nominal characteristics of alternating failure modes
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.01.2015
Anhängig
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23.07.2015
Semiconductor device models including re-usable sub-structures
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.01.2015
Anhängig
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23.07.2015
Overlay Measurement Of Pitch Walk in Multiply Patterned Targets
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 14.01.2015
Anhängig
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16.07.2015
Solid state light production using flexible grouping of leds
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
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Angemeldet am 07.01.2015
Anhängig
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02.07.2015
Apparatus and method for fine-tuning magnet arrays with localized energy delivery
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 16.12.2014
Anhängig
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Wer vertritt KLA Corporation?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die KLA Corporation vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
1.175
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
824
Optik & Fototechnik
468
Software & Datenverarbeitung
295
Elektronik & Schaltungstechnik
47
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
23
Steuerungs- & Regelungstechnik
20
Metallurgie & Oberflächentechnik
19
Verfahrens- & Trenntechnik
15
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
14
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
10
Maschinenelemente & Fluidtechnik
7