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KLA Corporation Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
24
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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1.908 gesamt
Patent
05.03.2025
Scatterometrie-Überlagerungsmetrologie mit Orthogonaler Feinnicksegmentierung
EP4515176
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
05.03.2025
Konfokale Chromatische Metrologie zur Euv-Quellenzustandsüberwachung
EP4516070
Elektronik & Schaltungstechnik
27.02.2025
Vorspannungs- und Ausleseverfahren für Resistiven Hochgeschwindigkeits-Gatesensor
WO2025043035
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.02.2025
Quantitative linear independent vector based method (qlivbm) for image alignment
WO2025043131
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
27.02.2025
Recommender systems and methods for autonomous mode selection in inspection and other tools
WO2025042796
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
27.02.2025
Vorspannungs- und Ausleseverfahren für Resistiven Hochgeschwindigkeits-Gatesensor
EP4717059
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.02.2025
Mit einem Profilmodell auf Funktionsmassstab Integriertes Plasmahypermodell für Beschleunigte Ätzverfahrenentwicklung
EP4511867
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.02.2025
Autofokussensorimplementierung für Mehrspaltige Mikroskope
EP4511861
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.02.2025
Mehrschritt-Gitterüberlagerungsziel für Abtastüberlagerungsmetrologie
EP4511613
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
26.02.2025
Rauschdiagnose für ein Elektronenstrahlinspektionssystem mit Schwaden
EP4511644
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.02.2025
Reparatur einer Lithographischen Maske durch Simulation der Photoresistdickenentwicklung
EP4511700
Optik & Fototechnik
26.02.2025
Photolumineszenz für Anwendungen im Zusammenhang mit der Halbleiterausbeute
EP4511637
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
26.02.2025
Überlagerungsschätzung auf Basis von Optischer Inspektion und Maschinenlernen
EP4511702
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
26.02.2025
Miniatur Elektronenoptische Säule mit Grossem Sichtfeld
EP4511859
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.02.2025
Mehrstrahliges Elektronenstrahlmikroskopiesystem mit Kippsäule und Verfahren
EP4511862
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.02.2025
Verfahren und Systeme zur Messung von Halbleiterstrukturen mit Aktiver Neigungskorrektur
EP4511612
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.02.2025
Vorrichtungsmerkmalsspezifischer Kantenplatzierungsfehler (epe)
EP4511611
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
26.02.2025
Schnittstellenbasierte Defektinspektion unter Verwendung der Erzeugung der Zweiten Harmonischen
EP4511641
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
26.02.2025
Mosaik-Overlay-Ziele
EP4511701
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
20.02.2025
System und Verfahren zur Dauerbasierten Abtastpfadeinstellung
EP4716824
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
20.02.2025
Seltene Ereignistrainingsdatensätze für Robustes Training von Komponenten im Zusammenhang mit Halbleiterertrag
EP4716921
20.02.2025
System und Verfahren zur Dauerbasierten Abtastpfadeinstellung
WO2025038686
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
20.02.2025
Seltene Ereignistrainingsdatensätze für Robustes Training von Komponenten im Zusammenhang mit Halbleiterertrag
WO2025038696
Software & Datenverarbeitung
20.02.2025
Overlay metrology target for die-to-wafer overlay metrology
WO2025038361
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.02.2025
Räumlich Variierende Spektrale Metrologie zur Detektion Lokaler Variationen
EP4716842
13.02.2025
Verfahren zur Herstellung und Implementierung einer Prozesszustandsmessvorrichtung
WO2025034633
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.02.2025
Räumlich Variierende Spektrale Metrologie zur Detektion Lokaler Variationen
WO2025034939
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
13.02.2025
Dual Frequency Comb Imaging Spectroscopic Ellipsometer
WO2025034411
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.02.2025
Ccd-Sensor mit Zwei Parallelen Säulen und Prüfsysteme mit einem Sensor
EP3440832
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.02.2025
Pupillenfilter mit Räumlich Variierender Transmission
WO2025029409
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
06.02.2025
Pupillenfilter mit Räumlich Variierender Transmission
EP4716844
23.01.2025
Deep learning based mode selection for inspection
WO2025019164
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
09.01.2025
Multiple pass optical measurements of semiconductor structures
WO2025010170
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.01.2025
Verfahren und System zur Optischen Dreidimensionalen Topographiemessung
EP3998477
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
02.01.2025
Metrology in the presence of cmos under array (cua) structures utilizing an effective medium model with classification of cua structures
WO2025006191
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.01.2025
Metrology in the presence of cmos under array (cua) structures utilizing machine learning and physical modeling
WO2025006320
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
02.01.2025
Metrology in the presence of cmos under array (cua) structures utilizing model-less machine learning
WO2025006319
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.01.2025
Metrology in the presence of cmos under array (cua) structures utilizing an effective medium model with physical modeling
WO2025006313
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.12.2024
System and method for growth of quasi-phase matched strontium tetraborate and lithium triborate crystals for frequency conversion
WO2024263393
Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik
26.12.2024
Grating-over-grating overlay measurement with parallel color per layer
WO2024263285
Optik & Fototechnik

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
1.175
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
824
Optik & Fototechnik
468
Software & Datenverarbeitung
295
Elektronik & Schaltungstechnik
47
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
23
Steuerungs- & Regelungstechnik
20
Metallurgie & Oberflächentechnik
19
Verfahrens- & Trenntechnik
15
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
14
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
10
Maschinenelemente & Fluidtechnik
7

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