KLA Corporation Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
495
Patente
2000–2019
Anmeldejahre
18
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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495 gesamt| Patent | |||
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14.05.2015
Metrology Optimized Inspection
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.11.2014
Anhängig
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07.05.2015
Methods and apparatus for measuring semiconductor device overlay using x-ray metrology
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.10.2014
Anhängig
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07.05.2015
Determining information for defects on wafers
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 31.10.2014
Anhängig
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07.05.2015
Method and system for correlating optical images with scanning electron microscopy images
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 04.11.2014
Anhängig
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07.05.2015
Wafer grounding using localized plasma source
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.11.2014
Anhängig
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07.05.2015
Improved light collection optics for measuring flux and spectrum from light-emitting devices
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 31.10.2014
Anhängig
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07.05.2015
Decision tree construction for automatic classification of defects on semiconductor wafers
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.11.2014
Anhängig
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30.04.2015
Small-angle scattering x-ray metrology systems and methods
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.10.2014
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23.04.2015
Method and apparatus for non-contact measurement of sheet resistance and shunt resistance of p-n junctions
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 17.10.2014
Anhängig
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23.04.2015
Bias-Variant Photomultiiplier Tube
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.10.2014
Anhängig
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02.04.2015
Enhanced Defect Detection in Electron Beam Inspection And Review
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.09.2014
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26.03.2015
Notched Magnetic Lens For Improved Sample Access in an Sem
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.09.2014
Anhängig
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19.03.2015
Low Noise, High Stability, Deep Ultra-Violet, Continuous Wave Laser
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.09.2014
Anhängig
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12.03.2015
Method and apparatus for non-contact measurement of forward voltage, saturation current density, ideality factor and i-v curves in p-n junctions
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.09.2014
Anhängig
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05.03.2015
Removing Process-Variation-Related Inaccuracies From Scatterometry Measurements
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 26.08.2014
Anhängig
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05.03.2015
Scratch filter for wafer inspection
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.08.2014
Anhängig
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05.03.2015
Tuning wafer inspection recipes using precise defect locations
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.08.2014
Anhängig
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26.02.2015
Method and system for high speed height control of a substrate surface within a wafer inspection system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.08.2014
Anhängig
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26.02.2015
Multi-Model Metrology
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.08.2014
Anhängig
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19.02.2015
System and method for separation of pump light and collected light in a laser pumped light source
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.08.2014
Anhängig
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19.02.2015
System and method for imaging a sample with a laser sustained plasma illumination output
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 14.08.2014
Anhängig
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12.02.2015
Adaptive electrical testing of wafers
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.08.2014
Anhängig
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12.02.2015
Multi-spot illumination for improved detection sensitivity
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.08.2014
Anhängig
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04.02.2015
Modelloptimierungsansatz auf der Basis von Spektraler Empfindlichkeit
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 13.03.2013
Anhängig
Vertretung
Keane, Paul Fachtna · Dublin
WP Thompson · Liverpool
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29.01.2015
Reflection symmetric scatterometry overlay targets and methods
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 25.07.2014
Anhängig
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22.01.2015
Illumination configurations for scatterometry measurements
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 15.07.2014
Anhängig
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15.01.2015
Metrology tool stage configurations and operation methods
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.07.2014
Anhängig
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15.01.2015
Methods and systems for detecting repeating defects on semiconductor wafers using design data
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.07.2014
Anhängig
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15.01.2015
Combined x-ray and optical metrology
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 07.07.2014
Anhängig
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15.01.2015
Identifying registration errors of dsa lines
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 10.07.2014
Anhängig
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15.01.2015
Aperture Alignment in Scatterometry Metrology Systems
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.07.2014
Anhängig
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31.12.2014
Method and system for improving wafer surface inspection sensitivity
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.06.2014
Anhängig
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31.12.2014
Calculated electrical performance metrics for process monitoring and yield management
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.06.2014
Anhängig
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31.12.2014
Polarization measurements of metrology targets and corresponding target designs
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.06.2014
Anhängig
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31.12.2014
Selection and use of representative target subsets
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 26.06.2014
Anhängig
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24.12.2014
Hybrid imaging and scatterometry targets
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.06.2014
Anhängig
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24.12.2014
2D Programmable Aperture Mechanism
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 19.06.2014
Anhängig
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24.12.2014
Wafer inspection using free-form care areas
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 20.06.2014
Anhängig
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27.11.2014
Metrology system optimization for parameter tracking
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 19.05.2014
Anhängig
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19.11.2014
Verfahren und Vorrichtung für Datenbankgestützte Retikelinspektion zur Requalifizierung
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Wer vertritt KLA Corporation?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die KLA Corporation vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
301
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
195
Optik & Fototechnik
114
Software & Datenverarbeitung
56
Elektronik & Schaltungstechnik
15
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
4
Steuerungs- & Regelungstechnik
4
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
3
Verpackungs- & Fördertechnik
2
Verfahrens- & Trenntechnik
2
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
2
Metallurgie & Oberflächentechnik
2