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KLA Corporation Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

495
Patente
2000–2019
Anmeldejahre
18
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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495 gesamt
Patent
12.11.2014
Vorrichtung zur Untersuchung von Halbleiter-Wafern und Masken, die ein Niederenergie-Elektronenmikroskop mit Zwei Beleuchtungsstrahlen Verwenden
EP1290430
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.10.2014
Multi-Layer Ceramic Vacuum To Atmosphere Electric Feed Through
WO2014176565
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.10.2014
Bibliothekserstellung mit Derivaten in Optischer Messtechnik
EP2791968
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
22.10.2014
Verfahren für Optimierte Scatterometrie
EP2791653
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
09.10.2014
Wafer shape and thickness measurement system utilizing shearing interferometers
WO2014165540
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.10.2014
Mesoscopic defect detection for reticle inspection
WO2014165547
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.10.2014
Apparatus and methods for determining defect depths in vertical stack memory
WO2014165680
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.09.2014
System and method to determine depth for optical wafer inspection
WO2014152065
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.09.2014
Auf Prozessvariation Basierende Modelloptimierung für Metrologie
EP2774175
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.08.2014
Gas refraction compensation for laser-sustained plasma bulbs
WO2014130836
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.05.2014
Winkelspektroskopellipsometrie für Mehrere Analysegeräte
EP2729789
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
07.05.2014
Hintergrundreduzierungssystem mit einer Jalousie
EP2726906
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.04.2014
Spektrometer auf Waferebene
EP2721381
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
08.01.2014
Genaues und Schnelles Training eines Neuronalen Netzwerks für Bibliotheksbasierte Metrologie mit Kritischer Dimension
EP2681684
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
01.01.2014
Risikobewertung einer Vorrichtung auf Entwurfsbasis
EP2678880
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
18.12.2013
Bibliothek für Metrologie mit Breitem Prozessbereich
EP2673797
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.11.2013
Vorrichtung zur Euv-Bildgebung und Verfahren zu Ihrer Verwendung
EP2663897
Optik & Fototechnik
13.11.2013
Verfahren und Systeme für Verbesserte Lokalisierte Merkmalsquantifizierung in Oberflächenmetrologiewerkzeugen
EP2661769
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.10.2013
Critical dimension uniformity monitoring for extreme ultra-violet reticles
WO2013158593
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.10.2013
Smart memory alloys for an inspection, metrology, review or formation apparatus
WO2013155469
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
05.06.2013
Vorrichtung und Verfahren zur Dreidimensionalen Kontrolle von Sägemarkierungen auf Wafern
EP2598838
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.06.2013
Ringlichtbeleuchter, Strahlenformer und Beleuchtungsverfahren
EP2598791
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Optik & Fototechnik
05.06.2013
Verfahren und System zur Bereitstellung von Prozesswerkzeug-Korrekturmitteln
EP2599106
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.06.2013
Lesemethodologie zur Mehrkanalerfassung eines Räumlich Verteilten Signals
EP2598852
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
29.05.2013
Verfahren zur Automatischen Bestimmung eines Optimal Parametrisierten Scatterometrie-Modells
EP2596334
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
10.05.2013
Light Source Tracking in Optical Metrology System
WO2013066899
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
25.04.2013
Acquisition of information for a construction site
WO2013059160
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
18.04.2013
Capacitive inspection of euv photomasks
WO2013055708
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.03.2013
Berechnungseffizienz durch Verkürzung Iterativer Räumlicher Harmonien
EP2572304
Software & Datenverarbeitung
20.02.2013
Vorrichtung und Verfahren zur Einrichtung von Parametern für Optische Inspektionen
EP2558846
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
07.02.2013
Determining thin film stack functional relationships for measurement of chemical composition
WO2013019349
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
07.02.2013
Method and apparatus for estimating the efficiency of a solar cell
WO2013017993
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.01.2013
Permanent Magnet Lens Array
WO2013012522
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.01.2013
Adaptive Optics For Compensating Aberrations in Light-Sustained Plasma Cells
WO2013003289
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.01.2013
Determimation of absolute dimensions of particles used as calibration standards for optical measurement systems
WO2013003127
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
03.01.2013
Measurement of composition for thin films
WO2013003122
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.12.2012
Optical system polarizer calibration
WO2012177404
Optik & Fototechnik
27.12.2012
Method and apparatus for inspection of light emitting semiconductor devices using photoluminescence imaging
WO2012176106
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.12.2012
Method of optimizing an optical parametric model for structural analysis using optical critical dimension (ocd) metrology
WO2012177477
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
20.12.2012
Semiconductor inspection and metrology system using laser pulse multiplier
WO2012173943
Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
301
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
195
Optik & Fototechnik
114
Software & Datenverarbeitung
56
Elektronik & Schaltungstechnik
15
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
4
Steuerungs- & Regelungstechnik
4
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
3
Verpackungs- & Fördertechnik
2
Verfahrens- & Trenntechnik
2
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
2
Metallurgie & Oberflächentechnik
2

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