KLA Corporation Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
495
Patente
2000–2019
Anmeldejahre
18
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
Patente durchsuchen
495 gesamt| Patent | |||
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28.04.2016
Dynamic binning for diversification and defect discovery
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.10.2015
Anhängig
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21.04.2016
Defect detection using structural information
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.10.2015
Anhängig
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21.04.2016
Signal response metrology for image based and scatterometry overlay measurements
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.10.2015
Anhängig
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07.04.2016
183nm laser and inspection system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.10.2015
Anhängig
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07.04.2016
Verification metrology targets and their design
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.10.2015
Anhängig
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03.03.2016
Repeater Detection
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.08.2015
Anhängig
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18.02.2016
Predictive modeling based focus error prediction
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.04.2015
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04.02.2016
Inspection For Multiple Process Steps in A Single Inspection Process
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.07.2015
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28.01.2016
High Resolution High Quantum Efficiency Electron Bombarded Ccd Or Cmos Imaging Sensor
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.07.2015
Anhängig
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21.01.2016
Metrology using overlay and yield critical patterns
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.07.2015
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17.12.2015
Automatic recipe stability monitoring and reporting
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 11.06.2015
Anhängig
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17.12.2015
Extracting comprehensive design guidance for in-line process control tools and methods
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 11.06.2015
Anhängig
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19.11.2015
Image acquisition system, image acquisition method, and inspection system
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 13.05.2015
Anhängig
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19.11.2015
Library expansion system, method, and computer program product for metrology
Software & Datenverarbeitung
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Angemeldet am 15.05.2015
Anhängig
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19.11.2015
Defect sampling for electron beam review based on defect attributes from optical inspection and optical review
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.05.2015
Anhängig
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12.11.2015
Signal response metrology for scatterometry based overlay measurements
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.05.2015
Anhängig
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12.11.2015
Automatic calibration sample selection for die-to-database photomask inspection
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.05.2015
Anhängig
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05.11.2015
Light-emitting device test systems
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 29.04.2015
Anhängig
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05.11.2015
Broadband light source including transparent portion with high hydroxide content
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.04.2015
Anhängig
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05.11.2015
Method and system for intrinsic led heating for measurement
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 01.05.2015
Anhängig
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29.10.2015
Confocal line inspection optical system
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 22.04.2015
Anhängig
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22.10.2015
Pattern Suppression in Logic For Wafer Inspection
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.04.2015
Anhängig
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22.10.2015
System for electron beam detection
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.04.2015
Anhängig
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08.10.2015
A method, system and computer program product for generating high density registration maps for masks
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.04.2015
Anhängig
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08.10.2015
System and method for transverse pumping of laser-sustained plasma
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.04.2015
Anhängig
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01.10.2015
Delta die And Delta Database Inspection
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 24.03.2015
Anhängig
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24.09.2015
Switchable laser and fiber based lamphouse for optimal power output in different wavelength bands and pixel sizes
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 17.03.2015
Anhängig
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11.09.2015
Composite Defect Classifier
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.03.2015
Anhängig
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27.08.2015
Process control using measured and estimated field parameters
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.02.2015
Anhängig
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27.08.2015
Signal response metrology for image based overlay measurements
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.02.2015
Anhängig
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20.08.2015
Multi-Spot Scanning Collection Optics
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 12.02.2015
Anhängig
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12.08.2015
Inspektionssysteme und Verfahren zur Defekterkennung auf Euv Maskenrohlingen
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.06.2010
Erteilt am 12.08.2015
Vertretung
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23.07.2015
Overlay Measurement Of Pitch Walk in Multiply Patterned Targets
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 14.01.2015
Anhängig
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23.07.2015
Semiconductor device models including re-usable sub-structures
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.01.2015
Anhängig
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23.07.2015
Pattern failure discovery by leveraging nominal characteristics of alternating failure modes
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.01.2015
Anhängig
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16.07.2015
Solid state light production using flexible grouping of leds
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
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Status
Angemeldet am 07.01.2015
Anhängig
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25.06.2015
Context-based inspection for dark field inspection
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.12.2014
Anhängig
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18.06.2015
Plasma cell with floating flange
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 12.12.2014
Anhängig
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03.06.2015
Technik zur Steuerung der Fehlausrichtung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 09.04.2002
Erteilt am 03.06.2015
Vertretung
Luckhurst, Anthony Henry William · London
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21.05.2015
Metrology imaging targets having reflection-symmetric pairs of reflection-asymmetric structures
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 29.09.2014
Anhängig
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Wer vertritt KLA Corporation?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die KLA Corporation vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
301
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
195
Optik & Fototechnik
114
Software & Datenverarbeitung
56
Elektronik & Schaltungstechnik
15
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
4
Steuerungs- & Regelungstechnik
4
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
3
Verpackungs- & Fördertechnik
2
Verfahrens- & Trenntechnik
2
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
2
Metallurgie & Oberflächentechnik
2