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KLA Corporation Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
24
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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1.908 gesamt
Patent
10.04.2025
Spectroscopic ellipsometry with detector resolved numerical aperture for deep structure metrology
WO2025075891
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.04.2025
Integrated non-contact cleaning and inspection system and method for electronic components
WO2025075686
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.04.2025
Aufnahme- und Positionierkopf mit Automatischer Neigungseinstellung
EP4770931
09.04.2025
Multi-Elektronenstrahl-System mit Mikro-Stigmator-Array
EP4091187
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.04.2025
Zweisäulenparalleler Ccd-Sensor und Inspektionssysteme mit Sensor
EP4534987
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.04.2025
Verfahren zur Kalibrierung, Vorhersage und Steuerung Stochastischer Defekte in der Euv-Lithographie
EP4716846
03.04.2025
Abbildung von Vier Elektronenstrahlmengen Während Werkstückinspektion
WO2025071904
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.04.2025
Small in-die target design for overlay measurement
WO2025071937
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
03.04.2025
Verfahren zur Kalibrierung, Vorhersage und Steuerung Stochastischer Defekte in der Euv-Lithographie
WO2025072228
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
03.04.2025
Electrical performance prediction based on structural measurements of partially fabricated semiconductor devices
WO2025072039
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.04.2025
Abbildung von Vier Elektronenstrahlmengen Während Werkstückinspektion
EP4716958
03.04.2025
Verfahren zur Kalibrierung, Vorhersage und Steuerung Stochastischer Defekte in der Euv-Lithographie
WO2025072229
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
27.03.2025
Sapphire lamp for laser sustained plasma broadband light source
WO2025064450
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.03.2025
Automatic Method To Find Extent Of Repeating Geometry in an Integrated Circuit Layout
WO2025064219
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.03.2025
Verfahren zur In-Situ-Vakuumkontaminationsmessung und -Identifizierung in Willkürlich Grossen Kammern
WO2025058929
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.03.2025
Mehrsäulige Bildgebungsplattform mit Grossem Sichtfeld
EP4716843
20.03.2025
Optik zur In-Situ-Rasterelektronenmikroskopreparatur
EP4716957
20.03.2025
Verfahren zur In-Situ-Vakuumkontaminationsmessung und -Identifizierung in Willkürlich Grossen Kammern
EP4716838
20.03.2025
Growth of strontium tetraborate crystals
WO2025058855
Metallurgie & Oberflächentechnik
20.03.2025
Konzentrizitätsoffsetmessung für Hybridbonden
WO2025059083
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
20.03.2025
Mehrsäulige Bildgebungsplattform mit Grossem Sichtfeld
WO2025058876
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
20.03.2025
Optik zur In-Situ-Rasterelektronenmikroskopreparatur
WO2025058860
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.03.2025
Spektrale Winkelmetrologie
WO2025054214
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
13.03.2025
Spektrale Winkelmetrologie
EP4716833
12.03.2025
Beschleunigtes Training eines auf Maschinellem Lernen Basierendem Modell für Halbleiteranwendungen
EP3398123
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
06.03.2025
Robust image-to-design alignment for dram
WO2025049127
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.03.2025
Metrologieabtastpläne zur Ausschliesslichen Detektion Ausserhalb der Spezifikation
EP4515215
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.03.2025
System und Verfahren zur Unterdrückung von Werkzeuginduzierter Verschiebung in der Abtastüberlagerungsmetrologie
EP4515335
Optik & Fototechnik
05.03.2025
Schnittstellenbasierte Dünnschichtmetrologie unter Verwendung der Erzeugung der Zweiten Harmonischen
EP4515214
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
05.03.2025
Inspektion von Adaptiven Strukturierten Werkstücken mit Dynamischem Design und Tiefenlernen-Basierter Darstellung
EP4515216
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
05.03.2025
Verfahren und Vorrichtung zur Dynamischen Abdichtung zwischen Zonen eines Ultrareinen Vakuumsystems
EP4515219
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.03.2025
Verzerrungsverringerung in einem Mehrstrahl-Abbildungssystem
EP4515220
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
05.03.2025
Bildvorverarbeitung für Überlagerungsmetrologie unter Verwendung von Zerlegungstechniken
EP4515334
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
05.03.2025
Verfahren und Systeme für Scatterometriebasierte Metrologie von auf Transparenten Substraten Hergestellten Strukturen
EP4515208
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
05.03.2025
Heberanordnung mit Balg für Optisches Inspektionssystem
EP4515217
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.03.2025
3D-Profilometrie mit einem Linnik-Interferometer
EP4515175
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
05.03.2025
System und Verfahren zur Erfassung von Ausrichtungsmessungen von Strukturen einer Gebundenen Probe
EP4515177
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.03.2025
System und Verfahren für Mehrstrahlelektronenmikroskopie mit einer Detektoranordnung
EP4515221
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
05.03.2025
Konfokale Chromatische Metrologie zur Euv-Quellenzustandsüberwachung
EP4516070
Elektronik & Schaltungstechnik
05.03.2025
Messungen von Halbleiterstrukturen auf der Basis von Spektralunterschieden bei Verschiedenen Verarbeitungsstufen
EP4515209
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
1.175
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
824
Optik & Fototechnik
468
Software & Datenverarbeitung
295
Elektronik & Schaltungstechnik
47
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
23
Steuerungs- & Regelungstechnik
20
Metallurgie & Oberflächentechnik
19
Verfahrens- & Trenntechnik
15
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
14
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
10
Maschinenelemente & Fluidtechnik
7

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