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Lam Research Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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2.725 gesamt
Patent
27.04.2023
Extreme Edge Feature Profile Tilt Control By Altering Input Voltage Waveform To Edge Ring
WO2023069654
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.04.2023
Adaptive positioning systems and routines using an autocalibration wafer and a calibration wafer with cutouts
WO2023069463
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.04.2023
Strip with bevel cleaning
WO2023069346
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.04.2023
Systems and methods for determining a phase difference between rf signals provided to electrodes
WO2023069211
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.04.2023
Exhaust monitoring apparatus and method for substrate processing systems
WO2023069210
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.04.2023
A method and apparatus for enhancing ion energy and reducing ion energy spread in an inductively coupled plasma
WO2023059990
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
13.04.2023
Selective control of multi-station processing chamber components
WO2023059988
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.04.2023
End effector pad design for bowed wafers
WO2023059668
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.04.2023
Multi-station processing module and reactor architecture
WO2023059431
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.04.2023
Deposition and treatment of nano-graphene at low temperatures
WO2023056393
Metallurgie & Oberflächentechnik
06.04.2023
Edge Capacitively Coupled Plasma Chamber Structure
WO2023055836
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.04.2023
Voltage and current probe assemblies for radio frequency current carrying conductors
WO2023055688
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
30.03.2023
Methods and formulations for sacrificial bracing, surface protection, and queue-time management using stimulus responsive polymers
WO2023049463
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.03.2023
In-situ back side plasma treatment for residue removal from substrates
WO2023049013
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.03.2023
Balancing gas flow to multiple stations using heaters upstream of flow restrictors
WO2023049008
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.03.2023
Reference box for direct-drive radiofrequency power supply
WO2023043751
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.03.2023
Enclosure For Mitigating Rf Power Ramp Up in Icp Source
WO2023043768
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.03.2023
Symmetric coupling of coil to direct-drive radiofrequency power supplies
WO2023043795
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.03.2023
Metrology enclosure including spectral reflectometry system for plasma processing system using direct-drive radiofrequency power supply
WO2023043763
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.03.2023
Junction system for direct-drive radiofrequency power supply
WO2023043748
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.03.2023
Hybrid Frequency Plasma Source
WO2023038838
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
16.03.2023
Techniques and apparatuses for processing chalcogenides
WO2023038870
16.03.2023
Multi-State Rf Pulsing in Cycling Recipes To Reduce Charging Induced Defects
WO2023038763
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.03.2023
Process Gas Ramp During Semiconductor Processing
WO2023038905
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.03.2023
Atomic layer etching using boron trichloride
WO2023039382
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.03.2023
Auto bit check for pneumatic valve verification
WO2023039326
Maschinenelemente & Fluidtechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.03.2023
Electrode-dielectric nozzle for plasma processing
WO2023034209
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.03.2023
Method and apparatus for etching a carbon containing layer
WO2023034518
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.03.2023
Machine vision inspection of wafer processing tool
WO2023034695
Metallurgie & Oberflächentechnik Software & Datenverarbeitung
09.03.2023
Joining techniques for composite ceramic bodies
WO2023034760
Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.03.2023
Ion beam etch system and method
WO2023027955
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.03.2023
Compact Gas Separator Devices Co-Located On Substrate Processing Systems
WO2023027927
Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
02.03.2023
In-Situ Core Protection in Multi-Patterning
WO2023028461
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.02.2023
Apparatuses for radiative heating of an edge region of a semiconductor wafer
WO2023023526
Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik
23.02.2023
Clockable substrate processing pedestal for use in semiconductor fabrication tools
WO2023022742
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.02.2023
Treated Ceramic Chamber Parts
WO2023022890
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.02.2023
Showerhead to pedestal gapping with differential capacitive sensor substrate
WO2023022877
Metallurgie & Oberflächentechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
16.02.2023
Distortion of pulses for wafer biasing
WO2023019145
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.02.2023
Yttrium aluminum perovskite (yap) based coatings for semiconductor processing chamber components
WO2023018578
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.02.2023
Process Module Chamber Providing Symmetric Rf Return Path
WO2023018596
Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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50
Elektrische Energietechnik
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42
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