Lam Research Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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2.725 gesamt| Patent | |||
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16.02.2023
Substrate processing system including rf matching circuit for multi-frequency, multi-level, multi-state pulsing
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 03.08.2022
Anhängig
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16.02.2023
Amplitude modulation of voltage with rectifier and buck stage to control heater temperature
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 28.07.2022
Anhängig
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15.02.2023
Elektrofüllung aus Alkalischen Elektrobeschichtungslösungen
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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02.02.2023
Multi-step post-exposure treatment to improve dry development performance of metal-containing resist
Optik & Fototechnik
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Angemeldet am 15.07.2022
Anhängig
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02.02.2023
Rework of metal-containing photoresist
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 20.07.2022
Anhängig
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02.02.2023
Substrate supports with mesochannel assemblies
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 19.07.2022
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26.01.2023
Increasing deposition rates of oxide films
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Angemeldet am 24.06.2022
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26.01.2023
Plasma systems and methods for using square-shaped pulse signals
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 18.07.2022
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26.01.2023
Monitoring and control of plasma-based processes
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 20.07.2022
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26.01.2023
Selective deposition of graphene on cobalt-capped copper dual damascene interconnect
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.07.2022
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26.01.2023
Graphene-Capped Copper in Dual Damascene Interconnect
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.07.2022
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18.01.2023
Stabilisierung von Kohlenstoffablagerungsvorläufern Wie Acetylen.
Organische Chemie
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
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12.01.2023
Compliant guiding mechanism for mechanical actuator
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 06.07.2022
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05.01.2023
Multiple state pulsing for high aspect ratio etch
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 16.06.2022
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04.01.2023
Vorrichtung zur Bearbeitung eines Wafers
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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29.12.2022
Profile Twisting Control in Dielectric Etch
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 16.06.2022
Anhängig
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29.12.2022
Radical-Activated Carbon Film Deposition
Anorganische Chemie & Werkstoffe
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 16.06.2022
Anhängig
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29.12.2022
Micro Inert Anode Array For die Level Electrodeposition Thickness Distribution Control
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.06.2022
Anhängig
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22.12.2022
Systems and methods for etching a high aspect ratio structure
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.12.2021
Anhängig
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22.12.2022
Dry development apparatus and methods for volatilization of dry development byproducts in wafers
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.06.2022
Anhängig
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22.12.2022
Delivery of high concentrations of molecular hydrogen and other gases to substrate processing systems
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 15.06.2022
Anhängig
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22.12.2022
In-situ hydrocarbon-based layer for non-conformal passivation of partially etched structures
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.06.2022
Anhängig
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22.12.2022
Frontside and backside pressure monitoring for substrate movement prevention
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.06.2022
Anhängig
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14.12.2022
Behandlungen nach der Anwendung/belichtung zur Verbesserung der Trockenentwicklungsleistung von Metallhaltigem Euv-Resist
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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14.12.2022
Bodenkantenringe
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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08.12.2022
In situ sensor and logic for process control
Software & Datenverarbeitung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 23.05.2022
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01.12.2022
Chemistry for high aspect ratio etch for 3d-nand
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 24.05.2022
Anhängig
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01.12.2022
Apparatuses for thermal management of a pedestal and chamber
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 26.05.2022
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24.11.2022
Low temperature manifold assembly for substrate processing systems
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.05.2022
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24.11.2022
Magnetic field control system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 17.05.2022
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24.11.2022
Movable disk with aperture for etch control
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.05.2022
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24.11.2022
Tungsten Wordline Fill in High Aspect Ratio 3D Nand Architecture
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 19.05.2022
Anhängig
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17.11.2022
High Selectivity Doped Hardmask Films
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 11.05.2022
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10.11.2022
Apparatuses For Uniform Fluid Delivery in A Multi-Station Semiconductor Processing Chamber
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.04.2022
Anhängig
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10.11.2022
Wafer State Detection
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.04.2022
Anhängig
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03.11.2022
Rotational indexers with wafer centering capability
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 22.04.2022
Anhängig
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03.11.2022
Use of signal filtering schemes in high tcr based control
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 25.04.2022
Anhängig
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03.11.2022
Apparatuses for measuring gap between substrate support and gas distribution device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.04.2022
Anhängig
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03.11.2022
Integrated Atmospheric Plasma Treatment Station in Processing Tool
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.04.2022
Anhängig
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03.11.2022
Semiconductor Tool Arrangements
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.04.2022
Anhängig
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Wer vertritt Lam Research?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Lam Research vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
2.172
Metallurgie & Oberflächentechnik
774
Elektronik & Schaltungstechnik
177
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
141
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
118
Optik & Fototechnik
116
Verfahrens- & Trenntechnik
105
Software & Datenverarbeitung
50
Elektrische Energietechnik
44
Steuerungs- & Regelungstechnik
42
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
39
Maschinenelemente & Fluidtechnik
31