Lam Research Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
Patente durchsuchen
2.725 gesamt| Patent | |||
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22.06.2023
Development of hybrid organotin oxide photoresists
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 12.12.2022
Anhängig
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22.06.2023
Method to smooth sidewall roughness and maintain reentrant structures during dielectric gap fill
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.12.2022
Anhängig
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22.06.2023
High Pressure Plasma Inhibition
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.12.2022
Anhängig
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22.06.2023
Development strategy for high-absorbing metal-containing photoresists
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 16.12.2022
Anhängig
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21.06.2023
Vorrichtung zur Verarbeitung eines Waferförmigen Artikels
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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15.06.2023
Feature fill with nucleation inhibition
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.12.2022
Anhängig
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15.06.2023
Control Of Etch Profiles in High Aspect Ratio Holes Via Thermal Atomic Layer Etching
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.12.2022
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15.06.2023
Manifold for supplying coolant to components of substrate processing systems
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.12.2022
Anhängig
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15.06.2023
Soaking and esc clamping sequence for high bow substrates
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.12.2022
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08.06.2023
Selective etch using fluorocarbon-based deposition of a metalloid or metal
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.11.2022
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08.06.2023
Gradient Liner in Metal Fill
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.11.2022
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08.06.2023
Conformal, carbon-doped silicon nitride films and methods thereof
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.11.2022
Anhängig
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08.06.2023
Dry process tool with adjustable flow valve
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.11.2022
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08.06.2023
Deposition of high compressive stress thermally stable nitride film
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.11.2022
Anhängig
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07.06.2023
Dünner Schattenring für Grabenätzen mit Geringer Neigung
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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01.06.2023
Showerhead Faceplate Configurations
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.11.2022
Anhängig
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01.06.2023
Apparatuses and techniques for cleaning a multi-station semiconductor processing chamber
Verfahrens- & Trenntechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.11.2022
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01.06.2023
Method and apparatus for gas and deposition precursor delivery heater
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 13.10.2022
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31.05.2023
Verfahren zum Plasmaätzen einer Schicht auf der Basis eines Iii-N-Materials
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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25.05.2023
Silicon etch with organochloride
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.11.2022
Anhängig
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25.05.2023
Edge Rings For Improved Edge Uniformity in Semiconductor Processing Operations
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.11.2022
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19.05.2023
Coated part for capacitively coupled chamber
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.09.2022
Anhängig
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19.05.2023
Compact in-situ gas separator for substrate processing systems
Verfahrens- & Trenntechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.11.2022
Anhängig
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19.05.2023
System for monitoring performance of electrostatic chucks in substrate processing systems
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.11.2022
Anhängig
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19.05.2023
Nesting atmospheric robot arms for high throughput
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.11.2022
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11.05.2023
Substrate processing tool with rapid and selective control of partial pressure of water vapor and oxygen
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.11.2022
Anhängig
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11.05.2023
Method and apparatus for automated regulation of a frequency-modulated multilevel outphasing power amplifier
Elektrische Energietechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 31.10.2022
Anhängig
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11.05.2023
System and method for carbon plug formation
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.10.2022
Anhängig
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11.05.2023
Modification Of Metal-Containing Surfaces in High Aspect Ratio Plasma Etching
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.11.2022
Anhängig
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11.05.2023
Pin Lift Hard Stop
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 31.10.2022
Anhängig
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04.05.2023
Microchannel assembly cooled power circuits for power boxes of substrate processing systems
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 20.10.2022
Anhängig
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04.05.2023
Thermal imaging for analysis of device fabrication tools
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.10.2022
Anhängig
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04.05.2023
Showerhead with hole sizes for radical species delivery
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.10.2022
Anhängig
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04.05.2023
Degas system using inert purge gas at controlled pressure for a liquid delivery system of a substrate processing system
Verfahrens- & Trenntechnik
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 31.10.2022
Anhängig
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04.05.2023
Atomic Layer Deposition Seam Reduction
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.10.2022
Anhängig
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04.05.2023
Modulating thermal conductivity to control cooling of showerhead
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.10.2022
Anhängig
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04.05.2023
Valve for semiconductor equipment
Maschinenelemente & Fluidtechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 24.10.2022
Anhängig
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04.05.2023
Phased array antennas and methods for controlling uniformity in processing a substrate
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.10.2022
Anhängig
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27.04.2023
Strip with bevel cleaning
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.10.2022
Anhängig
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27.04.2023
Systems and methods for determining a phase difference between rf signals provided to electrodes
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 16.09.2022
Anhängig
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Wer vertritt Lam Research?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Lam Research vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
2.172
Metallurgie & Oberflächentechnik
774
Elektronik & Schaltungstechnik
177
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
141
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
118
Optik & Fototechnik
116
Verfahrens- & Trenntechnik
105
Software & Datenverarbeitung
50
Elektrische Energietechnik
44
Steuerungs- & Regelungstechnik
42
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
39
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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