Lam Research Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
Patente durchsuchen
2.725 gesamt| Patent | |||
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30.12.2021
Dry backside and bevel edge clean of photoresist
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.06.2021
Anhängig
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30.12.2021
Automated Showerhead Tilt Adjustment
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 10.06.2021
Anhängig
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30.12.2021
Surface modification for metal-containing photoresist deposition
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.05.2021
Anhängig
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30.12.2021
Carrier rings with radially-varied plasma impedance
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.06.2021
Anhängig
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30.12.2021
Systems and methods for use of low frequency harmonics in bias radiofrequency supply to control uniformity of plasma process results across substrate
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.06.2021
Anhängig
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30.12.2021
Matched chemistry component body and coating for a semiconductor processing chamber
Anorganische Chemie & Werkstoffe
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Status
Angemeldet am 16.06.2021
Anhängig
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30.12.2021
Sealing surfaces of components used in plasma etching tools using atomic layer deposition
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.06.2021
Anhängig
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30.12.2021
Selective Deposition Using Graphene As an Inhibitor
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.06.2021
Anhängig
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29.12.2021
Makroskopische Texturierung für Anodisierte und Beschichtete Oberflächen
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.02.2020
Anhängig
Vertretung
Kontrus, Gerhard · Villach
Mewburn Ellis LLP · München
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23.12.2021
Method for cleaning a chamber
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.06.2021
Anhängig
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23.12.2021
Protection system for switches in direct drive circuits of substrate processing systems
Elektrische Energietechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.06.2021
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23.12.2021
Control of pulsing frequencies and duty cycles of parameters of rf signals
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.06.2021
Anhängig
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23.12.2021
Showerhead faceplates with angled gas distribution passages for semiconductor processing tools
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.06.2021
Anhängig
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23.12.2021
Removal Of Tin Oxide in Chamber Cleaning
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.06.2021
Anhängig
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16.12.2021
Pedestal thermal profile tuning using multiple heated zones and thermal voids
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.06.2021
Anhängig
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16.12.2021
Flat Bottom Shadow Ring
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.06.2021
Anhängig
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16.12.2021
Split Showerhead Cooling Plate
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.04.2021
Anhängig
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16.12.2021
Pulsing remote plasma for ion damage reduction and etch uniformity improvement
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 11.06.2021
Anhängig
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16.12.2021
Control of plasma formation by rf coupling structures
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.06.2021
Anhängig
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15.12.2021
Vorrichtung zur Bearbeitung eines Wafers und Verfahren zur Steuerung einer Solchen Vorrichtung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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09.12.2021
In-Feature Wet Etch Rate Ratio Reduction
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.06.2021
Anhängig
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09.12.2021
Monobloc pedestal for efficient heat transfer
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.06.2021
Anhängig
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09.12.2021
Photoelectron Assisted Plasma Ignition
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.05.2021
Anhängig
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09.12.2021
Mid-Chamber Flow Optimizer
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.04.2021
Anhängig
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09.12.2021
Removable showerhead faceplate for semiconductor processing tools
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.06.2021
Anhängig
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08.12.2021
Vorrichtung zur Gepulsten Laserabscheidung
Metallurgie & Oberflächentechnik
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08.12.2021
Multipositionsgasinjektion zur Verbesserung der Gleichmässigkeit in Schnellen Wechselprozessen
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.01.2020
Anhängig
Vertretung
Kontrus, Gerhard · Villach
Mewburn Ellis LLP · München
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02.12.2021
Generating A Low-Temperature Substrate Protective Layer
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.04.2021
Anhängig
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02.12.2021
Sensor Data Compression in A Plasma Tool
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 10.05.2021
Anhängig
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02.12.2021
Automated visual-inspection system
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 26.05.2021
Anhängig
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02.12.2021
Distributed Plasma Source Array
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.05.2021
Anhängig
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02.12.2021
Atomic layer deposition coated powder coating for processing chamber components
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 11.05.2021
Anhängig
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01.12.2021
Vorrichtung zur Bearbeitung eines Wafers und Verfahren zur Steuerung einer Solchen Vorrichtung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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01.12.2021
Verfahren zur Steuerung der Spannung in einem Substrat Während der Laserablagerung
Metallurgie & Oberflächentechnik
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25.11.2021
Low resistivity contacts and interconnects
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.05.2021
Anhängig
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25.11.2021
Wet functionalization of dielectric surfaces
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.05.2021
Anhängig
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25.11.2021
Remote-plasma clean (rpc) directional-flow device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.05.2021
Anhängig
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25.11.2021
Electroplating nanotwinned and non-nanotwinned copper features
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.05.2021
Anhängig
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18.11.2021
Residue-free removal of stimulus responsive polymers from substrates
Kunststoff- & Polymertechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.05.2021
Anhängig
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18.11.2021
Methods to improve wafer wettability for plating - enhancement through sensors and control algorithms
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.05.2021
Anhängig
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Wer vertritt Lam Research?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Lam Research vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
2.172
Metallurgie & Oberflächentechnik
774
Elektronik & Schaltungstechnik
177
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
141
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
118
Optik & Fototechnik
116
Verfahrens- & Trenntechnik
105
Software & Datenverarbeitung
50
Elektrische Energietechnik
44
Steuerungs- & Regelungstechnik
42
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
39
Maschinenelemente & Fluidtechnik
31