Lam Research Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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2.725 gesamt| Patent | |||
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18.11.2021
Electro-Oxidative Metal Removal Accompanied By Particle Contamination Mitigation in Semiconductor Processing
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.05.2021
Anhängig
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18.11.2021
Evaporative cooling of electrostatic chucks
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 04.05.2021
Anhängig
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18.11.2021
Controlled degradation of a stimuli-responsive polymer film
Kunststoff- & Polymertechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.05.2021
Anhängig
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18.11.2021
Methods to improve wafer wettability for plating - enhancement through sensors and control algorithms
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.05.2021
Anhängig
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17.11.2021
Unterschicht für die Haftung und Dosisreduzierung von Fotolack
Metallurgie & Oberflächentechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 11.01.2021
Anhängig
Vertretung
Kontrus, Gerhard · Villach
Mewburn Ellis LLP · München
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11.11.2021
Additive manufacturing of silicon components
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 26.04.2021
Anhängig
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11.11.2021
Increasing Plasma Uniformity in A Receptacle
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.04.2021
Anhängig
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11.11.2021
Expandable doped oxide films for advanced semiconductor applications
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.04.2021
Anhängig
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11.11.2021
Inert gas implantation for hard mask selectivity improvement
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.04.2021
Anhängig
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11.11.2021
Electroplating cobalt, nickel, and alloys thereof
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.04.2021
Anhängig
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04.11.2021
Lipseal Edge Exclusion Engineering To Maintain Material Integrity At Wafer Edge
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.04.2021
Anhängig
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04.11.2021
Grouping Features Of Showerheads in Substrate Processing Systems
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 07.04.2021
Anhängig
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04.11.2021
Showerhead designs for controlling deposition on wafer bevel/edge
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 09.04.2021
Anhängig
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04.11.2021
Blended contact fingers for preventing cracks during thin substrate handling
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.04.2021
Anhängig
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04.11.2021
Heater design solutions for chemical delivery systems
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.04.2021
Anhängig
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28.10.2021
Enhanced closed loop gas based heat exchange
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
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Status
Angemeldet am 19.04.2021
Anhängig
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28.10.2021
Floating pcb design for substrate support assembly
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.04.2021
Anhängig
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28.10.2021
Divertless Gas-Dosing
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 15.04.2021
Anhängig
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28.10.2021
Bioassay substrate having fiducial domains and methods of manufacture thereof
Verfahrens- & Trenntechnik
Pharma & Biotechnologie
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Status
Angemeldet am 23.04.2021
Anhängig
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27.10.2021
Gelenkiger Direktmontierter Induktor und Zugehörige Systeme und Verfahren
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.06.2018
Erteilt am 27.10.2021
Vertretung
Kontrus, Gerhard · Villach
Mewburn Ellis LLP · München
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21.10.2021
Showerhead thermal management using gas cooling
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 16.03.2021
Anhängig
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21.10.2021
Transformer isolator having rf shield structure for effective magnetic power transfer
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.03.2021
Anhängig
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14.10.2021
Loss Prevention During Atomic Layer Deposition
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.04.2021
Anhängig
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14.10.2021
Selective etch using deposition of a metalloid or metal containing hardmask
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.04.2021
Anhängig
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14.10.2021
Ceramic additive manufacturing techniques for gas injectors
Anorganische Chemie & Werkstoffe
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 29.03.2021
Anhängig
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14.10.2021
Slide and pivot assemblies for process module bias assemblies of substrate processing systems
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.03.2021
Anhängig
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14.10.2021
Methods and systems for controlling radiofrequency pulse-initiation power spike for plasma sheath stabilization
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.04.2021
Anhängig
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13.10.2021
Hoch-Productives Beschichtungs-System
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 16.01.2018
Erteilt am 13.10.2021
Vertretung
Kontrus, Gerhard · Villach
Mewburn Ellis LLP · München
Zusammenfassung
A mechanical indexer for a substrate processing tool includes first and second arms each having first and second end effectors. The first arm is configured to rotate on a first spindle to selectively position the first end effector of the first arm at a plurality of processing stations of the substrate processing tool and selectively position the second end effector of the first arm at the plurality of processing stations of the substrate processing tool. The second arm is configured to rotate on a second spindle to selectively position the first end effector of the second arm at the plurality of processing stations of the substrate processing tool and selectively position the second end effector of the second arm at the plurality of processing stations of the substrate processing tool. The first arm is configured to rotate independently of the second arm. |
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07.10.2021
Structure and method to achieve positive tone dry develop by a hermetic overlayer
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.03.2021
Anhängig
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07.10.2021
Leveling Compound Control
Metallurgie & Oberflächentechnik
Steuerungs- & Regelungstechnik
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Status
Angemeldet am 29.03.2021
Anhängig
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07.10.2021
Apparatus and process for euv dry resist sensitization by gas phase infusion of a sensitizer
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 24.03.2021
Anhängig
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07.10.2021
Cooled edge ring with integrated seals
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.03.2021
Anhängig
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07.10.2021
Rf magnetic field sensor for harmonic measurements and uniformity control
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.03.2021
Anhängig
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07.10.2021
Selective precision etching of semiconductor materials
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.03.2021
Anhängig
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07.10.2021
Rapid and precise temperature control for thermal etching
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.03.2021
Anhängig
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07.10.2021
Edge ring for localized delivery of tuning gas
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.03.2021
Anhängig
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07.10.2021
Seam mitigation and integrated liner for gap fill
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 31.03.2021
Anhängig
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07.10.2021
Pre-Exposure Photoresist Curing To Enhance Euv Lithographic Performance
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 31.03.2021
Anhängig
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07.10.2021
High aspect ratio dielectric etch with chlorine
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.03.2021
Anhängig
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30.09.2021
Feature fill with nucleation inhibition
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.03.2021
Anhängig
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Wer vertritt Lam Research?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Lam Research vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
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