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Lam Research Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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2.725 gesamt
Patent
03.03.2022
Subtractive Copper Etch
WO2022046429
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.02.2022
Erosion Resistant Plasma Processing Chamber Components
WO2022040233
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.02.2022
Solenoid bank with standby solenoid valves for controlling pneumatic valves of a substrate processing system
WO2022040166
Metallurgie & Oberflächentechnik Maschinenelemente & Fluidtechnik
24.02.2022
Controlling temperature profiles of plasma chamber components using stress analysis
WO2022039984
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.02.2022
Wafer edge deposition for wafer level packaging
WO2022040052
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.02.2022
Plating-deplating waveform based contact cleaning for a substrate electroplating system
WO2022036237
Metallurgie & Oberflächentechnik
17.02.2022
Combined self-forming barrier and seed layer by atomic layer deposition
WO2022035894
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.02.2022
Substrate supports with multilayer structure including coupled heater zones with local thermal control
WO2022035629
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.02.2022
Selected reject band non-radiofrequency-coupling tile and associated methods and systems
WO2022031854
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
03.02.2022
Concentration control using a bubbler
WO2022026271
Metallurgie & Oberflächentechnik
03.02.2022
Low ceiling temperature homopolymers as sacrificial protection layers for environmentally sensitive substrates
WO2022026323
Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik
03.02.2022
Impurity Reduction in Silicon-Containing Films
WO2022027016
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.02.2022
Metal oxide with low temperature fluorination
WO2022026133
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.02.2022
Computational representation of deposition processes
WO2022026420
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.02.2022
Low Resistance Gate Oxide Metallization Liner
WO2022025970
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.01.2022
High-conductance vacuum valves for wafer processing systems
WO2022020707
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.01.2022
Advanced self aligned multiple patterning using tin oxide
WO2022020507
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.01.2022
Conformal thermal cvd with controlled film properties and high deposition rate
WO2022020528
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.01.2022
Showerhead with reduced interior volumes
WO2022020639
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.01.2022
Exclusion ring for substrate processing
WO2022015745
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.01.2022
Method of mounting wires to substrate support ceramic
WO2022015614
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.01.2022
Metal chelators for development of metal-containing photoresist
WO2022016126
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.01.2022
Photoresists From Sn(ii) Precursors
WO2022016127
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.01.2022
Seal Venting in A Substrate Processing Chamber
WO2022015512
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.01.2022
Dry deposited photoresists with organic co-reactants
WO2022016123
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.01.2022
Photoresists Containing Tantalum
WO2022016124
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.01.2022
Method of forming photo-sensitive hybrid films
WO2022016128
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.01.2022
Pulsing Rf Coils Of A Plasma Chamber in Reverse Synchronization
WO2022015524
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.01.2022
Friction stir processing for corrosion resistance
WO2022010718
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
13.01.2022
Adjustable Geometry Trim Coil
WO2022010661
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.01.2022
Process control for ion energy delivery using multiple generators and phase control
WO2022010875
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.01.2022
Systems and methods for extracting process control information from radiofrequency supply system of plasma processing system
WO2022010686
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.01.2022
Intermittent Stagnant Flow
WO2022006326
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.01.2022
Tool and method for chandelier showerhead installation
WO2022005878
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
06.01.2022
Metal Oxide Diffusion Barriers
WO2022005907
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.01.2022
Accurate determination of radio frequency power through digital inversion of sensor effects
WO2022005815
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
06.01.2022
Removable cvd polymer film for surface protection and queue period extension
WO2022006349
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.01.2022
Remote plasma source showerhead assembly with aluminum fluoride plasma exposed surface
WO2022005864
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.01.2022
Reducing Intralevel Capacitance in Semiconductor Devices
WO2022006010
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.12.2021
Automated Showerhead Tilt Adjustment
WO2021262446
Metallurgie & Oberflächentechnik

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Technologiefelder

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118
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116
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105
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50
Elektrische Energietechnik
44
Steuerungs- & Regelungstechnik
42
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
39
Maschinenelemente & Fluidtechnik
31

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