Lam Research Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725

Patente

2000–2025

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

Patente durchsuchen

2.725 gesamt

Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
14.01.2010	14.01.2010 Passive Capacitively-Coupled Electrostatic (cce) Probe Arrangement For Detecting In-Situ Arcing Events in A Plasma Processing Chamber WO2010005929 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.07.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.01.2010	14.01.2010 Plasma-facing probe arrangement including vacuum gap for use in a plasma processing chamber WO2010005932 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.07.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.01.2010	14.01.2010 Rf-Biased Capacitively-Coupled Electrostatic (rfb-Cce) Probe Arrangement For Characterizing A Film in A Plasma Processing Chamber WO2010005934 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.07.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.01.2010	14.01.2010 Passive Capacitively-Coupled Electrostatic (cce) Probe Arrangement For Detecting Plasma Instabilities in A Plasma Processing Chamber WO2010005933 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.07.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.01.2010	13.01.2010 Verfahren zur Reinigung von Substratoberflächen nach einer Ätzstufe EP1107301 Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.11.2000 Erteilt am 13.01.2010 Vertretung Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Walker, Ross Thomson · München Forresters IP LLP Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.01.2010	07.01.2010 Single substrate processing head for particle removal using low viscosity fluid WO2010002905 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.06.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.01.2010	07.01.2010 Peripherally engaging electrode carriers and assemblies incorporating the same WO2010002724 Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.06.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.01.2010	07.01.2010 Backside mounted electrode carriers and assemblies incorporating the same WO2010002722 Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.06.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.01.2010	06.01.2010 Zirkonverstärkte Keramische Komponenten und Beschichtungen bei Halbleiterherstellungsgeräten und Verfahren zu Ihrer Herstellung EP1356501 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.11.2001 Erteilt am 06.01.2010 Vertretung Shindler, Nigel · Tunbridge Wells Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
30.12.2009	30.12.2009 Methods for automatically characterizing a plasma WO2009158556 Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.06.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.12.2009	23.12.2009 Matching circuit for a complex radio frequency (rf) waveform WO2009155352 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.06.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.12.2009	23.12.2009 Method to create three-dimensional images of semiconductor structures using a focused ion beam device and a scanning electron microscope WO2009154975 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.05.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.12.2009	23.12.2009 Methods for controlling time scale of gas delivery into a processing chamber WO2009155221 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.06.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.12.2009	23.12.2009 Abgestufte Obere Elektrode für Plasmabehandlungsgleichmässigkeit EP1336191 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.10.2001 Erteilt am 23.12.2009 Vertretung Shindler, Nigel · Tunbridge Wells Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.12.2009	17.12.2009 Organic arc etch selective for immersion photoresist WO2009152036 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.06.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.12.2009	17.12.2009 Plasma processing systems with mechanisms for controlling temperatures of components WO2009152259 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.06.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.12.2009	16.12.2009 Nahfeldkopf mit Gewinkeltem Vakuumleitungssystem sowie Entsprechende Vorrichtung und Entsprechendes Verfahren EP2132767 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.02.2008 Anhängig Vertretung Kontrus, Gerhard · Villach Walker, Ross Thomson · München Forresters IP LLP Wombwell, Francis · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.12.2009	09.12.2009 Drucksteuerung in der Umgebung eines Wafers EP1362362 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 31.07.2001 Erteilt am 09.12.2009 Vertretung Browne, Robin Forsythe · Leeds McDonough, Jonathan · Leeds Stonehampton IP Law Limited Browne, Robin Forsythe · Leeds Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.12.2009	03.12.2009 Methods and apparatus for normalizing optical emission spectra WO2009146136 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.04.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.12.2009	02.12.2009 Methode und Apparat zur Endpunktbestimmung eines Photolackentfernungsprozesses EP1247295 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.12.2000 Erteilt am 02.12.2009 Vertretung Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.12.2009	02.12.2009 Konzentrischer Prozesskopf EP1612846 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.06.2005 Anhängig Vertretung Walker, Ross Thomson · München Forresters IP LLP Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.11.2009	26.11.2009 Helium Descumming WO2009142947 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.05.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.11.2009	26.11.2009 Electrical and optical system and methods for monitoring erosion of electrostatic chuck edge bead materials WO2009143350 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.05.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.11.2009	19.11.2009 Detection of arcing events in wafer plasma processing through monitoring of trace gas concentrations WO2009139828 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.05.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.11.2009	19.11.2009 Selective Inductive Double Patterning WO2009140172 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.05.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.11.2009	19.11.2009 Plasma process with photoresist mask preteatment WO2009140139 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.05.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.11.2009	12.11.2009 Dynamic alignment of wafers using compensation values obtained through a series of wafer movements WO2009137279 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.04.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.11.2009	11.11.2009 Verfahren zur Substratbehandlung und Trockungs-Sammelrohr EP1472720 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.09.2003 Erteilt am 11.11.2009 Vertretung Wombwell, Francis · Birkenhead Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.10.2009	28.10.2009 Randrad-Trockenverteiler EP1697969 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.12.2004 Erteilt am 28.10.2009 Vertretung Wombwell, Francis · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.10.2009	07.10.2009 Verfahren zur Steuerung eines Grabenätzprozesses EP1529193 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.08.2003 Erteilt am 07.10.2009 Vertretung Browne, Robin Forsythe · Leeds Browne, Robin Forsythe · Leeds Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.10.2009	01.10.2009 Processes and solutions for substrate cleaning and electroless deposition WO2009120727 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.03.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.09.2009	24.09.2009 Electrode assembly and plasma processing chamber utilizing thermally conductive gasket WO2009117181 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.02.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.09.2009	17.09.2009 Control of bevel etch film profile using plasma exclusion zone rings larger than the wafer diameter WO2009114120 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.03.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.09.2009	17.09.2009 Cam Lock Electrode Clamp WO2009114175 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.03.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.09.2009	17.09.2009 Line width roughness improvement with noble gas plasma WO2009114244 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.02.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.09.2009	16.09.2009 Verfahren und Vorrichtung zur Reinigung von einem Halbleiterwafer EP1186006 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.05.2000 Erteilt am 16.09.2009 Vertretung Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.09.2009	11.09.2009 Method for inspecting electrostatic chucks with kelvin probe analysis WO2009110980 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.02.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.09.2009	02.09.2009 Verfahren zum Reinigen und Konditionieren einer Plasma-Reaktionskammer EP1252361 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.12.2000 Erteilt am 02.09.2009 Vertretung Barnard, Eric Edward · London Brookes IP · Tunbridge Wells Brookes Batchellor LLP · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.08.2009	13.08.2009 A protective coating for a plasma processing chamber part and a method of use WO2009099661 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.02.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.08.2009	13.08.2009 Double Mask Self-Aligned Double Patterning Technology (sadpt) Process WO2009099769 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.01.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen