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Lam Research Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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2.725 gesamt
Patent
26.06.2008
Methods and systems for barrier layer surface passivation
WO2008076677
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.06.2008
Primary server architectural networking arrangement and methods therefor
WO2008076676
Software & Datenverarbeitung
26.06.2008
Showerhead electrode assembly with gas flow modification for extended electrode life
WO2008076408
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.06.2008
Interconnect structure and method of manufacturing a damascene structure
WO2008073245
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.05.2008
Reducing Twisting in Ultra-High Aspect Ratio Dielectric Etch
WO2008063836
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.05.2008
Methods for performing actual flow verification
WO2008064044
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.05.2008
Methods and systems for controlling electric heaters
WO2008063975
Elektronik & Schaltungstechnik
29.05.2008
Components for a plasma processing apparatus
WO2008063324
Elektronik & Schaltungstechnik
22.05.2008
Fast gas switching plasma processing apparatus
WO2008061069
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.05.2008
Removable Spacer
WO2008060840
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.05.2008
Methods of fabricating a barrier layer with varying composition for copper metallization
WO2008055007
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.05.2008
Behandlungsvorrichtungen
EP1230664
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.05.2008
Apparatus and method for substrate electroless plating
WO2008051359
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.04.2008
Quartz Guard Ring
WO2008048604
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.04.2008
Methods and apparatus for tuning a set of plasma processing steps
WO2008049024
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.04.2008
Quartz Guard Ring Centering Features
WO2008048444
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.04.2008
Methods and apparatus for wet cleaning electrode assemblies for plasma processing apparatuses
WO2008048443
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.04.2008
Upper electrode backing member with particle reducing features
WO2008048543
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.04.2008
Electroless plating method and apparatus
WO2008045648
Verfahrens- & Trenntechnik
17.04.2008
Methods of and apparatus for accessing a process chamber using a dual zone gas injector wth improved optical access
WO2008045146
Elektronik & Schaltungstechnik
10.04.2008
High chamber temperature process and chamber design for photo-resist stripping and post-metal etch passivation
WO2008042091
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.04.2008
Reduction of entrance and exit marks left by a substrate-processing meniscus
WO2008042238
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.04.2008
Carrier for reducing entrance and/or exit marks left by a substrate-processing meniscus
WO2008042295
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.04.2008
Offset correction methods and arrangement for positioning and inspecting substrates
WO2008042581
Optik & Fototechnik
10.04.2008
Offset correction techniques for positioning substrates
WO2008042580
Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.04.2008
Targeted Data Collection Architecture
WO2008042579
Software & Datenverarbeitung
03.04.2008
Dynamic component-tracking system and methods therefor
WO2008039809
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.04.2008
Methods and arrangement for creating recipes using best-known methods
WO2008039940
Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.03.2008
Methods of and apparatus for measuring and controlling wafer potential in pulsed rf bias processing
WO2008036210
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
20.03.2008
In-situ wafer temperature measurement and control
WO2008033234
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.03.2008
Semiconductor processing including etched layer passivation using self-assembled monolayer
WO2008033707
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.03.2008
Mehrfachmaskenprozess mit Ätzmaskenstapel
EP1900017
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.03.2008
Vorrichtung zur Messung eines Satzes Elektrischer Eigenschaften in einem Plasma
EP1896367
Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.03.2008
Apparatus and method for integrated surface treatment and deposition for copper interconnect
WO2008027215
Verfahrens- & Trenntechnik Kunststoff- & Polymertechnik
06.03.2008
Methods and apparatus for barrier interface preparation of copper interconnect
WO2008027214
Verfahrens- & Trenntechnik Kunststoff- & Polymertechnik
06.03.2008
Processes and integrated systems for engineering a substrate surface for metal deposition
WO2008027216
Verfahrens- & Trenntechnik Kunststoff- & Polymertechnik
06.03.2008
Self assembled monolayer for improving adhesion between copper and barrier layer
WO2008027205
Verfahrens- & Trenntechnik Kunststoff- & Polymertechnik
06.03.2008
Method of tuning thermal conductivity of electrostatic chuck support assembly
WO2008027305
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.03.2008
Controlled ambient system for interface engineering
WO2008027386
Verfahrens- & Trenntechnik Kunststoff- & Polymertechnik
28.02.2008
Low-K Damage Avoidance During Bevel Etch Processing
WO2008024792
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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774
Elektronik & Schaltungstechnik
177
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141
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
118
Optik & Fototechnik
116
Verfahrens- & Trenntechnik
105
Software & Datenverarbeitung
50
Elektrische Energietechnik
44
Steuerungs- & Regelungstechnik
42
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
39
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31

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