Lam Research Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725

Patente

2000–2025

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
10.09.2008	10.09.2008 Verfahren und Vorrichtung zur Reinigung eines Halbleitersubstrats EP1965933 Verfahrens- & Trenntechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.12.2006 Anhängig Vertretung Kontrus, Gerhard · Villach Derry, Paul Stefan · London Venner Shipley LLP Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.09.2008	10.09.2008 Verfahren und Vorrichtung zur Partikelentfernung EP1965931 Verfahrens- & Trenntechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.12.2006 Anhängig Vertretung Kontrus, Gerhard · Villach Derry, Paul Stefan · London Venner Shipley LLP Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.09.2008	10.09.2008 Verfahren und Vorrichtung zur Reinigung eines Halbleitersubstrats EP1965932 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.12.2006 Anhängig Vertretung Kontrus, Gerhard · Villach Derry, Paul Stefan · London Venner Shipley LLP Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.09.2008	10.09.2008 Verfahren und Vorrichtung zur Entfernung von Verunreinigungen aus einem Substrat EP1965934 Verfahrens- & Trenntechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.12.2006 Anhängig Vertretung Kontrus, Gerhard · Villach Derry, Paul Stefan · London Venner Shipley LLP Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.09.2008	03.09.2008 Elektrostatisch Festgeklemmter Randring für die Plasmaverarbeitung EP1332241 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.09.2001 Erteilt am 03.09.2008 Vertretung Brookes IP · Tunbridge Wells Brookes Batchellor · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.08.2008	28.08.2008 Method of low-k dielectric film repair WO2008103223 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.01.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.08.2008	14.08.2008 Method and apparatus for contained chemical surface treatment WO2008097438 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.01.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.08.2008	14.08.2008 Methods of and apparatus for aligning electrodes in a process chamber to protect an exclusion area within an edge environ of a wafer WO2008097662 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.02.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.08.2008	14.08.2008 Apparatus for forming a layer WO2008096981 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 31.01.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.08.2008	14.08.2008 Ultra-High Aspect Ratio Dielectric Etch WO2008097920 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.02.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.08.2008	14.08.2008 Pulsed Ultra-High Aspect Ratio Dielectric Etch WO2008097925 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.02.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.08.2008	14.08.2008 Bevel clean device WO2008097996 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.02.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.08.2008	13.08.2008 Verfahren und Vorrichtung zur Verarbeitung eines Wafers EP1169729 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.03.2000 Erteilt am 13.08.2008 Vertretung Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.08.2008	13.08.2008 Plasmabehandlungsvorrichtung mit Spule geeignet für Rf-Einhüllung Variabler Amplitude EP1190436 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.06.2000 Erteilt am 13.08.2008 Vertretung Orchard, Oliver John · London WP Thompson · Liverpool W.P. Thompson & Co · Liverpool Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.08.2008	07.08.2008 Bevel etcher with vacuum chuck WO2008094441 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.01.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.08.2008	07.08.2008 Compositions and methods for forming and depositing metal films on semiconductor substrates using supercritical solvents WO2008094494 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.01.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.08.2008	07.08.2008 Composition and methods for forming metal films on semiconductor substrates using supercritical solvents WO2008094457 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.01.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
31.07.2008	31.07.2008 Configurable Bevel Etcher WO2008091667 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.01.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
31.07.2008	31.07.2008 Bevel etcher with gap control WO2008091668 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.01.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.07.2008	24.07.2008 Method of damaged low-k dielectric film layer removal WO2008088459 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.11.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.07.2008	24.07.2008 Extending lifetime of yttrium oxide as a plasma chamber material WO2008088670 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.01.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.07.2008	24.07.2008 Apparatuses For Adjusting Electrode Gap in Capacitively-Coupled Rf Plasma Reactor WO2008088668 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.01.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.07.2008	17.07.2008 Megasonic precision cleaning of semiconductor process equipment components and parts WO2008085258 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.12.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.07.2008	17.07.2008 Hybrid composite wafer carrier for wet clean equipment WO2008085259 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.12.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.07.2008	17.07.2008 Process Integration Scheme To Lower Overall Dielectric Constant in Beol Interconnect Structures WO2008085257 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.12.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.07.2008	17.07.2008 Electroless deposition of cobalt alloys WO2008085256 Verfahrens- & Trenntechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.12.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.07.2008	17.07.2008 Self-limiting plating method WO2008085261 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.12.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.07.2008	17.07.2008 Line End Shortening Reduction During Etch WO2008086361 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.01.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.07.2008	16.07.2008 Diamantbeschichtungen auf Reaktorwänden und Verfahren zu Ihrer Herstellung EP1358363 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.11.2001 Erteilt am 16.07.2008 Vertretung Kemp, Paul Geoffrey · Nice Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.07.2008	10.07.2008 Reduced electric field arrangement for managing plasma confinement WO2008083227 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.12.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.07.2008	10.07.2008 Methods and apparatus for wafer edge processing WO2008082923 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.12.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.07.2008	10.07.2008 Plasma-enhanced substrate processing method and apparatus WO2008082921 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.12.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.07.2008	10.07.2008 Method and apparatus for processing a substrate using plasma WO2008082922 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.12.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.07.2008	10.07.2008 Methods and apparatuses for controlling gas flow conductance in a capacitively-coupled plasma processing chamber WO2008082518 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.12.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.07.2008	03.07.2008 Method and apparatus for drying substrates using a surface tensions reducing gas WO2008079201 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.12.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.07.2008	03.07.2008 Measuring fluid quantities, blending liquid constituents, and dispensing blends WO2008079202 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.12.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.07.2008	03.07.2008 Methods, apparatuses, and systems for fabricating three dimensional integrated circuits WO2008079913 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.12.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.07.2008	03.07.2008 Proximity head with configurable delivery WO2008079389 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.12.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.06.2008	26.06.2008 In-situ reclaim of volatile components WO2008076292 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.12.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.06.2008	26.06.2008 Methods and systems for low interfacial oxide contact between barrier and copper metallization WO2008076678 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.12.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen