Lam Research Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725

Patente

2000–2025

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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2.725 gesamt

Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
27.02.2008	27.02.2008 Plasmaätzkammer EP1198821 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.06.2000 Erteilt am 27.02.2008 Vertretung Browne, Robin Forsythe · Leeds Browne, Robin Forsythe · Leeds Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.02.2008	21.02.2008 Chemical Resistant Semiconductor Processing Chamber Bodies WO2008021257 Farben, Klebstoffe & Brennstoffe	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.08.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.02.2008	20.02.2008 Trocknungsverfahren für eine Oberfläche EP1888263 Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.04.2006 Anhängig Vertretung Kontrus, Gerhard · Villach Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.02.2008	20.02.2008 Flüssigkeitsabgabestabilisierung für Wafervorbereitungssystem EP1190440 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.06.2000 Erteilt am 20.02.2008 Vertretung Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.02.2008	13.02.2008 Erhöhter Stationärer Uniformitätsring EP1108263 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.06.2000 Erteilt am 13.02.2008 Vertretung Nicholls, Michael John · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.02.2008	07.02.2008 Smart Component-Based Management Techniques in A Substrate Processing System WO2008017050 Software & Datenverarbeitung	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.08.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.01.2008	24.01.2008 Hybrid rf capacitively and inductively coupled plasma source using multifrequency rf powers and methods of use thereof WO2008010943 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.07.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.01.2008	17.01.2008 Apparatus and method for controlling plasma potential WO2008008259 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.07.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.01.2008	16.01.2008 Ein Heizverfahren und eine Heizvorrichtung in Nahköpfen für die Halbleiterwaferherstellung EP1583135 Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.03.2005 Erteilt am 16.01.2008 Vertretung Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.01.2008	16.01.2008 Behandlungskammer mit einem Optischen Fenster, das mit Behandlungsgas Gereinigt Ist EP1186004 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.03.2000 Erteilt am 16.01.2008 Vertretung Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.01.2008	10.01.2008 Apparatus for substrate processing and methods therefor WO2008005756 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.06.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.01.2008	03.01.2008 Repairing and restoring strength of etch-damaged low-k dielectric materials WO2008002443 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.06.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.01.2008	03.01.2008 Post etch wafer surface cleaning with liquid meniscus WO2008002669 Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.06.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.01.2008	03.01.2008 Apparatus for applying a plating solution for electroless deposition WO2008002977 Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.06.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.01.2008	03.01.2008 Methods and apparatus for sensing unconfinement in a plasma processing chamber WO2008002938 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.06.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.01.2008	02.01.2008 Sichere Software zur Universellen Konfiguration von Cluster-Werkzeugen EP1872291 Steuerungs- & Regelungstechnik Software & Datenverarbeitung	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.02.2006 Anhängig Vertretung Kontrus, Gerhard · Villach Browne, Robin Forsythe · Leeds Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.12.2007	27.12.2007 Edge gas injection for critical dimension uniformity improvement WO2007149210 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.06.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.12.2007	27.12.2007 Apparatuses, systems and methods for rapid cleaning of plasma confinement rings with minimal erosion of other chamber parts WO2007149694 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.06.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.12.2007	21.12.2007 Methods and apparatus for preventing plasma un-confinement events in a plasma processing chamber WO2007146803 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.06.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.12.2007	21.12.2007 Surface modification of interlayer dielectric for minimizing contamination and surface degradation WO2007146848 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.06.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.12.2007	21.12.2007 Method and apparatus to detect fault conditions of a plasma processing reactor WO2007145801 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.05.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.12.2007	13.12.2007 Residue Free Hardmask Trim WO2007143585 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.06.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.12.2007	12.12.2007 Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung des Endpunkts eines Reinigungs- oder Aufbereitungsprozesses in einem Plasmaverarbeitungssystem EP1863951 Verfahrens- & Trenntechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.03.2006 Anhängig Vertretung Browne, Robin Forsythe · Leeds Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.11.2007	29.11.2007 Method and apparatus for providing mask in semiconductor processing WO2007136515 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.05.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.11.2007	22.11.2007 Photoresist stripping chamber and methods of etching photoresist on substrates WO2007133413 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.04.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.11.2007	21.11.2007 Vorrichtung zum Abgeben Präziser Fluidvolumen EP1856586 Verfahrens- & Trenntechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.09.2005 Anhängig Vertretung Grünecker, Kinkeldey, Stockmair & Schwanhäusser Anwaltssozietät · München Grünecker Patent- und Rechtsanwälte PartG mbB · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.11.2007	21.11.2007 Stabilisierte Fotolackstruktur für Ätzverfahren EP1856717 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.03.2006 Anhängig Vertretung Browne, Robin Forsythe · Leeds Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.11.2007	15.11.2007 Method and apparatus for isolated bevel edge clean WO2007130630 Haushalts-, Möbel- & Konsumgüter	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.05.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.11.2007	14.11.2007 Verfahren und Vorrichtungen zum Konfigurieren von Plasma-Cluster-Werkzeugen EP1854036 Steuerungs- & Regelungstechnik Software & Datenverarbeitung	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.02.2006 Anhängig Vertretung Kontrus, Gerhard · Villach Browne, Robin Forsythe · Leeds Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.11.2007	01.11.2007 Apparatus and method for confined area planarization WO2007123677 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.03.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.10.2007	25.10.2007 Methods and apparatus for selective pre-coating of a plasma processing chamber WO2007120994 Metallurgie & Oberflächentechnik Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.03.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.10.2007	17.10.2007 Induktiv Gekoppeltes Plasma-Ätzgerät EP1269513 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.03.2001 Erteilt am 17.10.2007 Vertretung Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.10.2007	10.10.2007 Eine Vorrichtung und ein Verfahren um ein Fluidmeniskus herzustellen EP1601006 Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.03.2005 Erteilt am 10.10.2007 Vertretung Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.10.2007	03.10.2007 Induktiv gekoppeltes Plasma-Ätzgerät mit aktiver Steuerung der RF-Spitzenspannung EP1269512 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.03.2001 Erteilt am 03.10.2007 Vertretung Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.10.2007	03.10.2007 Wafertragapparatur für Galvanisierungsverfahren und Verfahren zu Ihrer Verwendung EP1838905 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.12.2005 Anhängig Vertretung Kontrus, Gerhard · Villach Derry, Paul Stefan · London Venner Shipley LLP Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.10.2007	03.10.2007 Reinigungsverfahren für die Verunreinigungsbeseitigung bei Siliziumelektroden-Baugruppenoberflächen EP1839330 Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.12.2005 Anhängig Vertretung Kontrus, Gerhard · Villach Morf, Jan Stefan · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.09.2007	26.09.2007 Verfahren zum Selektiven Ätzen EP1836725 Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.09.2005 Anhängig Vertretung Kontrus, Gerhard · Villach Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.09.2007	19.09.2007 Mit Nuten Versehene Rollen für ein Lineares Cmp-System EP1469971 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.12.2002 Erteilt am 19.09.2007 Vertretung Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.09.2007	13.09.2007 Methods and arrangement for a highly efficient gas distribution arrangement WO2007102925 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.12.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.09.2007	13.09.2007 Methods and arrangement for creating a highly efficient downstream microwave plasma system WO2007102924 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.12.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen