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Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.250
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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6.250 gesamt
Patent
18.12.2003
Processing device and processing method
WO03104525
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.12.2003
Method and system for providing an analog front end for multiline transmission in communication systems
WO03105369
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
18.12.2003
A method and system for providing a time equalizer for multiline transmission in communication systems
WO03105431
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
18.12.2003
Multiline Transmission in Communication Systems
WO03105339
Elektronik & Schaltungstechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation
18.12.2003
A method and system for providing window shaping for multiline transmission in a communications system
WO03105352
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
17.12.2003
Oxidfilmausbildungsverfahren
EP1372189
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.12.2003
Method and apparatus for monitoring film deposition in a process chamber
WO03103021
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.12.2003
Substrate processing device, substrate processing method, and nozzle
WO03103030
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.12.2003
Method and system of determining chamber seasoning condition by optical emission
WO03103017
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.12.2003
Method and system for data handling, storage and manipulation
WO03102724
Software & Datenverarbeitung
03.12.2003
Verfahren zum Ätzen eines Organischen Isolationsfilms und Doppel-Damaskus-Prozess
EP1367638
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.12.2003
Plasmavorrichtung und Herstellungsverfahren dafür
EP1367639
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.12.2003
Behandlungseinrichtung des Blatttyps
EP1367637
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.11.2003
Plasma etching of cu-containing layers
WO03098662
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.11.2003
Method of predicting processing device condition or processed result
WO03098677
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.11.2003
Method of treating substrate
WO03098678
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.11.2003
MOCVD-Verfahren für einen Tantaloxidfilm
EP1136588
Metallurgie & Oberflächentechnik
26.11.2003
Plasmabehandlungseinrichtung und Plasmabehandlungsverfahren
EP1365446
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.11.2003
Plasma processing equipment and plasma processing method
WO03096400
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.11.2003
Substrate processing device
WO03096410
Verpackungs- & Fördertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.11.2003
A method for forming conformal nitrified tantalum silicide films by thermal cvd followed by nitridation
WO03096411
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.11.2003
Plasmaeinrichtung und Plasmeerzeugungsverfahren
EP1361782
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
12.11.2003
Verfahren zur Herstellung von Material eines Elektronischen Bauelementes
EP1361605
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.11.2003
Substrate treatment apparatus
WO03092055
Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik
06.11.2003
Substrate conveying mechanism and substrate conveying method
WO03092068
Verpackungs- & Fördertechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
30.10.2003
Method of treating substrate and process for producing semiconductor device
WO03090268
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.10.2003
Method for removing photoresist and etch residues
WO03090267
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.10.2003
Method for removing photoresist and etch residues
WO03090270
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.10.2003
Werkstücktransferrverfahren
EP1357589
Verpackungs- & Fördertechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
23.10.2003
Vertical Thermal Treatment Equipment
WO03088339
Fahrzeugtechnik (Automobil, Bahn & Schiff) Metallurgie & Oberflächentechnik
23.10.2003
Plasma processing device and plasma processing method
WO03088338
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.10.2003
Material for electronic device and process for producing the same
WO03088345
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.10.2003
Method for producing material of electronic device
WO03088342
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.10.2003
Method and device for measuring temperature of base material
WO03087744
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.10.2003
Method for suppressing charging of component in vacuum processing chamber of plasma processing system and plasma processing system
WO03085715
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.10.2003
Plasma etching method
WO03085717
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.10.2003
Plasma etching method and plasma etching device
WO03085716
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.10.2003
Plasma processing system
WO03085718
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.10.2003
Treating device for element to be treated and treating method
WO03083933
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.10.2003
Method of etching
WO03083921
Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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1.560
Elektronik & Schaltungstechnik
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Optik & Fototechnik
400
Verfahrens- & Trenntechnik
290
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
234
Software & Datenverarbeitung
145
Steuerungs- & Regelungstechnik
141
Verpackungs- & Fördertechnik
82
Anorganische Chemie & Werkstoffe
69
Maschinenelemente & Fluidtechnik
56

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