Tokyo Electron Patente
🇯🇵 Japan
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
6.250
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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6.250 gesamt| Patent | |||
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21.12.2023
Cyclic film deposition using reductant gas
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 31.05.2023
Anhängig
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21.12.2023
Methods for selective removal of surface oxides on metal films
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 14.04.2023
Anhängig
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21.12.2023
High-frequency power supply, plasma processing device, and matching method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 08.06.2023
Anhängig
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21.12.2023
Substrate processing apparatus and substrate processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 09.06.2023
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21.12.2023
Plasma processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 08.06.2023
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21.12.2023
Substrate treatment device and substrate treatment method
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 31.05.2023
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21.12.2023
Film formation method and film formation device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 31.05.2023
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21.12.2023
Substrate treatment device and substrate treatment method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.06.2023
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20.12.2023
Dummy-Wafer
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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14.12.2023
Equipment and method for improved edge uniformity of plasma processing of wafers
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.06.2023
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14.12.2023
Plasma etching tools and systems
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.06.2023
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14.12.2023
Methods for non-isothermal wet atomic layer etching
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.05.2023
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14.12.2023
Etching method and plasma treatment device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 08.06.2023
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14.12.2023
Plasma processing device and resonance frequency measuring method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 07.06.2023
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14.12.2023
Etching method and plasma processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 30.05.2023
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14.12.2023
Substrate processing method, storage medium, and substrate processing device
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 30.05.2023
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14.12.2023
Structure inside plasma processing device, electrode palte, and plasma processing device
Elektronik & Schaltungstechnik
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Angemeldet am 31.05.2023
Anhängig
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14.12.2023
Substrate processing device, control system, and control method
Metallurgie & Oberflächentechnik
Steuerungs- & Regelungstechnik
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Status
Angemeldet am 26.05.2023
Anhängig
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14.12.2023
Information processing device, display input device, and program
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.05.2023
Anhängig
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14.12.2023
Substrate processing apparatus, substrate processing method and computer-readable recording medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.05.2023
Anhängig
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14.12.2023
Substrate processing system and substrate processing method
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.04.2023
Anhängig
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07.12.2023
Etching method and plasma processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 10.06.2022
Anhängig
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07.12.2023
Metal Hardmasks
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 30.05.2023
Anhängig
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07.12.2023
Optical sensor for remote temperature measurements
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 24.05.2023
Anhängig
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07.12.2023
Etching method and plasma processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.05.2023
Anhängig
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07.12.2023
Substrate processing method and substrate processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 23.05.2023
Anhängig
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07.12.2023
Testing apparatus and testing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 18.05.2023
Anhängig
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07.12.2023
Inspection apparatus and mounting base
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 18.05.2023
Anhängig
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30.11.2023
Substrate-retaining jig, substrate-processing device, and substrate conveyance method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 11.05.2023
Anhängig
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30.11.2023
Substrate treatment device and method for suppressing oxygen entry
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 11.05.2023
Anhängig
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30.11.2023
Seal structure, chamber, substrate processing device, and seal material attachment method
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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Status
Angemeldet am 11.05.2023
Anhängig
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30.11.2023
Substrate processing apparatus and substrate processing method
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.05.2023
Anhängig
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30.11.2023
Substrate processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.05.2023
Anhängig
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30.11.2023
Substrate processing device and substrate processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 12.05.2023
Anhängig
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30.11.2023
Oxygen-free etching of non-volatile metals
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.05.2023
Anhängig
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30.11.2023
Maintenance device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.05.2023
Anhängig
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23.11.2023
Modification method and modification device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 08.05.2023
Anhängig
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23.11.2023
Information gathering system, substrate for inspection, and information gathering method
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.05.2023
Anhängig
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23.11.2023
Plasma treatment method and plasma treatment system
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 11.05.2023
Anhängig
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23.11.2023
An etch process for oxide of alkaline earth metal
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 16.05.2023
Anhängig
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Wer vertritt Tokyo Electron?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Tokyo Electron vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
5.299
Metallurgie & Oberflächentechnik
1.560
Elektronik & Schaltungstechnik
790
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
454
Optik & Fototechnik
400
Verfahrens- & Trenntechnik
290
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
234
Software & Datenverarbeitung
145
Steuerungs- & Regelungstechnik
141
Verpackungs- & Fördertechnik
82
Anorganische Chemie & Werkstoffe
69
Maschinenelemente & Fluidtechnik
56