Tokyo Electron Patente
🇯🇵 Japan
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
2.414
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
Patente durchsuchen
2.414 gesamt| Patent | |||
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23.11.2023
Information gathering system, substrate for inspection, and information gathering method
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.05.2023
Anhängig
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23.11.2023
Modification method and modification device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 08.05.2023
Anhängig
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23.11.2023
Plasma processing device and plasma processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 08.05.2023
Anhängig
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23.11.2023
Film thickness measurement method and substrate processing device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.05.2023
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23.11.2023
Plasma processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.04.2023
Anhängig
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16.11.2023
Pre-etch treatment for metal etch
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.05.2023
Anhängig
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16.11.2023
Selective and isotropic etch of silicon over silicon-germanium alloys and dielectrics; via new chemistry and surface modification
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.03.2023
Anhängig
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16.11.2023
Heating device and substrate treatment device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.04.2023
Anhängig
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16.11.2023
Heat processing device, heat processing method, and computer storage medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 01.05.2023
Anhängig
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16.11.2023
Plasma processing device
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 27.04.2023
Anhängig
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16.11.2023
Substrate processing method and substrate processing system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 01.05.2023
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09.11.2023
Apparatus for edge control during plasma processing
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 01.05.2023
Anhängig
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09.11.2023
In-situ lithography pattern enhancement with localized stress treatment tuning using heat zones
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.04.2023
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09.11.2023
Plasma processing method and plasma processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 24.04.2023
Anhängig
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09.11.2023
Model generation method, computer program, and information processing device
Steuerungs- & Regelungstechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 28.04.2023
Anhängig
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02.11.2023
Substrate treatment apparatus and substrate treatment method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.04.2022
Anhängig
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02.11.2023
Flowrate control unit for temperature adjustment and semiconductor manufacturing device
Steuerungs- & Regelungstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 31.03.2023
Anhängig
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02.11.2023
Plasma treatment device, power source system, and plasma treatment method
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.04.2023
Anhängig
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02.11.2023
Substrate-processing method, computer storage medium, substrate-processing system, and substrate-processing device
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.04.2023
Anhängig
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02.11.2023
Plasma processing device, plasma processing method, and remote plasma source
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.04.2023
Anhängig
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02.11.2023
Substrate processing device and substrate processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.04.2023
Anhängig
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02.11.2023
Dry Developing Metal-Free Photoresists
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.04.2023
Anhängig
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26.10.2023
Method for forming semiconductor packages using dielectric alignment marks and laser liftoff process
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.04.2023
Anhängig
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26.10.2023
Variable Hardness Amorphous Carbon Mask
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.04.2023
Anhängig
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26.10.2023
State detection device, state detection method, learning model generation method, and computer program
Steuerungs- & Regelungstechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 17.04.2023
Anhängig
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26.10.2023
Liquid supply system, liquid processing device, and liquid supply method
Verfahrens- & Trenntechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.04.2023
Anhängig
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26.10.2023
Plasma treatment device and plasma treatment method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 11.04.2023
Anhängig
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26.10.2023
Film-forming method and substrate-processing device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 11.04.2023
Anhängig
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26.10.2023
Substrate processing device and substrate processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.04.2023
Anhängig
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19.10.2023
Droplet discharge device, droplet discharge method, and storage medium
Verfahrens- & Trenntechnik
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Status
Angemeldet am 30.03.2023
Anhängig
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19.10.2023
Plasma processing device
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 31.03.2023
Anhängig
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12.10.2023
Silicidation process for semiconductor devices
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.04.2023
Anhängig
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12.10.2023
Substrate processing device and substrate processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 22.03.2023
Anhängig
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12.10.2023
Wafer shape control for w2w bonding
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.02.2023
Anhängig
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12.10.2023
Hybrid Patterning-Bonding Semiconductor Tool
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.02.2023
Anhängig
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12.10.2023
Method for chuck compensation via wafer shape control
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 22.02.2023
Anhängig
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12.10.2023
Patterning features with metal based resists
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 27.03.2023
Anhängig
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12.10.2023
Lateral etching of silicon
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 27.02.2023
Anhängig
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05.10.2023
Substrate treatment method and substrate treatment device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 17.03.2023
Anhängig
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05.10.2023
Substrate processing device and substrate processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 17.03.2023
Anhängig
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Wer vertritt Tokyo Electron?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Tokyo Electron vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
5.299
Metallurgie & Oberflächentechnik
1.560
Elektronik & Schaltungstechnik
790
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
454
Optik & Fototechnik
400
Verfahrens- & Trenntechnik
290
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
234
Software & Datenverarbeitung
145
Steuerungs- & Regelungstechnik
141
Verpackungs- & Fördertechnik
82
Anorganische Chemie & Werkstoffe
69
Maschinenelemente & Fluidtechnik
56