Versum Materials US Patente
🇺🇸 USA
Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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393 gesamt| Patent | |||
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26.04.2023
Systeme mit Beheizten Ventilverteileranordnungen, Verfahren zur Herstellung davon
Maschinenelemente & Fluidtechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.09.2020
Anhängig
Vertretung
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26.04.2023
Cyclosiloxane und damit Hergestellte Folien
Organische Chemie
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 23.07.2021
Anhängig
Vertretung
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19.04.2023
System und Verfahren zum Trocknen und Analytischen Testen von Behältern
Verpackungs- & Fördertechnik
Verfahrens- & Trenntechnik
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12.04.2023
Zusammensetzung zur Titan-Nitrid-Hartmaskenentfernung und Reinigung von Ätzresten
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.07.2019
Erteilt am 12.04.2023
Vertretung
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05.04.2023
Cmp-Polierzusammensetzungen mit Niedrigem Muldenbildungsoxid für Flache Grabenisolationsanwendungen und Verfahren zur Herstellung davon
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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29.03.2023
Organoaminofunktionalisierte Cyclische Oligosiloxane zur Abscheidung von Siliciumhaltigen Folien
Kunststoff- & Polymertechnik
Organische Chemie
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Zusammenfassung
Organoamino-functionalized cyclic oligosiloxanes, which have at least two silicon and two oxygen atoms as well as an organoamino group and methods for making the organoamino-functionalized cyclic oligosiloxanes are disclosed. Methods for depositing silicon and oxygen containing films using the organoamino-functionalized cyclic oligosiloxanes are also disclosed. |
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22.03.2023
Ultraschall-Flüssigkeitsstandmesssystem
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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15.02.2023
Selektives Entfernen von Titannitridhartmaske und Ätzrestentfernung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.03.2016
Erteilt am 15.02.2023
Vertretung
Zusammenfassung
Formulations for stripping titanium nitride hard mask and removing titanium nitride etch residue comprise an amine salt buffer, a non-ambient oxidizer, and the remaining being liquid carrier includes water and non-water liquid carrier selected from the group consisting of dimethyl sulfone, lactic acid, glycol, and a polar aprotic solvent including but not limited to sulfolanes, sulfoxides, nitriles, formamides and pyrrolidones.. The formulations have a pH <4, preferably < 3, more preferably < 2.5. The aqueous formulations having water as liquid carrier and semi-aqueous formulation having water and non-polar aprotic solvent(s) further contain acidic fluoride. The formulations offer high titanium nitride etch rates while provide excellent compatibility towards W, AIN, AIO, and low k dielectric materials. The formulations may comprise weakly coordinating anions, corrosion inhibitors, and surfactants. Systems and processes use the formulations for stripping titanium nitride hard mask and removing titanium nitride etch residue. |
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25.01.2023
Organoaminosilanvorläufer und Verfahren zum Ablagern von Filmen damit
Organische Chemie
Metallurgie & Oberflächentechnik
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04.01.2023
Organoaminofunktionalisierte Cyclische Oligosiloxane zur Abscheidung von Siliciumhaltigen Filmen
Organische Chemie
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 25.09.2020
Anhängig
Vertretung
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28.12.2022
Zusammensetzungen und Verfahren zur Abscheidung von Siliciumnitridfilmen
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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08.12.2022
Ultra-pure molybdenum dichloride dioxide, packaged forms thereof and methods of preparing the same
Anorganische Chemie & Werkstoffe
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 20.05.2022
Anhängig
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23.11.2022
Verfahren zur Abscheidung von Siliziumhaltigen Filmen damit
Organische Chemie
Metallurgie & Oberflächentechnik
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09.11.2022
Ultraschall-Flüssigkeitsstand-Mess-System
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 28.08.2015
Erteilt am 09.11.2022
Vertretung
Beck Greener LLP · London
Beck Greener · London
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27.10.2022
Deposition of vanadium-containing films
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.04.2022
Anhängig
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26.10.2022
Co/cu-Selektives Nassätzmittel
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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19.10.2022
Chemisch-Mechanische Planarisierungspolierzusammensetzungen mit Oxidarmer Grabenbombierung für Anwendungen zur Isolierung von Flachen Gräben
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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12.10.2022
Chemisch-Mechanisches Planarisations (cmp)-Polieren (mit Hoher Oxidschichtentfernungsrate und Flachgrabenisolation (sti)
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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21.09.2022
Zusammensetzungen und Verfahren zur Abscheidung von Siliciumnitridschichten
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.07.2016
Erteilt am 21.09.2022
Vertretung
Beck Greener LLP · London
Beck Greener · London
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31.08.2022
Chemisch-Mechanische Planarisierungszusammensetzungen mit Hoher Oxidentfernungsrate zur Isolierung Flacher Graben
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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24.08.2022
Ätzzusammensetzung und Verfahren für eine Euv-Maskenschutzstruktur
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
Optik & Fototechnik
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18.08.2022
Group 6 amidinate paddlewheel compounds for deposition of metal containing thin films
Organische Chemie
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 11.02.2022
Anhängig
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10.08.2022
Chemisch-Mechanische Kupferplanarisierung mit Niedrigem Auftischen
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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10.08.2022
Fotolack-Entferner
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
Optik & Fototechnik
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03.08.2022
Within-Die-Non-Uniformities (wid-Nu) in der Planarisierung
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
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03.08.2022
Zusammensetzungen zur Entfernung von Ätzrückständen, Verfahren zu deren Verwendung und Verwendung davon
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
Optik & Fototechnik
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13.07.2022
Verfahren zur Abscheidung von Siliciumhaltigen Filmen
Organische Chemie
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 14.06.2016
Erteilt am 13.07.2022
Vertretung
Beck Greener · London
Beck Greener LLP · London
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06.07.2022
Zusammensetzung mit Verbesserter Siliciumpassivierung zum Abstreifen und Reinigen von Herstellungsrückständen von Halbwässrigem Fotolack oder Halbleiter
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 21.12.2015
Erteilt am 06.07.2022
Vertretung
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29.06.2022
Monoalkoxysilane und Dialkoxysilane und daraus Hergestellte Dichte Organosilicafolien
Verfahrens- & Trenntechnik
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 11.09.2020
Anhängig
Vertretung
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29.06.2022
Monoalkoxysilane und daraus Hergestellte Dichte Organosilicaschichten
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.09.2020
Anhängig
Vertretung
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22.06.2022
Formulierung zur Abscheidung von mit Silizium Dotiertem Hafniumoxid
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.09.2020
Anhängig
Vertretung
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22.06.2022
Zusammensetzungen und Verfahren damit zur Nichtkonformen Abscheidung von Siliziumhaltigen Filmen
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.09.2020
Anhängig
Vertretung
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15.06.2022
Chemisch-Mechanische Kupferplanarisierung mit Niedrigem Auftischen
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
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Status
Angemeldet am 25.01.2016
Erteilt am 15.06.2022
Vertretung
Beck Greener LLP · London
Beck Greener · London
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15.06.2022
Verbesserung der Beseitigungsrate von Barriereschlamm
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
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08.06.2022
Fotolackreinigungszusammensetzung zur Verwendung in der Fotolithografie und Verfahren zur Behandlung eines Substrates damit
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 04.08.2016
Erteilt am 08.06.2022
Vertretung
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27.05.2022
Lanthanide and lanthanide-like transition metal complexes
Organische Chemie
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 18.11.2021
Anhängig
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25.05.2022
Zusammensetzungen und Verfahren mit Verwendung davon für Kohlenstoffdotierte Siliciumhaltige Filme
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.02.2016
Erteilt am 25.05.2022
Vertretung
Beck Greener LLP · London
Beck Greener · London
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25.05.2022
Zusammensetzungen zur Entfernung von Ätzrückständen, Verfahren zu deren Verwendung und Verwendung davon
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
Optik & Fototechnik
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Zusammenfassung
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18.05.2022
Siliciumverbindungen und Verfahren zur Abscheidung von Filmen unter Verwendung davon
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.08.2020
Anhängig
Vertretung
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11.05.2022
Flusssteuerungsvorrichtung mit Geringer Druckschwankung und Verfahren
Verfahrens- & Trenntechnik
Steuerungs- & Regelungstechnik
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Angemeldet am 08.10.2015
Erteilt am 11.05.2022
Vertretung
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Wer vertritt Versum Materials US?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Versum Materials US vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
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