Versum Materials US Patente
🇺🇸 USA
Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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393 gesamt| Patent | |||
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04.05.2022
Zusammensetzungen mit Silacycloalkanen und Verfahren zur Verwendung davon zur Abscheidung von Siliciumhaltigem Film
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 24.07.2020
Anhängig
Vertretung
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27.04.2022
Reinigungszusammensetzung für Halbleitersubstrate
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
Optik & Fototechnik
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20.04.2022
Vorläufer und Fliessfähige Cvd-Verfahren zur Herstellung von Filmen mit Niedrigem K-Wert zum Füllen von Oberflächenmerkmalen
Organische Chemie
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
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20.04.2022
Verfahren zur Abscheidung von Silikonhaltigen Schichten
Organische Chemie
Metallurgie & Oberflächentechnik
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20.04.2022
Flüssige Zusammensetzungen zur Selektiven Entfernung von Polysilizium über P-Dotiertem Silizium und Silizium-Germanium Während der Herstellung eines Halbleiterbauelements
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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06.04.2022
Neue Gruppe-V-Und Vi-Übergangsmetallvorläufer für Dünnschichtabscheidung
Organische Chemie
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 28.05.2020
Anhängig
Vertretung
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06.04.2022
Zusammensetzungen und Verfahren mit Verwendung davon zur Abscheidung von Siliciumhaltigem Film
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.06.2020
Anhängig
Vertretung
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31.03.2022
Additives to enhance the properties of dielectric films
Kunststoff- & Polymertechnik
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 16.09.2021
Anhängig
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16.03.2022
Zusammensetzungen und Verfahren zur Ablagerung von Kohlenstoffdotierten Siliciumhaltigen Filmen
Organische Chemie
Metallurgie & Oberflächentechnik
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09.03.2022
Photolackentferner
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 11.04.2019
Erteilt am 09.03.2022
Vertretung
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09.03.2022
Selektives Chemisch-Mechanisches Planarisierungspolieren
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
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Status
Angemeldet am 16.04.2020
Anhängig
Vertretung
Merck Patent Association · Darmstadt
Beck Greener LLP · London
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02.03.2022
Ätzlösung und Verfahren für Aluminiumnitrid
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.03.2020
Anhängig
Vertretung
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09.02.2022
Ätzlösung für Wolfram- und Gst-Filme
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.01.2018
Erteilt am 09.02.2022
Vertretung
Zusammenfassung
Described herein is an etching solution suitable for both tungsten-containing metals and GST metals, which comprises: water; at least one phenolic derivative compound having at least two hydroxyl groups; at least one strong base selected from the group consisting of (i) a quaternary base; (ii) an organic amine; and (iii) a metal hydroxide; optionally an ammonium salt of an organic acid; and optionally a water-miscible solvent, wherein the pH of the etching solution is 10 or greater, and wherein the etching solution is substantially free of a peroxide oxidizer and a metal ion-containing oxidizer. |
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09.02.2022
Wässrige Lösung und Verfahren zur Beseitigung von Substanzen aus Substraten
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 21.03.2017
Erteilt am 09.02.2022
Vertretung
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09.02.2022
Organoaminodisilazane zur Hochtemperatur-Atomschichtablagerung von Siliciumoxiddünnschichten
Organische Chemie
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 17.04.2020
Anhängig
Vertretung
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19.01.2022
Grabenisolations (sti)-Polieren mit Chemisch-Mechanischem Planarisieren mit Niedriger Schleifmittelkonzentration und einer Kombination von Chemischen Additiven
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
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Zusammenfassung
Shallow Trench Isolation (STI) chemical mechanical planarization (CMP) polishing compositions, methods and systems of use therefore are provided. The CMP polishing composition comprises abrasives of ceria coated inorganic oxide particles, such as ceria-coated silica; and dual chemical additives for providing high oxide film removal rate. The dual chemical additives comprise gelatin compounds possessing negative and positive charges on the same molecule, and non-ionic organic molecules having multi hydroxyl functional groups in the same molecule. |
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12.01.2022
Hochoxid- Vs Nitridselektivität, Trench-Dishing mit Niedrigem und Gleichmässigem Oxidgehalt Beim Chemisch-Mechanischen Polieren und Planarisieren mit Flachgrabenisolation (sti)
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
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05.01.2022
Ätzlösung mit Siliciumoxidkorrosionshemmer und Verwendungsverfahren dafür
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.11.2019
Erteilt am 05.01.2022
Vertretung
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15.12.2021
Kompositpartikel, Verfahren zur Verfeinerung und Verwendung davon
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
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Status
Angemeldet am 26.10.2018
Erteilt am 15.12.2021
Vertretung
Beck Greener · London
Beck Greener LLP · London
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15.12.2021
Bis(diazadien)kobalt-Verbindungen, Verfahren zur Herstellung und Verfahren zur Verwendung davon
Organische Chemie
Metallurgie & Oberflächentechnik
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08.12.2021
Verfahren zur Abscheidung eines Konformen Metallischen oder Metalloiden Siliciumnitridfilms
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 06.10.2016
Erteilt am 08.12.2021
Vertretung
Beck Greener · London
Beck Greener LLP · London
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24.11.2021
Zusammensetzungen und Verfahren mit Verwendung davon zur Abscheidung von Siliciumhaltigem Film
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.10.2015
Erteilt am 24.11.2021
Vertretung
Beck Greener LLP · London
Beck Greener · London
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18.11.2021
Novel pad-1 n-a-bottle (pib) technology for advanced chemical-mechanical planarization (cmp) slurries and processes
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.04.2021
Anhängig
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17.11.2021
Hafniumoxidkorrosionsinhibitor
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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17.11.2021
Siliciumverbindungen und Verfahren zur Abscheidung von Filmen unter Verwendung davon
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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03.11.2021
Zusammensetzungen und Verfahren damit für Siliciumhaltige Filme
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 03.02.2020
Anhängig
Vertretung
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03.11.2021
Abscheidung von mit Kohlenstoff Dotiertem Siliziumoxid
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 04.02.2020
Anhängig
Vertretung
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06.10.2021
1-Methyl-1-Isopropoxysilacycloalkane und daraus Hergestellte Dichte Organosilanschichten
Anorganische Chemie & Werkstoffe
Metallurgie & Oberflächentechnik
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29.09.2021
Zusammensetzungen und Verfahren zur Ablagerung von Kohlenstoffdotierten Siliciumhaltigen Filmen
Organische Chemie
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
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Status
Angemeldet am 01.06.2012
Erteilt am 29.09.2021
Vertretung
Beck Greener LLP · London
Beck Greener · London
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10.09.2021
Etching solution for titanium nitride and molybdenum conductive metal lines
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.03.2021
Anhängig
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01.09.2021
Photolackentferner
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 21.12.2018
Erteilt am 01.09.2021
Vertretung
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25.08.2021
Behälter und Verfahren zur Abgabe von Vorläufermaterialien
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 18.04.2016
Erteilt am 25.08.2021
Vertretung
Beck Greener · London
Beck Greener LLP · London
Zusammenfassung
A vessel for conveying a precursor-containing fluid stream from a precursor material contained within the vessel using a carrier gas. The vessel defines an interior volume segmented into an upper volume and a lower volume, the upper volume being in fluid communication with the lower volume, the lower volume containing substantially all of the precursor material and being separated from the upper volume by a separator. The vessel includes a diffuser tube that extends from an inlet port, through the separator and has a distal end having a plurality of openings formed therein and extends along the bottom interior wall of the vessel. |
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25.08.2021
Chemisch-Mechanische Planarisierung (cmp) von Wolfram mit Geringer Muldenbildung und Topografie mit Niedriger Erosion
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
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04.08.2021
Verfahren zur chemisch-mechanischen Planarisierung eines wolframhaltigen Substrats
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
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Status
Angemeldet am 15.02.2011
Erteilt am 04.08.2021
Vertretung
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04.08.2021
Zusammensetzung zum Chemisch-Mechanischen Polieren (cmp) für Anwendungen für Flache Grabenisolation (sti) und Verfahren zur Herstellung davon
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.10.2013
Erteilt am 04.08.2021
Vertretung
Beck Greener LLP · London
Beck Greener · London
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28.07.2021
Zufuhrsystem zum Aufbringen eines Wolframfilms oder eines Wolframhaltigen Films und Verfahren zur Herstellung des Zufuhrsystems
Verfahrens- & Trenntechnik
Anorganische Chemie & Werkstoffe
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Status
Angemeldet am 15.04.2016
Erteilt am 28.07.2021
Vertretung
Beck Greener · London
Beck Greener LLP · London
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28.07.2021
Chemischer und Mechanischer Polierschlamm zur Isolierung von Flachen Gräben
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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21.07.2021
Zusammengesetzte Schleifpartikel für eine Chemisch-Mechanische Polierzusammensetzung und Verfahren zur Verwendung davon
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.01.2016
Erteilt am 21.07.2021
Vertretung
Beck Greener LLP · London
Beck Greener · London
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21.07.2021
Flüchtige Monoamino-Dialkoxysilane und deren Verwendung zur Herstellung von Silizium-Haltigen Filmen
Organische Chemie
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
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Status
Angemeldet am 25.01.2013
Erteilt am 21.07.2021
Vertretung
Beck Greener LLP · London
Beck Greener · London
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21.07.2021
Ätzlösung zum Selektiven Entfernen von Siliziumnitrid Während der Herstellung eines Halbleiterbauelements
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.06.2018
Erteilt am 21.07.2021
Vertretung
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Wer vertritt Versum Materials US?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Versum Materials US vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
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