Versum Materials US Patente
🇺🇸 USA
Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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393 gesamt| Patent | |||
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27.09.2017
Magnetventilbypasssystem zum kontinuierlichen Betrieb eines Druckluftventils und Verfahren dafür
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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Status
Angemeldet am 24.09.2012
Erteilt am 27.09.2017
Vertretung
Zusammenfassung
A solenoid valve assembly (10) capable of providing a continuous flow of pressurized inert gas to operate a process tool without interruption. A system comprising the solenoid valve assembly is also provided. |
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27.09.2017
Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung von Trisilylamin
Anorganische Chemie & Werkstoffe
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Status
Angemeldet am 23.06.2014
Erteilt am 27.09.2017
Vertretung
Beck Greener LLP · London
Beck Greener · London
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26.07.2017
Hochtemperatur-Atomschichtablagerung von Siliciumhaltigen Schichten
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.01.2017
Anhängig
Vertretung
Kador & Partner Part mbB · München
Kador & Partner · München
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19.07.2017
Reinigungsformulierungen und Verfahren zur Verwendung der Reinigungsformulierungen
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
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Status
Angemeldet am 13.03.2012
Erteilt am 19.07.2017
Vertretung
Zusammenfassung
A water-rich hydroxylamine formulation for photoresist and post-etch/post-ash residue removal in applications wherein a semiconductor substrate comprises aluminum. The cleaning composition comprises from about 2 to about 15% by wt. of hydroxylamine; from about 50 to about 80% by wt. of water; from about 0.01 to about 5.0% by wt. of a corrosion inhibitor; from about 5 to about 45% by wt. of a component selected from the group consisting of: an alkanolamine having a pKa<9.0, a water-miscible solvent, and a mixture thereof. Employment of such composition exhibits efficient cleaning capability for Al substrates, minimal silicon etch while protecting aluminum for substrates comprising both materials. |
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26.04.2017
Verfahren und Ausrüstung zum selektiven Auffangen von Prozessabgasen
Verfahrens- & Trenntechnik
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Status
Angemeldet am 28.01.2011
Erteilt am 26.04.2017
Vertretung
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12.04.2017
Wasserreiche Abstreif- und Reinigungsformulierung und Verwendungsverfahren dafür
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 27.08.2010
Erteilt am 12.04.2017
Vertretung
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12.04.2017
Organoaminodisilan-Vorläufer und Verfahren zur Ablagerung von Schichten damit
Organische Chemie
Anorganische Chemie & Werkstoffe
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Status
Angemeldet am 03.06.2013
Erteilt am 12.04.2017
Vertretung
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29.03.2017
Elektro-Optische Anzeigen, die Polyurethan-Klebstoffschichten Enthalten, umfassend einen Vernetzer, der aus Epoxidierten Pflanzenöl-Fettsäuren oder Epoxidierten Estern Solcher Fettsäuren Besteht
Optik & Fototechnik
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29.03.2017
Verfahren zur Herstellung eines Mehrkomponentenfilms
Verfahrens- & Trenntechnik
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 23.02.2011
Erteilt am 29.03.2017
Vertretung
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29.03.2017
Chemisch-mechanische Sperrschichtpolierzusammensetzung und Verfahren zur Verwendung davon
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
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Status
Angemeldet am 03.10.2014
Erteilt am 29.03.2017
Vertretung
Beck Greener LLP · London
Beck Greener · London
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22.03.2017
Halbwässrige Abstreif- und Reinigungsformulierung für ein Metallsubstrat und Verwendungsverfahren dafür
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 05.08.2010
Erteilt am 22.03.2017
Vertretung
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15.03.2017
Verfahren zur Herstellung einer Schicht eines Ternär-Metallchalcogenids
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 08.06.2012
Erteilt am 15.03.2017
Vertretung
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01.03.2017
Materialien und Verfahren zur Herstellung von kontrollierten Hohlräumen in dielektrischen Schichten
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.04.2007
Erteilt am 01.03.2017
Vertretung
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22.02.2017
Rückstandentferner auf wässriger Basis mit Fluorid
Optik & Fototechnik
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08.02.2017
Komplexe aus Imidazolliganden
Organische Chemie
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Status
Angemeldet am 10.06.2011
Erteilt am 08.02.2017
Vertretung
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25.01.2017
Verfahren zur Herstellung eines Mehrkomponentenfilms
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 11.04.2014
Erteilt am 25.01.2017
Vertretung
Beck Greener LLP · London
Beck Greener · London
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25.01.2017
Verfahren zur Abscheidung von Gruppe-13-Metall- oder Metalloidnitridschichten
Metallurgie & Oberflächentechnik
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18.01.2017
Verfahren zur Entfernung von Kohlenstoff aus einem Organosilikatmaterial
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Metallurgie & Oberflächentechnik
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11.01.2017
An Metallverbindung Chemisch Verankerte Kolloidale Partikel und Verfahren zur Herstellung und Verwendung davon
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.03.2016
Anhängig
Vertretung
Merck Patent Association · Darmstadt
Beck Greener · London
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14.12.2016
Flüchtige Dihydropyrazinyl- und Dihydropyrazinmetallkomplexe
Organische Chemie
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 24.07.2014
Erteilt am 14.12.2016
Vertretung
Beck Greener LLP · London
Beck Greener · London
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16.11.2016
Verfahren zum Schneiden von Wafern
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
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Status
Angemeldet am 08.07.2011
Erteilt am 16.11.2016
Vertretung
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09.11.2016
Verfahren und Vorläufer zur Herstellung von 3D-Vorrichtungen
Metallurgie & Oberflächentechnik
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02.11.2016
Wiedergewinnung von Xenon durch einen Adsorptionprozess
Verfahrens- & Trenntechnik
Anorganische Chemie & Werkstoffe
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Status
Angemeldet am 30.09.2011
Erteilt am 02.11.2016
Vertretung
Zusammenfassung
The present invention discloses the improvements to a vacuum swing adsorption (VSA) process used for Xe recovery. By only collecting the recovered gas mixture after the initial evacuation of N<2>from the adsorbent vessel and void space, the recovered Xe is not diluted by N<2>contained in the adsorbent vessel and void space. The concentration of the recovered Xe can by increased (high purity), simultaneously little Xenon is lost. During the initial evacuation of N<2>, the vessel has been evacuated to a pressure less than 1 atmospheric pressure (100 kPa), for example, from 100 to 1 torr (13000 to 130 Pa). |
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02.11.2016
Alkoxysilylaminverbindungen und Anwendungen dafür
Organische Chemie
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 11.12.2013
Erteilt am 02.11.2016
Vertretung
Beck Greener LLP · London
Beck Greener · London
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19.10.2016
Mischungen basiert auf ionischen Flüssigkeiten für Lagerung und Abgabe von Gase.
Anorganische Chemie & Werkstoffe
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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Status
Angemeldet am 20.09.2005
Erteilt am 19.10.2016
Vertretung
Kador & Partner Part mbB · München
Kador & Partner · München
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06.10.2016
Cleaning Formulations
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 31.03.2016
Anhängig
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06.10.2016
Composition for treating surface of substrate, method and device
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
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Status
Angemeldet am 01.04.2016
Anhängig
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11.11.2015
Behälter mit Filter
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 24.05.2013
Anhängig
Vertretung
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23.09.2015
Verfahren zur Abscheidung von Siliciumnitridfilmen
Organische Chemie
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Zusammenfassung
Described herein are methods for forming silicon nitride films. In one aspect, there is provided a method of forming a silicon nitride film comprising the steps of: providing a substrate in a reactor; introducing into the reactor an at least one organoaminosilane having a least one SiH<3>group described herein wherein the at least one organoaminosilane reacts on at least a portion of the surface of the substrate to provide a chemisorbed layer; purging the reactor with a purge gas; introducing a plasma comprising nitrogen and/or an inert gas into the reactor to react with at least a portion of the chemisorbed layer and provide at least one reactive site wherein the plasma is generated at a power density ranging from about 0.01 to about 1.5 W/cm<2>. |
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05.03.2014
Reinigung von Führungsrahmen zur Verbesserung eines Drahtbindungsverfahrens
Verfahrens- & Trenntechnik
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
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Status
Angemeldet am 25.04.2012
Anhängig
Vertretung
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19.10.2011
Tank mit einer Ventilbüchse
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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Status
Angemeldet am 30.09.2004
Erteilt am 19.10.2011
Vertretung
Schwabe - Sandmair - Marx · München
SSM Sandmair · München
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07.09.2011
Verfahren zur Herstellung von siliciumhaltigen Schichten
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 04.02.2011
Anhängig
Vertretung
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29.06.2011
Ausgangsstoffe zur Bereitstellung von Materialien mit niedriger Dielektrizitätskonstante und ausgezeichneten Integrationseigenschaften
Anorganische Chemie & Werkstoffe
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 23.12.2010
Anhängig
Vertretung
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Wer vertritt Versum Materials US?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Versum Materials US vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
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