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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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3.336 gesamt
Patent
11.01.2023
Optische Vorrichtung für Geladene Teilchen, Gerät und Verfahren für Geladene Teilchen
EP4117012
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.01.2023
Ladungsteilchenvorrichtung und -Verfahren
EP4117014
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.01.2023
Computerimplementiertes Verfahren zur Diagnose eines Systems mit mehreren Modulen
EP4116888
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
11.01.2023
Detektor für Geladene Teilchen
EP4117017
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.01.2023
Vorrichtung Detektor und Verfahren für Geladene Teilchen
EP4117015
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.01.2023
Detektor für Geladene Teilchen
EP4117016
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.01.2023
Systeme und Verfahren zur Prozessmetrikbewussten Prozesssteuerung
EP4111262
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
04.01.2023
Entwurf von Elektrostatischen Linsen
EP4111483
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.01.2023
Verfahren zur Überwachung eines Messrezepts und Zugehörige Messtechnische Verfahren und Vorrichtungen
EP4113210
Optik & Fototechnik
04.01.2023
System zur Bewertung Geladener Teilchen und Verfahren zur Ausrichtung einer Probe in einem System zur Bewertung Geladener Teilchen
EP4113570
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.01.2023
Verfahren zur Herstellung von Photonischen Kristallfasern
EP4112572
Kunststoff- & Polymertechnik Anorganische Chemie & Werkstoffe
04.01.2023
Verfahren zur Herstellung einer Membrananordnung und die Membrananordnung
EP3371655
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
04.01.2023
Interferometersystem und Lithographievorrichtung
EP4111132
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
28.12.2022
Substrattisch und Verfahren zur Handhabung eines Substrats
EP4107582
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.12.2022
Werkzeug zum Testen einer Elektronen-Optischen Anordnung
EP4107770
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.12.2022
Inspektionsvorrichtung
EP4107773
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.12.2022
Ladungsteilcheninspektionswerkzeug, Inspektionsverfahren
EP4107774
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.12.2022
Flüssigkeitsübertragungssystem in einem Ladungsteilchensystem
EP4107772
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.12.2022
Extrahieren eines Merkmals aus einem Datensatz
EP3935448
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
28.12.2022
Bildgebungssystem
EP4109178
Optik & Fototechnik
21.12.2022
Bestimmung der Leistung der Lithografischen Anpassung
EP4104017
Optik & Fototechnik
21.12.2022
Prozessinspektionsverfahren in mehreren Schritten
EP4104019
Optik & Fototechnik
21.12.2022
Optisches Element zur Erzeugung von Breitbandiger Strahlung
EP4105696
Anorganische Chemie & Werkstoffe Optik & Fototechnik
21.12.2022
Substrathalter und Verfahren
EP4105720
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.12.2022
Kausales Faltungsnetzwerk für Prozesssteuerung
EP4105719
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
14.12.2022
Manipulatorvorrichtung für Ladepartikel
EP4100984
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.12.2022
Verfahren zur Steuerung eines Lithographischen Systems
EP3942367
Optik & Fototechnik
14.12.2022
Verfahren zur Kompensation eines Elektrodenverzerrungseffekts, Bewertungssystem
EP4102536
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.12.2022
Temperierungssystem, Lithografische Vorrichtung und Verfahren zum Temperieren eines Objekts
EP4102297
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.12.2022
Optischer Isolator, Seed-Isolatormodul, Euv-Strahlungsquelle und Lithographiesystem
EP4102655
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.12.2022
Ladungsteilchenvorrichtung und -Verfahren
EP4102535
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.11.2022
Auswertungstool für Steuerungsstrategie eines Halbleiterherstellungsprozesses und dessen Benutzeroberfläche
EP3657281
Steuerungs- & Regelungstechnik
30.11.2022
Lithografisches System mit einer Ablenkvorrichtung zum Ändern einer Flugbahn von Teilchenförmigem Schutt
EP4094125
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
30.11.2022
Hybride Photoresistzusammensetzung für Extrem Ultraviolette Photolithografieanwendungen
EP4095604
Optik & Fototechnik
30.11.2022
Beugungsgitter für Messungen in Euv-Belichtungsapparaten
EP4095573
Optik & Fototechnik
30.11.2022
Ladungsteilchenvorrichtung
EP4095881
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.11.2022
Optische Vorrichtung mit Geladenen Teilchen und Methode
EP4092712
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.11.2022
Pellikelmembran für eine Lithographische Vorrichtung
EP4091023
Optik & Fototechnik
23.11.2022
Saugklemme, Objekthandhabungsvorrichtung, Bühnenvorrichtung und Lithographische Vorrichtung
EP4091024
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Optik & Fototechnik
23.11.2022
Datenverarbeitungsvorrichtung und -Verfahren, System und Verfahren zur Bewertung Geladener Teilchen
EP4092614
Software & Datenverarbeitung

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Technologiefelder

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Halbleiter & Elektrische Bauelemente
727
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
356
Elektronik & Schaltungstechnik
223
Software & Datenverarbeitung
132
Elektrische Energietechnik
125
Steuerungs- & Regelungstechnik
60
Maschinenelemente & Fluidtechnik
37
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
34
Verfahrens- & Trenntechnik
33
Anorganische Chemie & Werkstoffe
33
Metallurgie & Oberflächentechnik
20

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