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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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3.336 gesamt
Patent
09.06.2021
Vorrichtung und Verfahren zur Verbindung einer Faservorform mit einem Druckversorgungssystem
EP3832364
Anorganische Chemie & Werkstoffe Optik & Fototechnik
09.06.2021
Klemmanordnung
EP3832391
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.06.2021
Bestrahlungsapparat mit mehreren Quellen Geladener Teilchen
EP3828916
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.06.2021
Verfahren und System zur Vorhersage von Bildern von Elektrischen Felder mit einem Parametrisierten Modell
EP3828632
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
19.05.2021
Verfahren zur Bestimmung einer Sichtfeldeinstellung
EP3822703
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.05.2021
Verfahren zur Bestimmung der Korrekturen für ein Strukturierungsverfahren
EP3529667
Optik & Fototechnik
12.05.2021
Verfahren zur Herstellung einer Kapillare für eine Photonische Hohlkernkristallfaser
EP3819266
Anorganische Chemie & Werkstoffe Optik & Fototechnik
12.05.2021
Vorrichtung zum Positionieren und Eingespannten Härten
EP3818413
Verpackungs- & Fördertechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
05.05.2021
Verfahren und Vorrichtung zur Effizienten Erzeugung von Hohen Oberschwingungen
EP3816721
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
05.05.2021
Vorrichtung zum Berechnen von Variationen der Substratneigung
EP2239632
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
28.04.2021
Endfacettenschutz für eine Lichtquelle und Verfahren zur Verwendung in Metrologieanwendungen
EP3812836
Optik & Fototechnik
28.04.2021
Verfahren zur Bestimmung von Aberrationen in von einem Ladungsteilchenstrahlgerät Erhaltenen Bildern, Verfahren zur Bestimmung einer Einstellung eines Ladungsteilchenstrahlgeräts, und Ladungsteilchenstrahlgerät
EP3813091
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.04.2021
Verfahren zum Entwurf einer Ausrichtungsmarkierung
EP3812841
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.04.2021
Euv-Pellikel
EP3811151
Optik & Fototechnik
21.04.2021
Verfahren und Vorrichtung zur Kohärenzverschlüsselung in Messtechnischen Anwendungen
EP3809190
Optik & Fototechnik
21.04.2021
Verfahren zur Anpassung von Messdaten an ein Modell und Modellierung einer Leistungsparameterverteilung und Zugehörige Vorrichtungen
EP3809203
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
21.04.2021
Systeme und Verfahren zur Profilierung von Ladungsteilchenstrahlen
EP3809443
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.04.2021
System und Verfahren zur Konditionierung einer Strukturierungsvorrichtung
EP3809204
Optik & Fototechnik
14.04.2021
Verbesserte Breitbandstrahlungserzeugung in Hohlkernfasern
EP3805857
Optik & Fototechnik
14.04.2021
Lithographischer Apparat und Positionierungsanordnung
EP2221668
Optik & Fototechnik
14.04.2021
Ladungsträgerteilchen-Halbleiterdetektor für Mikroskopie
EP3803933
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.04.2021
Vorrichtung und Verfahren zur Überwachung und Steuerung der Leistung eines Tröpfchengenerators
EP3804474
Elektronik & Schaltungstechnik
07.04.2021
Sensormarkierung
EP3596546
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
07.04.2021
Messsystem und Verfahren zur Charakterisierung einer Strukturierungsvorrichtung
EP3800505
Optik & Fototechnik
07.04.2021
Netzwerkarchitektur und Protokoll für einen Cluster von Lithografiegeräten
EP2699966
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.04.2021
Verfahren zur Bestimmung einer Resistdeformation und Verfahren zur Verbesserung eines Lithographischen Prozesses
EP3271783
Optik & Fototechnik
31.03.2021
Verfahren zum Ableiten eines Verarbeitungsparameters Wie Fokus und Zugehörige Vorrichtungen und Herstellungsverfahren
EP3798729
Optik & Fototechnik
31.03.2021
Strahlungsleitung
EP3798730
Optik & Fototechnik
24.03.2021
Strahlungsquelle
EP3796080
Optik & Fototechnik
24.03.2021
Bestimmung der Leistung der Lithografischen Anpassung
EP3796087
Optik & Fototechnik
24.03.2021
Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Leistung eines Lithografischen Prozesses
EP3796088
Optik & Fototechnik
24.03.2021
Verfahren zum Filtern eines Bildes und Zugehörige Messtechnische Vorrichtung
EP3796089
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
17.03.2021
Anordnung zur Bündelung von Breitbandstrahlung
EP3792673
Optik & Fototechnik
17.03.2021
Teilfeldsteuerung eines Lithografischen Prozesses und Zugehörige Vorrichtung
EP3792693
Optik & Fototechnik
10.03.2021
Verfahren zum Bestimmen der Fehlerhaftigkeit eines Musters basierend auf einem Bild nach der Entwicklung
EP3789826
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.03.2021
Verbesserte Vorrichtung zur Erzeugung von Hohen Harmonischen
EP3790364
Elektronik & Schaltungstechnik
10.03.2021
Verfahren zur Erhöhung der Gewissheit in Parametrisierten Modellvorhersagen
EP3789923
Software & Datenverarbeitung
10.03.2021
Pellikel für die Euv-Lithografie
EP3788442
Optik & Fototechnik
03.03.2021
System zum Testen eines Spiegels Wie Etwa eines Kollektorspiegels und Verfahren zum Testen eines Spiegels Wie Etwa eines Kollektorspiegels
EP3785078
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
03.03.2021
Lichtquellen und Verfahren zur Steuerung, Vorrichtungen und Verfahren zur Verwendung in Messanwendungen
EP3786712
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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Technologiefelder

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727
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356
Elektronik & Schaltungstechnik
223
Software & Datenverarbeitung
132
Elektrische Energietechnik
125
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60
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37
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
34
Verfahrens- & Trenntechnik
33
Anorganische Chemie & Werkstoffe
33
Metallurgie & Oberflächentechnik
20

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