ASML Patente
🇳🇱 Niederlande
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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5.380 gesamt| Patent | |||
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25.04.2024
Concurrent auto focus and local alignment methodology
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 25.09.2023
Anhängig
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25.04.2024
Particle transfer apparatus and methods
Metallurgie & Oberflächentechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 28.09.2023
Anhängig
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25.04.2024
A slit valve assembly for use in a vacuum chamber, for example in a vacuum chamber of a substrate processing system
Maschinenelemente & Fluidtechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.10.2023
Anhängig
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25.04.2024
Apparatus and methods for filtering measurement radiation
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 10.10.2023
Anhängig
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24.04.2024
Beleuchtungsquelle und Zugehöriges Verfahren
Optik & Fototechnik
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24.04.2024
Systeme und Verfahren zur Filterung von Inspektionsdaten
Optik & Fototechnik
Software & Datenverarbeitung
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24.04.2024
Vorrichtung und Verfahren zur Übertragung von Partikeln
Metallurgie & Oberflächentechnik
Elektrische Energietechnik
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24.04.2024
Verfahren zur Bestimmung einer Absoluten Position eines Objekts, Interferometersystem, Projektionssystem und Lithografische Vorrichtung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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24.04.2024
Verfahren zur Vorhersage eines Parameters in einem Halbleiterherstellungsverfahren
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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24.04.2024
Vorrichtung und Verfahren zur Filterung von Messstrahlung
Optik & Fototechnik
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18.04.2024
Inspection systems using metasurface and integrated optical systems for lithography
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 15.09.2023
Anhängig
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18.04.2024
Charged particle detector for microscopy
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.09.2023
Anhängig
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18.04.2024
An Aberration Correction Optical System
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 14.09.2023
Anhängig
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18.04.2024
Substrate Support Qualification
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 12.09.2023
Anhängig
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18.04.2024
Method for operating a detection system of a metrology device and associated metrology device
Optik & Fototechnik
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
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Status
Angemeldet am 07.09.2023
Anhängig
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18.04.2024
Electrostatic clamp with a structured electrode by post bond structuring
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.09.2023
Anhängig
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17.04.2024
Strahlungsgitterlayout
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.05.2014
Erteilt am 17.04.2024
Vertretung
Corcoran, Gregory Martin Mason · Veldhoven
ASML Netherlands B.V · Veldhoven
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17.04.2024
Verfahren zum Betreiben eines Detektionssystems einer Metrologievorrichtung und Zugehörige Metrologievorrichtung
Optik & Fototechnik
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
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Zusammenfassung
Disclosed is a method of reading out a detection arrangement, said detection arrangement defining a detection area in terms of plurality of pixels. The method comprises receiving scattered radiation on said detection arrangement; dividing the detection area into at least two different regions of interest based at least on a measurement parameter of said scattered radiation; and employing a respective different readout scheme for each said regions of interest, so as to read out said detection arrangement. |
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17.04.2024
Verfahren zur Kompensation eines Effekts einer Elektrodenverzerrung, Bewertungssystem
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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17.04.2024
Vorrichtung und Verfahren für Geladene Teilchen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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17.04.2024
Optische Vorrichtung für Geladene Teilchen
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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17.04.2024
Elektronenoptisches Element
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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17.04.2024
Optisches System zur Aberrationskorrektur
Optik & Fototechnik
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17.04.2024
Ausrichtung von Elektronenoptischen Elementen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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11.04.2024
Tunable optical system
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 15.09.2023
Anhängig
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11.04.2024
Methods and system for determining aberrations of a projection system
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 14.09.2023
Anhängig
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11.04.2024
Method and apparatus for controlling a lithographic apparatus, and a lithographic apparatus
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 06.09.2023
Anhängig
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11.04.2024
Adc calibration for microscopy
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Angemeldet am 21.09.2023
Anhängig
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10.04.2024
Optische Komponente auf Basis von Photonischen Hohlkernkristallfasern zur Breitbandigen Strahlungserzeugung
Optik & Fototechnik
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10.04.2024
Verfahren und System zur Bestimmung von Aberrationen eines Projektionssystems
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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10.04.2024
Verfahren und Vorrichtung zur Berechnung einer Räumlichen Karte im Zusammenhang mit einer Komponente
Optik & Fototechnik
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10.04.2024
Verfahren zur Bestimmung von Signalparametern, Heterodynes Interferometersystem, Lithographisches Gerät und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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10.04.2024
Elektronenoptisches Modul
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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10.04.2024
Beugungsgitter für Messungen in Euv-Belichtungsanlagen
Optik & Fototechnik
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04.04.2024
Tunable optical system
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 14.09.2023
Anhängig
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04.04.2024
Systems for path compensation with a moving objective
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 15.09.2023
Anhängig
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04.04.2024
Scanning electron microscopy (sem) back-scattering electron (bse) focused target and method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 21.09.2023
Anhängig
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04.04.2024
Charged particle apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 11.09.2023
Anhängig
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03.04.2024
Vorrichtung für Geladene Teilchen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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03.04.2024
Verfahren und Vorrichtung zur Vorhersage einer mit einem Prozess Assoziierten Prozessmetrik
Optik & Fototechnik
Steuerungs- & Regelungstechnik
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Wer vertritt ASML?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die ASML vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
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