ASML Logo

ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

Patente durchsuchen

3.336 gesamt
Patent
03.03.2021
System zum Testen eines Spiegels Wie Etwa eines Kollektorspiegels und Verfahren zum Testen eines Spiegels Wie Etwa eines Kollektorspiegels
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
03.03.2021
Nicht-Korrigierbarer Fehler in der Metrologie
Optik & Fototechnik
03.03.2021
Endfacettenschutz für eine Lichtquelle und Verfahren zur Verwendung in Metrologieanwendungen
Optik & Fototechnik
03.03.2021
Modensteuerung von Photonischen Kristallfaserbasierten Breitbandigen Lichtquellen
Optik & Fototechnik
03.03.2021
Metrologieverfahren und Vorrichtung zur Bestimmung eines Komplexwertigen Feldes
Optik & Fototechnik
03.03.2021
Ausrichtungssensor, Lithografisches System zur Verarbeitung eines Ziels, Wie Etwa eines Wafers, und Verfahren zum Betrieb eines Lithografiesystems zur Verarbeitung eines Ziels Wie Etwa eines Wafers
Optik & Fototechnik
24.02.2021
Numerische Kompensation Sem-Induzierter Ladung unter Verwendung eines Diffusionsbasierten Modells
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.02.2021
Beleuchtungs- und Detektionsvorrichtung für eine Metrologische Vorrichtung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
24.02.2021
Vorrichtungsherstellungsverfahren
Optik & Fototechnik
24.02.2021
Wellenlängenauswahlmodul, Beleuchtungssystem und Metrologiesystem
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
24.02.2021
Membrane zur Verwendung in einer Lithographievorrichtung und Lithographievorrichtung mit Solch einer Membran
Optik & Fototechnik
24.02.2021
Metrologievorrichtung und Detektionsvorrichtung dafür
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
17.02.2021
Verfahren und Metrologiewerkzeug zur Bestimmung von Informationen über eine Zielstruktur und Freitragende Sonde
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
17.02.2021
Positionsmesssystem, Interferometersystem und Lithografische Vorrichtung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
27.01.2021
Verfahren und System zur Bestimmung von Informationen über eine Zielstruktur
Optik & Fototechnik
20.01.2021
Verfahren und Vorrichtung zur Berechnung elektromagnetischer Streuungseigenschaften von Strukturen und für die Rekonstruktion von approximativen Strukturen
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
20.01.2021
Montierte Hohlkernfaseranordnung
Optik & Fototechnik
20.01.2021
Teilfeldsteuerung eines Lithografischen Prozesses und Zugehörige Vorrichtung
Optik & Fototechnik
20.01.2021
Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung des Beitrags von Merkmalen zur Leistung
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
20.01.2021
Marke, Überlagerungsziel und Verfahren zur Ausrichtung und Überlagerung
Optik & Fototechnik
20.01.2021
Lichtquelle und Verfahren zur Verwendung bei Metrologieanwendungen
Optik & Fototechnik
13.01.2021
Messvorrichtung für Lithographie und Entsprechendes Messverfahren
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
13.01.2021
Verfahren zur Steuerung einer Lithografischen Vorrichtung und Zugehörige Vorrichtungen
Optik & Fototechnik
13.01.2021
Substratformmessvorrichtung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
13.01.2021
Lithografische Vorrichtung mit Graphenpellikel
Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik
06.01.2021
Lithografische Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
06.01.2021
Vorrichtung und Methode zur Beeinflussung der Lokalen Phase eines Geladenen Teilchenstrahls
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.01.2021
Spiegelkalibrierungsverfahren, Positionsmessverfahren, Lithografische Vorrichtung und Vorrichtungsherstellungsverfahren
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
06.01.2021
Elektrodenkühlanordnung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.01.2021
Herstellung von Radioisotopen
Elektrische Energietechnik
06.01.2021
Verfahren und Vorrichtung zur Formung einer Strukturierten Materialschicht
Optik & Fototechnik
06.01.2021
Ausrichtungsmarkierungspositionierung in einem Lithographischen Prozess
Optik & Fototechnik
30.12.2020
Optische Komponente auf Basis von Photonischen Hohlkernfasern zur Breitbandigen Strahlungserzeugung
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.12.2020
Metrologieverfahren und Vorrichtung zur Bestimmung eines Komplexwertigen Feldes
Optik & Fototechnik
23.12.2020
Fluidhandhabungsstruktur und Immersionslithografievorrichtung
Optik & Fototechnik
16.12.2020
Metrologieverfahren und Verfahren zum Trainieren einer Datenstruktur zur Verwendung in der Metrologie
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
16.12.2020
Interferometersystem, Verfahren zur Bestimmung eines Modussprungs einer Laserquelle eines Interferometersystems, Verfahren zur Bestimmung einer Position eines Beweglichen Objekts und Lithografische Vorrichtung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
09.12.2020
Tragetisch für eine Lithografische Vorrichtung, Verfahren zum Laden eines Substrats, Lithografische Vorrichtung und Vorrichtungsherstellungsverfahren
Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik
09.12.2020
Verfahren zum Kennzeichnen von Substraten basierend auf Prozessparametern
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
02.12.2020
Auf Rechnergestützter Metrologie Basiertes Abtastschema
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen