ASML Patente
🇳🇱 Niederlande
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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01.09.2021
Elektrostatische Linsendesigns
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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01.09.2021
Optische Fasern und Herstellungsverfahren dafür
Anorganische Chemie & Werkstoffe
Optik & Fototechnik
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01.09.2021
Interferometersystem und Lithographievorrichtung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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01.09.2021
Systeme und Verfahren zur Prozessmetrikbewussten Prozesssteuerung
Optik & Fototechnik
Steuerungs- & Regelungstechnik
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01.09.2021
Inspektionsvorrichtung
Optik & Fototechnik
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25.08.2021
System und Verfahren zur Ausrichtung von Elektronenstrahlen in einer Mehrstrahl-Inspektionsvorrichtung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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25.08.2021
Inspektionsvorrichtung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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25.08.2021
Beurteilungswerkzeug für Geladene Partikel, Inspektionsverfahren
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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25.08.2021
Inspektionswerkzeug mit Geladenen Teilchen, Inspektionsverfahren
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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25.08.2021
Substrattisch und Verfahren zur Handhabung eines Substrats
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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25.08.2021
Verfahren zur Steuerung eines Herstellungsverfahrens und Zugehörige Vorrichtungen
Optik & Fototechnik
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25.08.2021
Anordnungen und Verfahren zur Führung von Strahlung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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25.08.2021
Verfahren zur Herstellung einer Membrananordnung
Optik & Fototechnik
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18.08.2021
Verfahren, Anordnung und Vorrichtung zur Verbesserten Steuerung von Breitbandiger Strahlungserzeugung
Optik & Fototechnik
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11.08.2021
Objekt in einer Lithographischen Vorrichtung
Metallurgie & Oberflächentechnik
Optik & Fototechnik
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11.08.2021
Gasmischung zur Schnellen Temperaturregelung einer Kühlhaube
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
Optik & Fototechnik
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11.08.2021
Verfahren und Systeme für Maskenlose Lithografie
Optik & Fototechnik
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11.08.2021
Manipulatorvorrichtung für Geladene Partikel
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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11.08.2021
Prozessinspektionsverfahren in mehreren Schritten
Optik & Fototechnik
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04.08.2021
Positioniervorrichtung und Verfahren zur Verwendung einer Positioniervorrichtung
Optik & Fototechnik
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04.08.2021
Zielbildungsvorrichtung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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04.08.2021
Vorrichtung und Verfahren zur Steuerung der Einführung von Euv-Zielmaterial in eine Euv-Kammer
Elektronik & Schaltungstechnik
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28.07.2021
Vorrichtung für Hochdruckanschluss
Maschinenelemente & Fluidtechnik
Elektronik & Schaltungstechnik
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28.07.2021
Verdrehsichere Fluidverbindung
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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28.07.2021
Lithografisches Strukturierungsverfahren und Fotolacke zur Verwendung Darin
Kunststoff- & Polymertechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 30.05.2012
Erteilt am 28.07.2021
Vertretung
Slenders, Petrus J. W · Eindhoven
ASML Netherlands B.V · Veldhoven
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21.07.2021
Saugklemme, Objekthandhabungsvorrichtung, Bühnenvorrichtung und Lithographische Vorrichtung
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Optik & Fototechnik
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21.07.2021
Verfahren zur Korrektur von Messungen bei der Herstellung von Integrierten Schaltungen und Zugehörige Vorrichtungen
Optik & Fototechnik
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21.07.2021
Ladungsteilchenbeurteilungswerkzeug, Inspektionsverfahren
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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14.07.2021
Elektronenquelle mit Hoher Helligkeit
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Zusammenfassung
Systems and methods for enhancing inspection throughput with a high brightness electron source are described. A plurality of pulsed constituent electron beams are generated. In some embodiments, generating the constituent electron beams comprises causing energy spread in individual beams. The plurality of pulsed constituent electron beams are combined into a combined electron inspection beam using a deflecting cavity. The combined electron inspection beam has a greater brightness than each of the individual constituent pulsed electron beams. In some embodiments, the combined electron inspection beam is passed through a curved path such as a chicane and then accelerated. In some embodiments, a spherical aberration associated with the electron inspection beam is corrected with a multipole corrected. A substrate may be inspected with the combined electron inspection beam. The greater brightness and/or other characteristics of the combined electron inspection beam enhances the inspection throughput. |
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14.07.2021
Verfahren zur Steuerung einer Lithographischen Vorrichtung
Optik & Fototechnik
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07.07.2021
Vorrichtung und Verfahren zur Steuerung eines Geladenen Teilchenstrahls
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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30.06.2021
Messverfahren
Optik & Fototechnik
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23.06.2021
Verfahren und Vorrichtung zur Konfiguration einer Linsenmodellanforderung
Optik & Fototechnik
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23.06.2021
Verfahren zur Bestimmung eines Messrezepts und Zugehörige Vorrichtungen
Optik & Fototechnik
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23.06.2021
Beleuchtungsquelle und Zugehörige Messvorrichtung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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23.06.2021
Digitales Holographisches Dunkelfeldmikroskop und Zugehöriges Messverfahren
Optik & Fototechnik
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23.06.2021
Optische Komponente auf Basis von Photonischen Hohlkernkristallfasern zur Breitbandigen Strahlungserzeugung
Optik & Fototechnik
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23.06.2021
Bestimmung Relativer Positionen Verschiedener Schichten in einer Struktur
Optik & Fototechnik
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23.06.2021
Systeme und Verfahren zur Abschwächung von Chromatischen Aberrationen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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16.06.2021
Vorrichtung für Mehrere Ladungsteilchenstrahlen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Wer vertritt ASML?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die ASML vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
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