ASML Patente
🇳🇱 Niederlande
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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5.380 gesamt| Patent | |||
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20.06.2024
Vacuum table and method for clamping warped substrates
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.11.2023
Anhängig
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20.06.2024
Pellicle membrane and method of manufacture
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 01.11.2023
Anhängig
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19.06.2024
Vorrichtung und Verfahren zum Elektrostatischen Klemmen eines Substrats
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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19.06.2024
Lithographischer Apparat und Zugehöriges Verfahren
Optik & Fototechnik
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19.06.2024
Modulare Anordnung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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19.06.2024
Spülsystem und Verfahren für eine Lithografische Vorrichtung
Optik & Fototechnik
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19.06.2024
System und Verfahren zur Thermischen Konditionierung eines Lithographischen Apparates
Optik & Fototechnik
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19.06.2024
Maskenfehlerdetektion
Optik & Fototechnik
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19.06.2024
Überlagerungsmessung unter Verwendung von Zielen mit Ausgeglichener Kapazität
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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13.06.2024
Vacuum chambers for cold field emission electron sources
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.11.2023
Anhängig
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13.06.2024
Controlled Droplet Generator Nozzle Environment To Improve Reliability
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 22.11.2023
Anhängig
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13.06.2024
Dispersion engineered beam modifier for a metrology system
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 14.11.2023
Anhängig
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13.06.2024
Determining a focus position for imaging a substrate with an integrated photonic sensor
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 14.11.2023
Anhängig
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13.06.2024
Systems and methods for sequential and parallel optical detection of alignment marks
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 09.11.2023
Anhängig
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13.06.2024
Improved reticle and reticle blank
Optik & Fototechnik
Elektrische Energietechnik
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Status
Angemeldet am 01.11.2023
Anhängig
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13.06.2024
Contamination Control
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 27.10.2023
Anhängig
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12.06.2024
Elektronenoptischer Stapel, Modul, Beurteilungsvorrichtung, Verfahren zur Herstellung eines Elektronenoptischen Stapels
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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12.06.2024
Verfahren zur Bestimmung der Entfernung zwischen Zwei Teilstrahlen bei einer Multi-Beamlet-Belichtungsvorrichtung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.11.2011
Erteilt am 12.06.2024
Vertretung
Corcoran, Gregory Martin Mason · Veldhoven
ASML Netherlands B.V · Veldhoven
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06.06.2024
Actuator array, particularly for substrate table and lithographic apparatus, and piezoelectric actuator control circuit arrangement
Optik & Fototechnik
Elektrische Energietechnik
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Status
Angemeldet am 23.11.2023
Anhängig
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06.06.2024
A fluid handling system, method and lithographic apparatus
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 21.11.2023
Anhängig
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06.06.2024
Determining a focus position based on a field image position shift
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 08.11.2023
Anhängig
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06.06.2024
Apparatus for and method of combined display of optical measurement information
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 03.11.2023
Anhängig
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06.06.2024
Method for labeling time series data relating to one or more machines
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 06.11.2023
Anhängig
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06.06.2024
Electrostatic clamp, gripper assembly including the clamp, lithographic system comprising an electrostatic clamp, and method of making an electrostatic clamp
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.11.2023
Anhängig
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05.06.2024
Ausrichtungsverfahren und Zugehörige Ausrichtungs- und Lithographische Vorrichtungen
Optik & Fototechnik
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Zusammenfassung
Disclosed is a method of correcting position measurement data for an effect of a scan offset, the method comprising: obtaining position measurement data relating to an obliquely scanned measurement along an oblique scan direction over one or more alignment marks, each said one or more alignment marks comprising one or more first direction sub-marks for measurement in a first direction and one or more second direction sub-marks for measurement in a second direction different from said first direction; determining a signal amplitude imbalance metric from said position measurement data, the signal amplitude imbalance metric comprising a ratio of a signal amplitude metric in the first direction to a signal amplitude metric in the second direction; and correcting said position measurement data using said signal amplitude imbalance metric. |
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05.06.2024
Elektrostatische Klemme, Greiferanordnung mit Dieser Klemme, Lithographisches System mit einer Elektrostatischen Klemme und Verfahren zur Herstellung einer Elektrostatischen Klemme
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Zusammenfassung
The disclosure provides an electrostatic clamp for clamping an object, comprising: an electrode layer; a first isolating layer comprising an electrically isolating flexible material arranged on top of the electrode layer, the first isolating layer having a first thickness; a first shielding layer comprising an electrically conductive material arranged on top of the first isolating layer, the first shielding layer having a first shielding thickness and a cut-out pattern for exposing the electrode layer covered with the first isolating layer; and a number of burls of at least 1 µm tall arranged on top of the first shielding layer at the location of the cut-out pattern. |
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30.05.2024
Curvilinear polygon recovery for opc mask design
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 25.10.2023
Anhängig
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30.05.2024
Method and source modul for generating broadband radiation
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 18.10.2023
Anhängig
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30.05.2024
Electron-optical element and method of assessing an electron-optical element
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.11.2023
Anhängig
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29.05.2024
Optische Vorrichtung mit Geladenen Teilchen, Beurteilungsvorrichtung, Verfahren zur Beurteilung einer Probe
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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29.05.2024
Photonische Integrierte Schaltung zur Erzeugung von Breitbandstrahlung
Optik & Fototechnik
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29.05.2024
Elektronenoptisches Element und Verfahren zur Beurteilung eines Elektronenoptischen Elements
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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29.05.2024
Datenverarbeitungsvorrichtung und -Verfahren, Beurteilungssystem für Geladene Teilchen und Verfahren
Software & Datenverarbeitung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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29.05.2024
Verfahren und System zur Beurteilung Geladener Teilchen
Software & Datenverarbeitung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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29.05.2024
Deformierbares Spiegelsystem
Optik & Fototechnik
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29.05.2024
Verfahren und Computerprogramme zur Datenabbildung für eine Datenanalyse mit Geringer Dimension
Optik & Fototechnik
Software & Datenverarbeitung
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23.05.2024
A droplet stream alignment mechanism and method thereof
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 07.11.2023
Anhängig
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23.05.2024
Object holder and manufacturing method
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.11.2023
Anhängig
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23.05.2024
Optical system for metrology
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 23.10.2023
Anhängig
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23.05.2024
Cleaning device and method for removing contamination particles from a surface to be cleaned
Verfahrens- & Trenntechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 08.11.2023
Anhängig
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Wer vertritt ASML?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die ASML vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
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