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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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5.380 gesamt
Patent
18.01.2023
Substratsklemmverfahren in einem Lithographiesystem
EP2662728
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.01.2023
Charged particle-optical device, charged particle apparatus and method
WO2023280552
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.01.2023
Electromagnetic motor system, postion control system, stage apparatus, lithographic apparatus, method of determining a motor-dependent commutation model for an electromagnetic motor
WO2023280690
Optik & Fototechnik
12.01.2023
Determining Localized Image Prediction Errors To Improve A Machine Learning Model in Predicting an Image
WO2023280511
Optik & Fototechnik
12.01.2023
Charged Particle Detector
WO2023280644
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.01.2023
Charged Particle Detector Assembly
WO2023280643
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.01.2023
Computer implemented method for diagnosing a system comprising a plurality of modules
WO2023280493
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
12.01.2023
Charged Particle Detector
WO2023280642
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.01.2023
Charged particle apparatus and method
WO2023280551
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.01.2023
Strahlanordnungsgeometrieoptimierer für Mehrstrahl-Inspektionssystem
EP4115438
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.01.2023
Verfahren zum Modellieren von Systemen für die Vorausschauende Wartung von Systemen, Wie Lithografischen Systemen
EP4115241
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
11.01.2023
Elektromagnetisches Motorsystem, Positionssteuerungssystem, Bühnenvorrichtung, Lithographische Vorrichtung, Verfahren zur Bestimmung eines Motorabhängigen Kommutierungsmodells für einen Elektromagnetischen Motor
EP4116772
Optik & Fototechnik
11.01.2023
Durchflussbegrenzungselement und dessen Verwendung
EP4116771
Optik & Fototechnik
11.01.2023
Optische Vorrichtung für Geladene Teilchen, Gerät und Verfahren für Geladene Teilchen
EP4117012
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.01.2023
Ladungsteilchenvorrichtung und -Verfahren
EP4117014
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.01.2023
Systeme und Verfahren zur Anpassung von Vorhersagemodellen zwischen Anlagenstandorten
EP3953765
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
11.01.2023
Computerimplementiertes Verfahren zur Diagnose eines Systems mit mehreren Modulen
EP4116888
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
11.01.2023
Detektor für Geladene Teilchen
EP4117017
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.01.2023
Vorrichtung Detektor und Verfahren für Geladene Teilchen
EP4117015
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.01.2023
Detektor für Geladene Teilchen
EP4117016
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.01.2023
A method of monitoring a measurement recipe and associated metrology methods and apparatuses
WO2023274687
Optik & Fototechnik
05.01.2023
Charged particle assessment system and method of aligning a sample in a charged particle assessment system
WO2023274652
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.01.2023
Verfahren zur Herstellung einer Membrananordnung und die Membrananordnung
EP3371655
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
04.01.2023
Interferometersystem und Lithographievorrichtung
EP4111132
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
04.01.2023
Entwurf von Elektrostatischen Linsen
EP4111483
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.01.2023
Systeme und Verfahren zur Prozessmetrikbewussten Prozesssteuerung
EP4111262
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
04.01.2023
Verfahren zur Überwachung eines Messrezepts und Zugehörige Messtechnische Verfahren und Vorrichtungen
EP4113210
Optik & Fototechnik
04.01.2023
Verfahren zur Herstellung von Photonischen Kristallfasern
EP4112572
Kunststoff- & Polymertechnik Anorganische Chemie & Werkstoffe
04.01.2023
System zur Bewertung Geladener Teilchen und Verfahren zur Ausrichtung einer Probe in einem System zur Bewertung Geladener Teilchen
EP4113570
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.12.2022
Training a machine learning model for determining burl issues
WO2022268433
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.12.2022
Apparatus and method for producing droplets of target material in an euv source
WO2022268468
Elektronik & Schaltungstechnik
29.12.2022
Systems, methods, and devices for thermal conditioning of reticles in lithographic apparatuses
WO2022268560
Optik & Fototechnik
29.12.2022
Imaging system
WO2022268679
Optik & Fototechnik
29.12.2022
Etch simulation model including a correlation between etch biases and curvatures of contours
WO2022268434
Optik & Fototechnik
29.12.2022
Holding device for holding a structural part and method for manufacturing the holding device
WO2022268655
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Optik & Fototechnik
28.12.2022
Inspektionsvorrichtung
EP4107773
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.12.2022
Flüssigkeitsübertragungssystem in einem Ladungsteilchensystem
EP4107772
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.12.2022
Werkzeug zum Testen einer Elektronen-Optischen Anordnung
EP4107770
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.12.2022
Bildgebungssystem
EP4109178
Optik & Fototechnik
28.12.2022
Ladungsteilcheninspektionswerkzeug, Inspektionsverfahren
EP4107774
Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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