ASML Patente
🇳🇱 Niederlande
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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5.380 gesamt| Patent | |||
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28.12.2022
Ladungsteilcheninspektionswerkzeug, Inspektionsverfahren
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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28.12.2022
Flüssigkeitsübertragungssystem in einem Ladungsteilchensystem
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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22.12.2022
Substrate holder and method
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.06.2022
Anhängig
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22.12.2022
Computer-readable medium for generating assist features using machine learning model
Optik & Fototechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 10.06.2022
Anhängig
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22.12.2022
Metrology method and device
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 07.06.2022
Anhängig
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22.12.2022
System and method for adjusting beam current using a feedback loop in charged particle systems
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.05.2022
Anhängig
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22.12.2022
Cooling hood for reticle
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 27.05.2022
Anhängig
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21.12.2022
Bestimmung der Leistung der Lithografischen Anpassung
Optik & Fototechnik
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21.12.2022
Kausales Faltungsnetzwerk für Prozesssteuerung
Optik & Fototechnik
Software & Datenverarbeitung
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21.12.2022
Substrathalter und Verfahren
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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21.12.2022
Prozessinspektionsverfahren in mehreren Schritten
Optik & Fototechnik
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21.12.2022
Optisches Element zur Erzeugung von Breitbandiger Strahlung
Anorganische Chemie & Werkstoffe
Optik & Fototechnik
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Zusammenfassung
In this document a monolithic optical element for generating broadband radiation upon receiving input radiation at an input end of the optical element is disclosed, the optical element comprising: a hollow core region for guiding the input radiation along a longitudinal axis of the optical element towards and output end of the optical element; a cladding region surrounding the core region along the longitudinal axis and comprising transversally arranged micro-structures configured to provide non-linear optical behaviour to the optical element causing the generation of the broadband radiation; and a supporting region surrounding the cladding region along the longitudinal axis of at least part of the optical element, characterized in that the supporting region has a transversal dimension which is sufficiently large to render said at least part of the optical element substantially rigid. |
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15.12.2022
Metrology systems, temporal and spatial coherence scrambler and methods thereof
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 09.05.2022
Anhängig
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15.12.2022
Determining rounded contours for lithography related patterns
Optik & Fototechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 27.05.2022
Anhängig
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15.12.2022
Target supply apparatus
Verfahrens- & Trenntechnik
Elektronik & Schaltungstechnik
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Angemeldet am 26.05.2022
Anhängig
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15.12.2022
Intensity Imbalance Calibration On an Overfilled Bidirectional Mark
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 24.05.2022
Anhängig
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15.12.2022
Inspection system for reticle particle detection using a structural illumination with aperture apodization
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 24.05.2022
Anhängig
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15.12.2022
A seed laser optical isolator, seed isolator module, euv radiation source, lithographic apparatus and optical isolator operating method
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 16.05.2022
Anhängig
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15.12.2022
Integrated Optical Alignment Sensors
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 09.05.2022
Anhängig
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15.12.2022
Method and arrangement for determining thermally-induced deformations
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 21.04.2022
Anhängig
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14.12.2022
Verfahren zur Steuerung eines Lithographischen Systems
Optik & Fototechnik
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14.12.2022
Ladungsteilchenvorrichtung und -Verfahren
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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14.12.2022
Optischer Isolator, Seed-Isolatormodul, Euv-Strahlungsquelle und Lithographiesystem
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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14.12.2022
Temperierungssystem, Lithografische Vorrichtung und Verfahren zum Temperieren eines Objekts
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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14.12.2022
Verfahren zur Kompensation eines Elektrodenverzerrungseffekts, Bewertungssystem
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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14.12.2022
Manipulatorvorrichtung für Ladepartikel
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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08.12.2022
Metrology measurement method and apparatus
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 09.05.2022
Anhängig
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08.12.2022
Metrology method and associated metrology tool
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 02.05.2022
Anhängig
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01.12.2022
Manipulation Of Carrier Transport Behavior in Detector
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.05.2022
Anhängig
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01.12.2022
Determining mask rule check violations and mask design
Optik & Fototechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 10.05.2022
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01.12.2022
Charged particle device and method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.04.2022
Anhängig
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30.11.2022
Auswertungstool für Steuerungsstrategie eines Halbleiterherstellungsprozesses und dessen Benutzeroberfläche
Steuerungs- & Regelungstechnik
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Status
Angemeldet am 21.10.2019
Erteilt am 30.11.2022
Vertretung
Peters, John Antoine · Veldhoven
ASML Netherlands B.V · Veldhoven
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30.11.2022
Lithografisches System mit einer Ablenkvorrichtung zum Ändern einer Flugbahn von Teilchenförmigem Schutt
Optik & Fototechnik
Elektronik & Schaltungstechnik
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30.11.2022
Ladungsteilchenvorrichtung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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30.11.2022
Beugungsgitter für Messungen in Euv-Belichtungsapparaten
Optik & Fototechnik
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30.11.2022
Hybride Photoresistzusammensetzung für Extrem Ultraviolette Photolithografieanwendungen
Optik & Fototechnik
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24.11.2022
Metrology system for extreme ultraviolet light source
Optik & Fototechnik
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 28.04.2022
Anhängig
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24.11.2022
Modular wafer table and methods of manufacturing thereof
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.04.2022
Anhängig
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23.11.2022
Datenverarbeitungsvorrichtung und -Verfahren, System und Verfahren zur Bewertung Geladener Teilchen
Software & Datenverarbeitung
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23.11.2022
Saugklemme, Objekthandhabungsvorrichtung, Bühnenvorrichtung und Lithographische Vorrichtung
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Optik & Fototechnik
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Die Kanzleien und Patentanwälte, die ASML vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
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