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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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3.336 gesamt
Patent
16.05.2018
Verfahren zur Bestimmung eines Optimierten Sets von Messstellen zur Messung eines Parameters eines Lithographischen Verfahren, Metrologiesystem
EP3321737
Optik & Fototechnik
16.05.2018
Beleuchtungsquelle für eine Inspektionsvorrichtung, Inspektionsvorrichtung und Inspektionsverfahren
EP3321739
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
16.05.2018
Bestimmung einer Optimalen Betriebsparametereinstellung eines Metrologiesystems
EP3321740
Optik & Fototechnik
11.05.2018
Height sensor, lithographic apparatus and method for manufacturing devices
WO2018082892
Optik & Fototechnik
11.05.2018
Method and apparatus for measuring a parameter of a lithographic process, computer program products for implementing such methods&apparatus
WO2018082955
Optik & Fototechnik
11.05.2018
Euv lpp source with dose control and laser stabilization using variable width laser pulses
WO2018085071
Elektronik & Schaltungstechnik
09.05.2018
Verfahren und Vorrichtung zur Messung eines Parameters eines Lithogrphischen Verfahren, Computerprogrammprodukte zur Implementierung Solcher Verfahren und Vorrichtungen
EP3318927
Optik & Fototechnik
03.05.2018
A measurement substrate, a measurement method and a measurement system
WO2018077517
Optik & Fototechnik
03.05.2018
Lithographic apparatus and method
WO2018077587
Optik & Fototechnik
03.05.2018
A method for optimization of a lithographic process
WO2018077651
Optik & Fototechnik
03.05.2018
Method for optimizing a patterning device pattern
WO2018077787
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
03.05.2018
System and method for determining and calibrating a position of a stage
WO2018077873
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.05.2018
Vorrichtung zur Reinigung eines Gegenstands
EP3129833
Optik & Fototechnik
26.04.2018
A processing apparatus and a method for correcting a parameter variation across a substrate
WO2018072961
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.04.2018
Methods&apparatus For Controlling an Industrial Process
WO2018072962
Steuerungs- & Regelungstechnik
26.04.2018
A vent valve system
WO2018073192
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.04.2018
Verfahren zur Bestimmung der Korrekturen für ein Strukturierungsverfahren, Vorrichtungsherstellungsverfahren, Steuerungssystem für Lithografievorrichtung und Lithografievorrichtung
EP3312672
Optik & Fototechnik
25.04.2018
Verfahren und Vorrichtung zur Steuerung eines Industriellen Prozesses
EP3312693
Steuerungs- & Regelungstechnik
19.04.2018
Selecting a set of locations associated with a measurement or feature on a substrate
WO2018069015
Optik & Fototechnik
19.04.2018
Method of inspecting a substrate, metrology apparatus, and lithographic system
WO2018069052
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
18.04.2018
Auswählen eines Satzes von Standorten, die einer Messung oder Funktion auf einem Substrat Zugeordnet Sind
EP3309617
Optik & Fototechnik
18.04.2018
Verfahren für die Prüfung von einem Substrat, Metrologievorrichtung und Lithografisches System
EP3309616
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
12.04.2018
Athermalization of an alignment system
WO2018065157
Optik & Fototechnik
12.04.2018
A method of determining a height profile, a measurement system and a computer readable medium
WO2018065167
Optik & Fototechnik
12.04.2018
Electron beam transport system
WO2018065195
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Elektronik & Schaltungstechnik
12.04.2018
Lithographic apparatus and method
WO2018065222
Optik & Fototechnik
11.04.2018
Magnetisierungswerkzeug
EP2999996
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.04.2018
Metrology Recipe Selection
WO2018059824
Optik & Fototechnik
05.04.2018
A substrate, a substrate holder, a substrate coating apparatus, a method for coating the substrate and a method for removing the coating
WO2018059836
Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
29.03.2018
A lithography apparatus and a method of manufacturing a device
WO2018054658
Optik & Fototechnik
29.03.2018
Wavelength-Based Optical Filtering
WO2018057399
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
28.03.2018
Substrat, Substrathalter, Substratbeschichtungsvorrichtung, Verfahren zur Beschichtung des Substrats und Verfahren zur Beseitigung der Beschichtung
EP3299889
Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik
28.03.2018
Metrologierezeptauswahl
EP3299890
Optik & Fototechnik
22.03.2018
Illumination source for an inspection apparatus, inspection apparatus and inspection method
WO2018050350
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
22.03.2018
Positioning system and lithographic apparatus
WO2018050443
Optik & Fototechnik
22.03.2018
Optimization of a lithography apparatus or patterning process based on selected aberration
WO2018050432
Optik & Fototechnik
22.03.2018
Determining Moving Properties Of A Target in an Extreme Ultraviolet Light Source
WO2018052799
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
22.03.2018
Target Trajectory Metrology in an Extreme Ultraviolet Light Source
WO2018052909
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
21.03.2018
Beleuchtungsquelle für eine Inspektionsvorrichtung, Inspektionsvorrichtung und Inspektionsverfahren
EP3296723
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
15.03.2018
Metrology method, apparatus and computer program
WO2018046227
Optik & Fototechnik

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33
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