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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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5.380 gesamt
Patent
09.02.2022
Verfahren zur Bestimmung der Abweichung eines Herstellungsverfahrens, Kalibrierungsverfahren, Prüfwerkzeug, Herstellungssystem und Muster
EP3951500
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
09.02.2022
Vorrichtung und Verfahren zur Auswahl von Informationsmustern zum Trainieren von Maschinenlernmodellen
EP3951496
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
09.02.2022
Steuerung der Konversionseffizienz in einer Extremen Ultraviolettlichtquelle
EP3949692
Elektronik & Schaltungstechnik
09.02.2022
Laserfokussierungsmodul
EP3949691
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
09.02.2022
Verfahren zur Bestimmung eines Satzes an Metrologiepunkten auf einem Substrat, Zugehörige Vorrichtung und Computerprogramm
EP3948422
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
09.02.2022
Mehrstrahliges Inspektionsgerät mit Einstrahligem Modus
EP3948922
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.02.2022
System und Verfahren zur Ausrichtung von Sekundärstrahlen in einer Mehrstrahl-Inspektionsvorrichtung
EP3948920
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.02.2022
Lithografische Vorrichtung und Zugehörige Verfahren
EP3948421
Optik & Fototechnik
09.02.2022
Blendenanordnung mit Integrierter Strommessung
EP3948921
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.02.2022
Glasfaser
EP3948373
Anorganische Chemie & Werkstoffe Optik & Fototechnik
03.02.2022
Methods and patterning devices and apparatuses for measuring focus performance of a lithographic apparatus, device manufacturing method
WO2022022949
Optik & Fototechnik
03.02.2022
Lithographic apparatus and methods for multi-exposure of a substrate
WO2022023106
Optik & Fototechnik
03.02.2022
Euv Light Source Target Metrology
WO2022023201
Elektronik & Schaltungstechnik
03.02.2022
Systems and methods for signal electron detection in an inspection apparatus
WO2022023232
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.02.2022
Systems and methods for pulsed voltage contrast detection and capture of charging dynamics
WO2022023304
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.02.2022
Double-scanning opto-mechanical configurations to improve throughput of particle inspection systems
WO2022023129
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
02.02.2022
Verfahren zum Klassifizieren von Halbleiterwafern
EP3945548
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
02.02.2022
Verfahren zur Steuerung eines Herstellungsverfahrens und Zugehörige Vorrichtungen
EP3945367
Optik & Fototechnik
27.01.2022
Method for controlling a manufacturing process and associated apparatuses
WO2022017705
Optik & Fototechnik
27.01.2022
Robust fluid coupling apparatus
WO2022017866
Maschinenelemente & Fluidtechnik Elektronik & Schaltungstechnik
27.01.2022
An illumination source and associated metrology apparatus
WO2022017687
Elektronik & Schaltungstechnik
27.01.2022
Systems, methods, and devices for thermal conditioning of reticles in lithographic apparatuses
WO2022017741
Optik & Fototechnik
26.01.2022
Verfahren zur Anpassung eines Strukturierungsverfahrens
EP3944020
Optik & Fototechnik
20.01.2022
A fluid handling system, method and lithographic apparatus
WO2022012830
Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik
20.01.2022
Spectrometric metrology systems based on multimode interference and lithographic apparatus
WO2022012927
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
19.01.2022
Zielmaterialsteuerung in einer Euv-Lichtquelle
EP3939391
Elektronik & Schaltungstechnik
19.01.2022
Emitter zum Emittieren Geladener Teilchen
EP3940740
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.01.2022
Method for adjusting a patterning process
WO2022008174
Optik & Fototechnik
13.01.2022
Systems and methods for laser-to-droplet alignment
WO2022008145
Elektronik & Schaltungstechnik
13.01.2022
Illumination apparatus and associated metrology and lithographic apparatuses
WO2022008160
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
13.01.2022
Motion Control Using an Artificial Neural Network
WO2022008198
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
13.01.2022
Hollow-core fiber based broadband radiation generator with extended fiber lifetime
WO2022008164
Optik & Fototechnik
13.01.2022
Metrology method and apparatus and computer program
WO2022008135
Optik & Fototechnik
13.01.2022
System and method for conditioning optical apparatuses
WO2022008137
Optik & Fototechnik
12.01.2022
Auf Photonischer Hohlkernkristallfaser Basierender Breitbandstrahlungsgenerator mit Verlängerter Faserlebensdauer
EP3936936
Optik & Fototechnik
12.01.2022
Ladungsteilchenmehrstrahlsäule, Ladungsteilchenmehrstrahlsäulenanordnung, Inspektionsverfahren
EP3937205
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.01.2022
Inspektionsvorrichtung
EP3937204
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.01.2022
Process window based on failure rate
WO2022002599
Optik & Fototechnik
06.01.2022
Precise vacuum window viewports and pellicles for rapid metrology recovery
WO2022002560
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
06.01.2022
Apparatus for and method of accelerating droplets in a droplet generator for an euv source
WO2022002662
Elektronik & Schaltungstechnik

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Technologiefelder

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Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Elektronik & Schaltungstechnik
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Software & Datenverarbeitung
277
Elektrische Energietechnik
171
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92
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67
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60
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55
Anorganische Chemie & Werkstoffe
39
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35

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