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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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3.336 gesamt
Patent
15.12.2016
Lithographic apparatus and method for loading a substrate
WO2016198255
Optik & Fototechnik
15.12.2016
Inspection apparatus, inspection method, lithographic apparatus, patterning device and manufacturing method
WO2016198283
Optik & Fototechnik
08.12.2016
Lithographic apparatus, device manufacturing method and method of clamping an object
WO2016192785
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.12.2016
Alignment system
WO2016192865
Optik & Fototechnik
08.12.2016
Simulation of lithography using multiple-sampling of angular distribution of source radiation
WO2016192964
Optik & Fototechnik
08.12.2016
Filter, method of formation thereof, and image sensor
WO2016192917
Optik & Fototechnik
07.12.2016
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP2539770
Optik & Fototechnik
24.11.2016
Coloring Aware Optimization
WO2016184664
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
10.11.2016
Lithographic apparatus
WO2016177511
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Optik & Fototechnik
10.11.2016
Radiation source, lithographic apparatus and device manufacturing method
WO2016177519
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
10.11.2016
Metrology method and apparatus, computer program and lithographic system
WO2016177548
Optik & Fototechnik
10.11.2016
Method and apparatus for inspection and metrology
WO2016177568
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
09.11.2016
Extremultraviolette Lichtquellenvorrichtung
EP3090607
Elektronik & Schaltungstechnik
03.11.2016
Support apparatus, lithographic apparatus and device manufacturing method
WO2016173779
Optik & Fototechnik
27.10.2016
Lithographic apparatus and method in a lithographic process
WO2016169692
Optik & Fototechnik
27.10.2016
Lithographic apparatus and lithographic projection method
WO2016169727
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
27.10.2016
Lithographic apparatus
WO2016169758
Optik & Fototechnik
27.10.2016
Metrology method and apparatus, computer program and lithographic system
WO2016169901
Optik & Fototechnik
27.10.2016
Lithographic method and apparatus
WO2016169890
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
27.10.2016
Beam Position Sensor
WO2016171964
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Elektronik & Schaltungstechnik
20.10.2016
Lithographic apparatus
WO2016165881
Optik & Fototechnik
13.10.2016
Patterning devices for use within a lithographic apparatus, methods of making and using such patterning devices
WO2016162157
Optik & Fototechnik
13.10.2016
Method and apparatus for inspection and metrology
WO2016162231
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.10.2016
Method and apparatus for inspection and metrology
WO2016162228
Optik & Fototechnik
06.10.2016
Lithographic Apparatus and Method
WO2016155935
Optik & Fototechnik
06.10.2016
Reflective Optical Element
WO2016155979
Optik & Fototechnik
06.10.2016
Inspection apparatus for measuring properties of a target structure
WO2016156360
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
29.09.2016
Radiation Beam Expander
WO2016150612
Optik & Fototechnik
29.09.2016
A lithography apparatus and a method of manufacturing a device
WO2016150622
Optik & Fototechnik
29.09.2016
Lithographic apparatus, and device manufacturing method
WO2016150631
Optik & Fototechnik
29.09.2016
Metrology methods, metrology apparatus and device manufacturing method
WO2016150957
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
22.09.2016
Lithographic method and lithographic apparatus
WO2016146217
Optik & Fototechnik
22.09.2016
A radiation system and method
WO2016146400
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
21.09.2016
Elektronenoptik mit mehreren Elektroden
EP3069369
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.09.2016
Focus-dose co-optimization based on overlapping process window
WO2016142169
Optik & Fototechnik
15.09.2016
Method and apparatus for inspection and metrology
WO2016142214
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
09.09.2016
Radioisotope Production
WO2016139008
Elektrische Energietechnik
09.09.2016
Lithographic apparatus and device manufacturing method
WO2016139012
Optik & Fototechnik
09.09.2016
Radiation sensor apparatus
WO2016139022
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
09.09.2016
Radiation system
WO2016139055
Optik & Fototechnik

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34
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33
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20

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