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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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5.380 gesamt
Patent
17.03.2022
Verfahren und Vorrichtung zur Bearbeitung einer Wafer-Haltevorrichtung für eine Wafer-Lithographie
WO2022053327
Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik
16.03.2022
System und Verfahren zur Verzögerungszeitmessung
EP3968035
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
16.03.2022
Vorrichtung mit einer Elektrostatischen Klemme und Verfahren
EP3966634
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.03.2022
Strahlungsquellenanordnung und Metrologiegerät
EP3968090
Optik & Fototechnik
10.03.2022
Radiation source arrangement and metrology device
WO2022048843
Optik & Fototechnik
10.03.2022
Hollow-core photonic crystal fiber based broadband radiation generator
WO2022048847
Optik & Fototechnik
10.03.2022
Wavefront metrology sensor and mask therefor, method for optimizing a mask and associated apparatuses
WO2022048899
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
10.03.2022
Charged particle system, aperture array, charged particle tool and method of operating a charged particle system
WO2022048897
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.03.2022
Multi-Beam Charged Particle Column
WO2022048896
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.03.2022
Wellenfrontmetrologiesensor und Maske Dafür, Verfahren zur Optimierung einer Maske und Zugehörige Vorrichtungen
EP3964809
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
09.03.2022
Objektpositionierer, Verfahren zur Korrektur der Form eines Objekts, Lithografisches Gerät, Vorrichtung zur Objektinspektion, Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP3963403
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.03.2022
Mustererzeugungsvorrichtung
EP3963401
Optik & Fototechnik
09.03.2022
Beleuchtungsanordnung und Zugehöriges Digitales Holographisches Dunkelfeld-Mikroskop
EP3964892
Optik & Fototechnik
03.03.2022
Mapping Metrics Between Manufacturing Systems
WO2022042972
Optik & Fototechnik
03.03.2022
Multiscale physical etch modeling and methods thereof
WO2022043408
Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.03.2022
Readout circuit for pixelized electron detector
WO2022043286
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
03.03.2022
Lithographic apparatus, metrology system, and intensity imbalance measurement for error correction
WO2022042966
Optik & Fototechnik
02.03.2022
Verfahren und Vorrichtung zur Konzeptdriftminderung
EP3961518
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
02.03.2022
Substrathalter, Lithografische Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung von Vorrichtungen
EP3317726
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.03.2022
Abbildung von Metriken zwischen Fertigungssystemen
EP3961304
Optik & Fototechnik
02.03.2022
Beleuchtungsquelle und Zugehörige Messvorrichtung
EP3962241
Elektronik & Schaltungstechnik
02.03.2022
Lithografiesystem und Verfahren zur Verarbeitung eines Ziels, Wie Etwa eines Wafers
EP2823361
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.03.2022
Multiskalen Physikalische Ätzmodellierung und Verfahren dafür
EP3961473
Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.03.2022
Verfahren und Vorrichtung zur Identifizierung von Kontaminationen in einem Halbleiterwerk
EP3961303
Optik & Fototechnik
02.03.2022
Ausleseschaltung für einen Detektor für Pixelierte Elektronen
EP3961268
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
24.02.2022
Charged-particle inspection apparatus
WO2022038080
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.02.2022
Apparatus and method for selecting high quality images from raw images automatically
WO2022037875
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
24.02.2022
Metrology method for measuring an exposed pattern and associated metrology apparatus
WO2022037877
Optik & Fototechnik
23.02.2022
Bildsensor für Immersionslithographie
EP3956728
Optik & Fototechnik
23.02.2022
Metrologieverfahren zur Messung eines Belichteten Musters und Zugehörige Metrologievorrichtung
EP3958052
Optik & Fototechnik
23.02.2022
Kontaminationsfalle
EP3957136
Elektronik & Schaltungstechnik
17.02.2022
Actuator arrangement and electron-optical column
WO2022033941
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.02.2022
Mems-Bildformungselement mit Eingebautem Spannungsgenerator
EP3953959
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.02.2022
Für Teilchenstrahlvorrichtung Geeignete Stufenvorrichtung
EP3953960
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.02.2022
Pellikel und Pellikelanordnung
EP3391139
Optik & Fototechnik
16.02.2022
Verfahren zur Herstellung einer Membrananordnung für Euv-Lithographie, Membrananordnung, Lithographievorrichtung und Vorrichtungsherstellungsverfahren
EP3391151
Optik & Fototechnik
10.02.2022
Method and apparatus for concept drift mitigation
WO2022028805
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
10.02.2022
A fabrication process deviation determination method, calibration method, inspection tool, fabrication system and a sample
WO2022028778
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
10.02.2022
Apparatus and method for selecting informative patterns for training machine learning models
WO2022028997
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
10.02.2022
Optical system and method of operating an optical system
WO2022028710
Optik & Fototechnik

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Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Elektrische Energietechnik
171
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92
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67
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60
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55
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39
Metallurgie & Oberflächentechnik
35

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