KLA Corporation Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
24
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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1.908 gesamt| Patent | |||
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02.07.2015
Defect discovery and inspection sensitivity optimization using automated classification of corresponding electron beam images
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.12.2014
Anhängig
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25.06.2015
Sub 200NM Laser Pumped Homonuclear Excimer Lasers
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 16.12.2014
Anhängig
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25.06.2015
Position sensitive substrate device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 16.12.2014
Anhängig
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25.06.2015
A method for measuring positions of structures on a mask and thereby determining mask manufacturing errors
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.12.2014
Anhängig
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25.06.2015
Context-based inspection for dark field inspection
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.12.2014
Anhängig
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24.06.2015
Automatisierte Erzeugung eines Prüfungsszenariums
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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18.06.2015
Target and process sensitivity analysis to requirements
Software & Datenverarbeitung
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Angemeldet am 10.12.2014
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18.06.2015
Plasma cell with floating flange
Elektronik & Schaltungstechnik
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Angemeldet am 12.12.2014
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11.06.2015
Stage apparatus for semiconductor inspection and lithography systems
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.12.2014
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10.06.2015
Prüfung eines Wafers Und/oder Vorhersage einer oder mehrerer Eigenschaften einer auf einem Wafer Geformten Vorrichtung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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04.06.2015
Asymmetric electrostatic quadrupole deflector for improved field uniformity
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.11.2014
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04.06.2015
Target element types for process parameter metrology
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Angemeldet am 10.11.2014
Anhängig
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04.06.2015
Alignment sensor and height sensor
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 11.09.2014
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04.06.2015
Pick-and-place head and method for picking workpieces
Verpackungs- & Fördertechnik
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
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Status
Angemeldet am 10.11.2014
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03.06.2015
Technik zur Steuerung der Fehlausrichtung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 09.04.2002
Erteilt am 03.06.2015
Vertretung
Luckhurst, Anthony Henry William · London
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21.05.2015
Motion and focus blur removal from pattern images
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 13.11.2014
Anhängig
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21.05.2015
Metrology imaging targets having reflection-symmetric pairs of reflection-asymmetric structures
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 29.09.2014
Anhängig
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14.05.2015
Metrology Optimized Inspection
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.11.2014
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07.05.2015
Detecting Ic Reliability Defects
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.10.2014
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07.05.2015
Methods and apparatus for measuring semiconductor device overlay using x-ray metrology
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 28.10.2014
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07.05.2015
Determining information for defects on wafers
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 31.10.2014
Anhängig
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07.05.2015
Method and system for correlating optical images with scanning electron microscopy images
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.11.2014
Anhängig
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07.05.2015
Wafer grounding using localized plasma source
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.11.2014
Anhängig
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07.05.2015
Improved light collection optics for measuring flux and spectrum from light-emitting devices
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 31.10.2014
Anhängig
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07.05.2015
Decision tree construction for automatic classification of defects on semiconductor wafers
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.11.2014
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06.05.2015
Nahfeld-Metrologie
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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06.05.2015
Detektion von in Rauschen Eingebetteten Defekten zur Inspektion in der Halbleiterfertigung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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30.04.2015
Small-angle scattering x-ray metrology systems and methods
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.10.2014
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29.04.2015
Abtastung in Winkelaufgelöster Reflektometrie und Algorithmische Diffraktionsentfernung aus einer Optischen Messtechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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23.04.2015
Method and apparatus for non-contact measurement of sheet resistance and shunt resistance of p-n junctions
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Angemeldet am 17.10.2014
Anhängig
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23.04.2015
Bias-Variant Photomultiiplier Tube
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 20.10.2014
Anhängig
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15.04.2015
Lineare Stufen- und Metrologiearchitektur zur Reflektierenden Elektronenstrahllithografie
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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02.04.2015
Enhanced Defect Detection in Electron Beam Inspection And Review
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.09.2014
Anhängig
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01.04.2015
Festkörperlaser und Überprüfungssystem mit 193NM-Laser
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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26.03.2015
Notched Magnetic Lens For Improved Sample Access in an Sem
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.09.2014
Anhängig
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25.03.2015
Verfahren und Vorrichtung zur Verwendung einer Substratgeometrie zur Bestimmung einer Probenahme für Substratanalyse
Optik & Fototechnik
Steuerungs- & Regelungstechnik
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25.03.2015
Substratüberprüfung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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19.03.2015
Method and apparatus for non-contact measurement of internal quantum efficiency in light emitting diode structures
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 13.09.2014
Anhängig
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19.03.2015
Low Noise, High Stability, Deep Ultra-Violet, Continuous Wave Laser
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.09.2014
Anhängig
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18.03.2015
Visuelle Rückmeldung für Inspektionsalgorithmen und Filter
Software & Datenverarbeitung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Wer vertritt KLA Corporation?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die KLA Corporation vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
1.175
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
824
Optik & Fototechnik
468
Software & Datenverarbeitung
295
Elektronik & Schaltungstechnik
47
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
23
Steuerungs- & Regelungstechnik
20
Metallurgie & Oberflächentechnik
19
Verfahrens- & Trenntechnik
15
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
14
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
10
Maschinenelemente & Fluidtechnik
7