Lam Research Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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2.725 gesamt| Patent | |||
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23.10.2024
Hexapod-Basierte Sockelsysteme zur Verwendung in Halbleiterverarbeitungsoperationen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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17.10.2024
Blended deposition and etch process for improved gapfill
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.04.2024
Anhängig
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17.10.2024
Selectively depositing silicon oxide on a dielectric surface of a substrate
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 08.04.2024
Anhängig
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17.10.2024
Bow compensation of semiconductor substrate using plasma jet
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.03.2024
Anhängig
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17.10.2024
Flash-enhanced atomic layer deposition and chemical vapor deposition of metals
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 02.04.2024
Anhängig
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17.10.2024
Patterned print heads and resistive anodes for electrodeposition thickness distribution control
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
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Status
Angemeldet am 04.04.2024
Anhängig
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17.10.2024
Encapsulated Metal Pedestal
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.04.2024
Anhängig
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10.10.2024
Performing atomic layer etching using a silane-based chemistry
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.04.2024
Anhängig
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10.10.2024
Pedestal Assembly
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.03.2024
Anhängig
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10.10.2024
Process diagnosis and design using multivariate model
Metallurgie & Oberflächentechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 29.03.2024
Anhängig
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09.10.2024
Kantenring mit Breitem Deckel für Verbesserte Abschirmung in Substratverarbeitungssystemen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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09.10.2024
Direktaufnahmeroboter für Mehrstationen-Halbleiterverarbeitungskammern
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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09.10.2024
Verfahren zum Plasmaätzen einer Schicht auf Basis eines Iii-N-Materials
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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03.10.2024
Temperature-controlled pedestal for semiconductor wafer processing
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.03.2024
Anhängig
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03.10.2024
Fixture for flushing contaminants from pedestals
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.03.2024
Anhängig
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03.10.2024
Systems and methods for controlling a supply of multiple gases to a plasma chamber
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.03.2024
Anhängig
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03.10.2024
Selectively depositing a metal oxide on a dielectric surface of a substrate
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.03.2024
Anhängig
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03.10.2024
Dielectric etch using carbon based liner
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 26.03.2024
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26.09.2024
Pulse ald sequence for low fluorine nucleation layer deposition
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.03.2024
Anhängig
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26.09.2024
Multi-Step Thermal Chamber Clean
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.03.2024
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26.09.2024
Sequence for tungsten nitride deposition
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 15.03.2024
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26.09.2024
Chamber cleaning for substrate processing systems
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.03.2024
Anhängig
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19.09.2024
Endpoint detection using spectral or temporal pattern matching
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.03.2024
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19.09.2024
Connector for precursor delivery
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.03.2024
Anhängig
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19.09.2024
Flow-Over-Vapor Ampoule
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.02.2024
Anhängig
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19.09.2024
WO2024191625
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.03.2024
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12.09.2024
Atomic layer deposition of metal oxides using metal halide precursors
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 25.01.2024
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12.09.2024
Showerhead cold plates and substrate supports with spiral-shaped channels and circular manifolds
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.03.2024
Anhängig
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12.09.2024
Machine Vision-Based Showerhead Inspection
Metallurgie & Oberflächentechnik
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 29.02.2024
Anhängig
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12.09.2024
Arc-resistant electrostatic chucks and arc-reducing plugs for electrostatic chucks
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.02.2024
Anhängig
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11.09.2024
Drehgeber mit Zusätzlichen Drehachsen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.01.2019
Erteilt am 11.09.2024
Vertretung
Kontrus, Gerhard · Villach
Mewburn Ellis LLP · München
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06.09.2024
Flow-Over-Vapor Precursor Delivery
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 26.02.2024
Anhängig
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06.09.2024
Systems and methods for tuning a frequency of an rf amplifier
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.02.2024
Anhängig
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29.08.2024
Method for etching features in a stack
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.02.2024
Anhängig
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29.08.2024
Thermally Controlled Chamber Disconnect
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.02.2024
Anhängig
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29.08.2024
Semiconductor processing chamber component with a metal body and laser glazed ceramic coating
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.01.2024
Anhängig
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28.08.2024
Vorrichtungen zur Reinigung einer Mehrstations-Halbleiterverarbeitungskammer
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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22.08.2024
Pedestal and showerhead for substrate processing
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.02.2024
Anhängig
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21.08.2024
Vorrichtungen und Systeme zur Ammoniak/chlor-Chemie-Halbleiterverarbeitung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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15.08.2024
Biaxial optical sensor system
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.02.2024
Anhängig
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Wer vertritt Lam Research?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Lam Research vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
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