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Lam Research Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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2.725 gesamt
Patent
23.10.2024
Hexapod-Basierte Sockelsysteme zur Verwendung in Halbleiterverarbeitungsoperationen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.10.2024
Blended deposition and etch process for improved gapfill
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.10.2024
Selectively depositing silicon oxide on a dielectric surface of a substrate
Metallurgie & Oberflächentechnik
17.10.2024
Bow compensation of semiconductor substrate using plasma jet
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.10.2024
Flash-enhanced atomic layer deposition and chemical vapor deposition of metals
Metallurgie & Oberflächentechnik
17.10.2024
Patterned print heads and resistive anodes for electrodeposition thickness distribution control
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
17.10.2024
Encapsulated Metal Pedestal
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.10.2024
Performing atomic layer etching using a silane-based chemistry
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.10.2024
Pedestal Assembly
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.10.2024
Process diagnosis and design using multivariate model
Metallurgie & Oberflächentechnik Software & Datenverarbeitung
09.10.2024
Kantenring mit Breitem Deckel für Verbesserte Abschirmung in Substratverarbeitungssystemen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.10.2024
Direktaufnahmeroboter für Mehrstationen-Halbleiterverarbeitungskammern
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.10.2024
Verfahren zum Plasmaätzen einer Schicht auf Basis eines Iii-N-Materials
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.10.2024
Temperature-controlled pedestal for semiconductor wafer processing
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.10.2024
Fixture for flushing contaminants from pedestals
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.10.2024
Systems and methods for controlling a supply of multiple gases to a plasma chamber
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.10.2024
Selectively depositing a metal oxide on a dielectric surface of a substrate
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.10.2024
Dielectric etch using carbon based liner
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.09.2024
Pulse ald sequence for low fluorine nucleation layer deposition
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.09.2024
Multi-Step Thermal Chamber Clean
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.09.2024
Sequence for tungsten nitride deposition
Metallurgie & Oberflächentechnik
26.09.2024
Chamber cleaning for substrate processing systems
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.09.2024
Endpoint detection using spectral or temporal pattern matching
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.09.2024
Connector for precursor delivery
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.09.2024
Flow-Over-Vapor Ampoule
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.09.2024
WO2024191625
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.09.2024
Atomic layer deposition of metal oxides using metal halide precursors
Metallurgie & Oberflächentechnik
12.09.2024
Showerhead cold plates and substrate supports with spiral-shaped channels and circular manifolds
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.09.2024
Machine Vision-Based Showerhead Inspection
Metallurgie & Oberflächentechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
12.09.2024
Arc-resistant electrostatic chucks and arc-reducing plugs for electrostatic chucks
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.09.2024
Drehgeber mit Zusätzlichen Drehachsen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.09.2024
Flow-Over-Vapor Precursor Delivery
Metallurgie & Oberflächentechnik
06.09.2024
Systems and methods for tuning a frequency of an rf amplifier
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.08.2024
Method for etching features in a stack
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.08.2024
Thermally Controlled Chamber Disconnect
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.08.2024
Semiconductor processing chamber component with a metal body and laser glazed ceramic coating
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.08.2024
Vorrichtungen zur Reinigung einer Mehrstations-Halbleiterverarbeitungskammer
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.08.2024
Pedestal and showerhead for substrate processing
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.08.2024
Vorrichtungen und Systeme zur Ammoniak/chlor-Chemie-Halbleiterverarbeitung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.08.2024
Biaxial optical sensor system
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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