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Lam Research Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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2.725 gesamt
Patent
27.10.2022
Minimizing Tin Oxide Chamber Clean Time
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.10.2022
Backside Deposition Prevention On Substrates
Metallurgie & Oberflächentechnik
27.10.2022
Shadow ring alignment for substrate support
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.10.2022
Integrierte Trockenverfahren zur Strukturierung von Fotolackmustern mittels Strahlung
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.10.2022
Integration of fully aligned via through selective deposition and resistivity reduction
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.10.2022
Control Of Dissolved Gas Concentration in Electroplating Baths
Metallurgie & Oberflächentechnik
20.10.2022
Deposition of molybdenum
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.10.2022
Control Of Semiconductor Manufacturing Equipment in Mixed Reality Environments
Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.10.2022
Systems and methods for controlling a plasma sheath characteristic
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.10.2022
In-Situ Film Annealing in Substrate Processing
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.09.2022
Additive manufacturing of thermal and rf elements
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.09.2022
Conductive Cooling Of A Low Temperature Pedestal Operating in A High Temperature Deposition Sequence
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.09.2022
Selective etching and deposition of memory layers to provide capacitor-to-active silicon electrical coupling
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.09.2022
Etching of indium gallium zinc oxide
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.09.2022
Reducing Line Bending During Metal Fill Process
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.09.2022
Tripolar electrode arrangement for electrostatic chucks
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.09.2022
Adjustable Dielectric Constant Ceramic Window
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.09.2022
Electrodeposition of metals using an ionically resistive ionically permeable element or a shield spatially tailored to die-level patterns on a substrate
Metallurgie & Oberflächentechnik
22.09.2022
Nozzle for remote plasma cleaning of process chambers
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.09.2022
Polymeric coating for semiconductor processing chamber components
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.09.2022
Control of mask cd
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.09.2022
Untere Randringe
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.09.2022
Halogen-and aliphatic-containing organotin photoresists and methods thereof
Optik & Fototechnik
01.09.2022
Non-Metal Incorporation in Molybdenum On Dielectric Surfaces
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.09.2022
Metal-based liner protection for high aspect ratio plasma etch
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.08.2022
Quantum efficient photoresists and methods thereof
Optik & Fototechnik
18.08.2022
Hybrid liquid/air cooling system for tcp windows
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.08.2022
Duty Cycle Control To Achieve Uniformity
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
11.08.2022
Etch Selectivity Control in Atomic Layer Etching
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.08.2022
Apparatus for dispensing a liquid
Medizintechnik & Gesundheit Verfahrens- & Trenntechnik
10.08.2022
Substratoberflächenmodifikation mit Hohen Euv-Absorbern für Hochleistungs-Euv-Photoresists
Optik & Fototechnik
04.08.2022
Spatially and dimensionally non-uniform channelled plate for tailored hydrodynamics during electroplating
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.08.2022
Matching pre-processing and post-processing substrate samples
Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.08.2022
Electrochemical assembly for forming semiconductor features
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.08.2022
Kantenring für ein Plasmabearbeitungssystem
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.08.2022
Gasversorgungszuführungsvorrichtung mit einem Gasteiler für Einstellbare Gasdurchflussregelung und Verfahren zur Verwendung der Gasversorgungszuführungsvorrichtung
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.07.2022
Profile optimization for high aspect ratio memory using an etch front metal catalyst
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.07.2022
Processing parts using solid-state additive manufacturing
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.07.2022
Selective Silicon Trim By Thermal Etching
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.07.2022
Method of cleaning chamber components with metal etch residues
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik

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