Lam Research Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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2.725 gesamt| Patent | |||
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05.05.2022
Synchronization of rf pulsing schemes and of sensor data collection
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.10.2021
Anhängig
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04.05.2022
Vorrichtung zur Trockenabscheidung von Fotolack
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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04.05.2022
Photoresist mit mehreren Strukturierenden Strahlungsabsorbierenden Elementen Und/oder einem Vertikalen Zusammensetzungsgradienten
Optik & Fototechnik
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04.05.2022
Trockenkammerreinigung von Photoresistfilmen
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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04.05.2022
Backstrategien zur Erhöhung der Lithografischen Leistung eines Metallhaltigen Resists
Optik & Fototechnik
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04.05.2022
Hochgeschwindigkeitssynchronisierung von Plasmaquellen-/vorspannungsleistungsabgabe
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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04.05.2022
Entwicklung von Fotolack mit Halogenidchemikalien
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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28.04.2022
Multi-layer and multi-ringed seals for preventing permeation and leak-by of fluid
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.10.2021
Anhängig
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28.04.2022
Integration of vapor deposition process into plasma etch reactor
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.10.2021
Anhängig
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27.04.2022
Trägerringmaterial mit Reduziertem Durchmesser für Substratverarbeitungssysteme
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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21.04.2022
Systems for controlling plasma density distribution profiles including multi-rf zoned substrate supports
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.10.2021
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20.04.2022
Verfahren zur Herstellung eines Verbesserten Piezoelektrischen Materials
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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14.04.2022
Faceless Showerhead
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 08.10.2021
Anhängig
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14.04.2022
Vapor delivery device
Verfahrens- & Trenntechnik
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 05.10.2021
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14.04.2022
Showerhead with integral divert flow path
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 30.09.2021
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07.04.2022
Coated Conductor For Heater Embedded in Ceramic
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 28.09.2021
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07.04.2022
Passivation chemistry for plasma etching
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.09.2021
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07.04.2022
Synchronization of rf generators
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 24.09.2021
Anhängig
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07.04.2022
Deposition rate enhancement of amorphous carbon hard mask film by purely chemical means
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.09.2021
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07.04.2022
Preplating Edge Dry
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.09.2021
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07.04.2022
High temperature pedestal with extended electrostatic chuck electrode
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.09.2021
Anhängig
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07.04.2022
Voltage transient detector and current transient detector
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Angemeldet am 29.09.2021
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31.03.2022
Compact modular gas distribution plumbing and heating system for multi-station deposition modules
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 24.09.2021
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31.03.2022
Robust Ashable Hard Mask
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.09.2021
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31.03.2022
Selective deposition of metal oxides using silanes as an inhibitor
Verfahrens- & Trenntechnik
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 23.09.2021
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31.03.2022
Remote plasma architecture for true radical processing
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.09.2021
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31.03.2022
Axially cooled metal showerheads for high temperature processes
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 02.06.2021
Anhängig
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30.03.2022
Sixny als eine Nukleierungsschicht für Sicxoy
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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24.03.2022
Hybrid showerhead with separate faceplate for high temperature process
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 09.09.2021
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24.03.2022
Heat-transferring valve flexure and methods
Metallurgie & Oberflächentechnik
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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Status
Angemeldet am 30.08.2021
Anhängig
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24.03.2022
Plasma discharge uniformity control using magnetic fields
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 30.08.2021
Anhängig
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17.03.2022
Temporary Capping Material For Oxide Prevention in Low Temperature Direct Metal-Metal Bonding
Kunststoff- & Polymertechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.09.2021
Anhängig
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17.03.2022
Spinel coating for plasma processing chamber components
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.09.2021
Anhängig
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17.03.2022
Systems and methods for analyzing and intelligently collecting sensor data
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 31.08.2021
Anhängig
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17.03.2022
Rib cover for multi-station processing modules
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 30.08.2021
Anhängig
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10.03.2022
Arcing Reduction in Wafer Bevel Edge Plasma Processing
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.08.2021
Anhängig
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10.03.2022
Atomic layer etching of a semiconductor, a metal, or a metal oxide with selectivity to a dielectric
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.08.2021
Anhängig
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09.03.2022
Verfahren zur Gepulsten Laserabscheidung
Metallurgie & Oberflächentechnik
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03.03.2022
Anodization for metal matrix composite semiconductor processing chamber components
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.08.2021
Anhängig
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03.03.2022
Subtractive Copper Etch
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.08.2021
Anhängig
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Wer vertritt Lam Research?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Lam Research vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
2.172
Metallurgie & Oberflächentechnik
774
Elektronik & Schaltungstechnik
177
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
141
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
118
Optik & Fototechnik
116
Verfahrens- & Trenntechnik
105
Software & Datenverarbeitung
50
Elektrische Energietechnik
44
Steuerungs- & Regelungstechnik
42
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
39
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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