Lam Research Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
Patente durchsuchen
2.725 gesamt| Patent | |||
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27.07.2022
Konstruktion zur Lagerung und Organisation von Teilen mit Minimal-Kontakt-Fläche und Wafer Transfer Pins Während der System Wartung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.12.2016
Erteilt am 27.07.2022
Vertretung
Kontrus, Gerhard · Villach
Mewburn Ellis LLP · München
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21.07.2022
Generating digital twins of semiconductor manufacturing equipment
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 10.01.2022
Anhängig
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21.07.2022
Metal Etch
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.12.2021
Anhängig
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20.07.2022
Systeme und Verfahren zur Kombination Optischer Metrologie mit Massenmetrologie
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 31.08.2018
Erteilt am 20.07.2022
Vertretung
Kontrus, Gerhard · Villach
Mewburn Ellis LLP · München
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14.07.2022
Molybdenum Deposition in Features
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.01.2022
Anhängig
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14.07.2022
Systems and techniques for optical measurement of thin films
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.01.2022
Anhängig
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06.07.2022
Amorphe Kohlenstofffilme Hoher Dichte und Niedriger Härte bei Niedrigem Druck
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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30.06.2022
Adaptive model training for process control of semiconductor manufacturing equipment
Software & Datenverarbeitung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.12.2021
Anhängig
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29.06.2022
Im Wesentlichen Kohlenstofffreie Molybdän- und Wolframhaltige Filme bei der Herstellung von Halbleitervorrichtungen
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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23.06.2022
Atomic layer deposition with multiple uniformly heated charge volumes
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 14.12.2021
Anhängig
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23.06.2022
High selectivity, low stress, and low hydrogen carbon hardmasks in low-pressure conditions with wide gap electrode spacing
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 13.12.2021
Anhängig
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23.06.2022
Machine-Learning in Multi-Step Semiconductor Fabrication Processes
Software & Datenverarbeitung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.12.2021
Anhängig
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23.06.2022
Optimizing Edge Radical Flux in A Downstream Plasma Chamber
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.12.2021
Anhängig
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16.06.2022
Photoresist development with organic vapor
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 03.12.2021
Anhängig
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16.06.2022
Low frequency rf generator and associated electrostatic chuck
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 05.11.2021
Anhängig
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15.06.2022
Aktiver Duschkopf
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 25.10.2017
Erteilt am 15.06.2022
Vertretung
Kontrus, Gerhard · Villach
Mewburn Ellis LLP · München
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15.06.2022
Randringsysteme für Substratverarbeitungssysteme
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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15.06.2022
Bewegliche Randringe mit Verringerter Kapazitätsschwankung für Substratverarbeitungssysteme
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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09.06.2022
Precursor dispensing systems with line charge volume containers for atomic layer deposition
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 01.12.2021
Anhängig
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09.06.2022
Process Kit De-Bubbling
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Angemeldet am 30.11.2021
Anhängig
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09.06.2022
Backside deposition and local stress modulation for wafer bow compensation
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.11.2021
Anhängig
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27.05.2022
Low resistivity contacts and interconnects
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.11.2021
Anhängig
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27.05.2022
Plasma uniformity control using a pulsed magnetic field
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.11.2021
Anhängig
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27.05.2022
Uniformity control circuit for impedance match
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 02.11.2021
Anhängig
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27.05.2022
Plasma uniformity control using a static magnetic field
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 02.11.2021
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27.05.2022
Ceramic component with channels
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 01.11.2021
Anhängig
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27.05.2022
Localized Plasma Arc Prevention Via Purge Ring
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.10.2021
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27.05.2022
Low Resistance Pulsed Cvd Tungsten
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 16.11.2021
Anhängig
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27.05.2022
Substrate support with uniform temperature across a substrate
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 16.11.2021
Anhängig
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27.05.2022
Gas box with cross-flow exhaust system
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.11.2021
Anhängig
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27.05.2022
Sublimation control using downstream pressure sensing
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Angemeldet am 17.11.2021
Anhängig
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27.05.2022
Pedestal Including Seal
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.11.2021
Anhängig
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19.05.2022
Process tool for dry removal of photoresist
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.11.2021
Anhängig
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19.05.2022
Predictive maintenance for semiconductor manufacturing equipment
Steuerungs- & Regelungstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.11.2021
Anhängig
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19.05.2022
Systems and methods for radiofrequency signal generator-based control of impedance matching system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 09.11.2021
Anhängig
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18.05.2022
Filter für eine Plasmafahne
Metallurgie & Oberflächentechnik
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12.05.2022
Spark plasma sintered component for plasma processing chamber
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.11.2021
Anhängig
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05.05.2022
Multi-station tool with rotatable top plate assembly
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.10.2021
Anhängig
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05.05.2022
Magnesium aluminum oxynitride component for use in a plasma processing chamber
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.10.2021
Anhängig
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05.05.2022
Synchronization of rf pulsing schemes and of sensor data collection
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.10.2021
Anhängig
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Wer vertritt Lam Research?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Lam Research vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
2.172
Metallurgie & Oberflächentechnik
774
Elektronik & Schaltungstechnik
177
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
141
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
118
Optik & Fototechnik
116
Verfahrens- & Trenntechnik
105
Software & Datenverarbeitung
50
Elektrische Energietechnik
44
Steuerungs- & Regelungstechnik
42
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
39
Maschinenelemente & Fluidtechnik
31