Lam Research Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
Patente durchsuchen
2.725 gesamt| Patent | |||
|---|---|---|---|
|
04.09.2025
Thermal interface component for a plasma processing tool
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 26.02.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
04.09.2025
Showerhead testing hardware based on particle count
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 31.01.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
04.09.2025
Systems and techniques for bulk precursor delivery for semiconductor processing
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 24.02.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
04.09.2025
Performing Fabrication Process Simulations
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 13.02.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
04.09.2025
Flow monitoring and distribution control via showerhead flow distribution devices
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 25.02.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
28.08.2025
Negative coefficient thermal expansion materials for dynamic bow compensation application
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 19.02.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
28.08.2025
Pedestals for progressive clamping of substrates
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 28.01.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
28.08.2025
Coolant channel designs for substrate supports to remove local nonuniformities
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 17.02.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
27.08.2025
Kantenring zur Verwendung in einer Plasmaprozesskammer und System zur Befestigung eines Solchen Kantenringes
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 15.12.2017
Erteilt am 27.08.2025
Vertretung
Kontrus, Gerhard · Villach
Mewburn Ellis LLP · München
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
21.08.2025
An in-situ ruthenium or cobalt liner for improved high aspect ratio etch with bow control
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 13.02.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
21.08.2025
Bidirectional ion beam etching at high tilt angle for modifying sidewalls of line features
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 11.02.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
21.08.2025
Variable Film Dopant Concentrations For Lateral Etch Rate Control in Reduced Temperature Etching
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 10.02.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
21.08.2025
Showerhead with improved supporting posts
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 10.02.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
21.08.2025
Apparatus and system for flow control and tuning in semiconductor processing
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 12.02.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
21.08.2025
Ion beam aperture control for ion beam substrate processing systems
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 12.02.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
21.08.2025
Dual zone heaters for metallic pedestals
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 27.01.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
21.08.2025
Minimizing Contamination Within Substrate Cleaning Chamber
Verfahrens- & Trenntechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 07.02.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
21.08.2025
Spin planarization of gapfill materials
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 10.02.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
21.08.2025
Edge ring with conductive contact interface
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 14.01.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
20.08.2025
Vorrichtung zum Transport eines Scheibenförmigen Artikels
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
14.08.2025
Designs for metallic straps connecting diodes and heaters embedded in electrostatic chucks
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 07.02.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
14.08.2025
Selective etch of stack using an iodine containing component
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 04.02.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
14.08.2025
Yttrium Aluminum Oxide Ceramic Plate For an Electrostatic Chuck
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 08.01.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
14.08.2025
Indexing of autogapping sensing device for setting gaps between showerheads and substrate supports
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 15.01.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
14.08.2025
Small volume plasma confinement ring for high conductance and uniformity
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 20.12.2024
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
13.08.2025
Wasserstoffreduktion einer Siliziumnitridpassivierungsschicht durch Bildung und Behandlung von Passivierungsunterschichten
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
07.08.2025
Apparatus for processing a wafer-shaped article and gripping pin
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 08.01.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
07.08.2025
Film Deposition Utilizing Reactant in Secondary Purge Gas Flow
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 28.01.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
07.08.2025
End effector for wafer transfer
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 28.01.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
07.08.2025
Robotic chamber cleaning and maintenance
Verfahrens- & Trenntechnik
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 31.01.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
07.08.2025
Electrostatic chuck with polarity swapping and/or polarity balancing for wafer bow control and nonuniformity improvement
Metallurgie & Oberflächentechnik
Steuerungs- & Regelungstechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 10.01.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
07.08.2025
Multi-coil system for etching uniformity control
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 10.01.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
07.08.2025
Systems and methods for achieving process rate uniformity using delivered power
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 20.01.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
07.08.2025
Tungsten films for backside tensile bow compensation
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 29.01.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
06.08.2025
Kuppelförmige Kammer zur Erzeugung von In-Situ-Reinigungsplasma
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
31.07.2025
Backside film deposition to correct for overlay error
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 24.01.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
31.07.2025
Backside deposition of anti-reflective (ar) and high reflective (hr) layer
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 13.01.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
31.07.2025
Dynamic Liquid Touch Point Control
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 07.01.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
31.07.2025
Systems and methods for achieving processing rate uniformity using frequency offsets
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 20.01.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
31.07.2025
Showerhead or shower-pedestal edge ring for film edge thickness modulation
Metallurgie & Oberflächentechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 21.01.2025
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
Wer vertritt Lam Research?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Lam Research vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
2.172
Metallurgie & Oberflächentechnik
774
Elektronik & Schaltungstechnik
177
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
141
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
118
Optik & Fototechnik
116
Verfahrens- & Trenntechnik
105
Software & Datenverarbeitung
50
Elektrische Energietechnik
44
Steuerungs- & Regelungstechnik
42
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
39
Maschinenelemente & Fluidtechnik
31