Lam Research Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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2.725 gesamt| Patent | |||
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30.07.2025
Halbleiterstapel und Verfahren dafür
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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30.07.2025
Einbrennempfindliche Unterschicht zur Reduzierung der Dosis auf die Grösse eines Euv-Fotolacks
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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24.07.2025
Level monitoring of solid precursors
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Steuerungs- & Regelungstechnik
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Status
Angemeldet am 02.01.2025
Anhängig
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24.07.2025
Heat Tuner For Heating Substrates in A Processing Tool
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.01.2025
Anhängig
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17.07.2025
Low-volume showerhead for semiconductor processing operations
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 10.01.2025
Anhängig
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17.07.2025
Plasma generating system for controlling ion energy distribution in a plasma processing system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 06.01.2025
Anhängig
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17.07.2025
Carbon Gapfill
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.01.2025
Anhängig
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17.07.2025
Pulse gaps for etch product refresh and plasma sheath thickness uniformity
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.12.2024
Anhängig
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10.07.2025
Showerhead for a semiconductor processing system
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Angemeldet am 19.12.2024
Anhängig
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09.07.2025
Ätzen einer Thermischen Atomschicht aus Nitrid
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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09.07.2025
Modulares Dampfabgabesystem für Halbleiterprozesswerkzeuge
Metallurgie & Oberflächentechnik
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09.07.2025
Temperaturgesteuerter Duschkopf für ein Verarbeitungswerkzeug
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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02.07.2025
Vorrichtung und Verfahren mit Quarzkristallmikrowaage und Durchflusszelle
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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26.06.2025
Electrostatic chuck with spatially engineered radiofrequency power delivery electrode
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 11.12.2024
Anhängig
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26.06.2025
Method and apparatus for measuring the temperature of a semiconductor wafer
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 16.12.2024
Anhängig
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26.06.2025
In-Situ Calibration Of Gas Flows in Substrate Processing Systems
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.12.2024
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26.06.2025
Sacrificial film to reduce bowing for a high aspect ratio etch
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.12.2024
Anhängig
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26.06.2025
Depositing Etch Stop Layer
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 13.12.2024
Anhängig
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26.06.2025
Selective carbon removal treatment process using metastable activated radical species
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.12.2024
Anhängig
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25.06.2025
Komponenten und Verfahren zur Verwaltung von Plasmaprozessnebenproduktmaterialien
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.01.2019
Erteilt am 25.06.2025
Vertretung
Kontrus, Gerhard · Villach
Mewburn Ellis LLP · München
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19.06.2025
Cooled edge ring with securing mechanism
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.12.2024
Anhängig
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19.06.2025
Systems and apparatus for processing 200 mm wafers in equipment configured for processing 300 mm wafers
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.12.2024
Anhängig
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19.06.2025
Inert anode and electrolyte control
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 13.12.2024
Anhängig
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19.06.2025
Bow control of high aspect ratio features during cryogenic etch
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.12.2024
Anhängig
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19.06.2025
Methods and tools for etching titanium-containing films
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.12.2024
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19.06.2025
Active Divert Pressure Tuning
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 11.12.2024
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19.06.2025
Particle Mitigation By Purging
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 10.12.2024
Anhängig
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19.06.2025
Use of perfluoroalkyl substance-free heat transfer fluids in substrate processing tools
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
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Status
Angemeldet am 10.12.2024
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19.06.2025
Integrated process for metallization
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.12.2024
Anhängig
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19.06.2025
In-situ carbon liner for improved high aspect ratio etch with bow control
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 05.12.2024
Anhängig
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19.06.2025
Systems and methods for orthogonal control of ion energy for har etching
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.12.2024
Anhängig
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19.06.2025
Systems and methods for achieving ion energy distribution
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.12.2024
Anhängig
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19.06.2025
Systems and methods for energy recovery and resonant hv switching with voltage balancing
Elektrische Energietechnik
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Status
Angemeldet am 04.12.2024
Anhängig
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19.06.2025
Tunable selective lateral etch of silicon using radical species
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.12.2024
Anhängig
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19.06.2025
Stress tuning of molybdenum
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 10.12.2024
Anhängig
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19.06.2025
Fractal showerhead for flow uniformity
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 13.11.2024
Anhängig
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12.06.2025
Assembled window for processing chamber
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 30.10.2024
Anhängig
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12.06.2025
Multi-Operational Soft Bod Y Vine Robot
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.12.2024
Anhängig
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12.06.2025
In-situ process monitoring of photoresist using optical sensor
Optik & Fototechnik
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Angemeldet am 04.12.2024
Anhängig
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12.06.2025
Ceramic top plate with an annular projection to protect a seal ring and a bonding layer of a substrate support from ion erosion
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.12.2024
Anhängig
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Wer vertritt Lam Research?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Lam Research vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
2.172
Metallurgie & Oberflächentechnik
774
Elektronik & Schaltungstechnik
177
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
141
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
118
Optik & Fototechnik
116
Verfahrens- & Trenntechnik
105
Software & Datenverarbeitung
50
Elektrische Energietechnik
44
Steuerungs- & Regelungstechnik
42
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
39
Maschinenelemente & Fluidtechnik
31