Lam Research Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725

Patente

2000–2025

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

Patente durchsuchen

2.725 gesamt

Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
23.10.2025	23.10.2025 Oxidizing Plasma-Free Silicon Oxide Deposition WO2025221797 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.04.2025 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.10.2025	23.10.2025 Edge ring carriers for semiconductor processing WO2025221866 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.04.2025 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.10.2025	23.10.2025 In-situ cleaning of a vacuum transfer module end effector WO2025221406 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.03.2025 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.10.2025	23.10.2025 Method for isolating vertical conductive lines in high aspect ratio features WO2025221490 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.04.2025 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.10.2025	22.10.2025 Verringerung der Partikelkontamination eines Lasereingangsfensters in einem Gepulsten Laserabscheidungswerkzeug EP4634431 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.12.2023 Anhängig Vertretung Mewburn Ellis LLP · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.10.2025	22.10.2025 Einbrennstrategien zur Verbesserung der Lithografischen Leistung eines Metallhaltigen Resists EP4567518 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.06.2020 Anhängig Vertretung Mewburn Ellis LLP · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.10.2025	16.10.2025 Electrostatic chuck with multi-component ceramic coating applied to baseplate WO2025217325 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Elektrische Energietechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.04.2025 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.10.2025	16.10.2025 Isonitrile Inhibitors in Ald WO2025217071 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.04.2025 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.10.2025	16.10.2025 Dielectric etch with reduced distortion WO2025216970 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.04.2025 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.10.2025	16.10.2025 Silicon oxide etch with nitrogen containing etch component WO2025216868 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.03.2025 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.10.2025	16.10.2025 Etching using a carbon-containing film precursor WO2025217031 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.04.2025 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.10.2025	16.10.2025 Edge ring compensation monitoring and adjustment during plasma processing WO2025217009 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.04.2025 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.10.2025	16.10.2025 Edge Ring For High Temperature Tolerance in Substrate Processing Systems WO2025217112 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.04.2025 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.10.2025	15.10.2025 Endpunktdetektion und -Verfolgung von Photoresistprozessen EP4630881 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.12.2023 Anhängig Vertretung Mewburn Ellis LLP · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.10.2025	09.10.2025 Analyzed-Image Liquid-Level Sensor WO2025212813 Metallurgie & Oberflächentechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.04.2025 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.10.2025	09.10.2025 Cryogenic Chuck For Narrow Ion Angular Spread in Substrate Processing Systems WO2025212333 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.03.2025 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.10.2025	09.10.2025 Control of spatial density of plasma with process stations by return path reactance tuning WO2025212356 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.03.2025 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.10.2025	09.10.2025 Gas distribution assembly for semiconductor processing chamber with aluminum nitride layer WO2025212306 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.03.2025 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.10.2025	09.10.2025 Two-piece cooling plate for a showerhead of a substrate processing system WO2025212331 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.03.2025 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.10.2025	09.10.2025 Dry development simulation methods for photoresist films WO2025212523 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 31.03.2025 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.10.2025	09.10.2025 Virtual experimentation platform for photolithography process flow WO2025212378 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.03.2025 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.10.2025	02.10.2025 Temporal Switching To Achieve Geometric Selective Deposition Of Carbon in Patterned Features WO2025208079 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.03.2025 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.10.2025	02.10.2025 Leak detection for a separated anode chamber WO2025207366 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.03.2025 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.10.2025	01.10.2025 Waferzentriersysteme nach der Positionierung für Halbleiterbearbeitungswerkzeuge EP4623464 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.11.2023 Anhängig Vertretung Mewburn Ellis LLP · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.09.2025	25.09.2025 Mixed Mode Atomic Layer Deposition/chemical Vapor Deposition WO2025199156 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.03.2025 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.09.2025	18.09.2025 Backside sealing of a semiconductor substrate WO2025193555 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.03.2025 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.09.2025	18.09.2025 Near ir laser based contactless wafer temperature measurement WO2025193547 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.03.2025 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.09.2025	18.09.2025 Gas Flow Distribution Measurement WO2025193455 Metallurgie & Oberflächentechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.02.2025 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.09.2025	17.09.2025 Komponenten und Verfahren zur Verwaltung von Plasmaprozessnebenproduktmaterialien EP4578991 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.01.2019 Anhängig Vertretung Mewburn Ellis LLP · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.09.2025	12.09.2025 Degas module for pulsed laser deposition WO2025188670 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.03.2025 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.09.2025	12.09.2025 Systems and methods for providing forward power during a bin WO2025188677 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.03.2025 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.09.2025	12.09.2025 Ampoule containing solid precursor for atomic layer deposition processes WO2025188535 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.02.2025 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.09.2025	12.09.2025 Transformerless pulsed bias voltage generator with damper WO2025188546 Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.02.2025 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.09.2025	11.09.2025 Zero Dead-Leg Orifice Bypass WO2025188551 Maschinenelemente & Fluidtechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.02.2025 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.09.2025	11.09.2025 Composite Pulsed-Valve Manifold WO2025188552 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.02.2025 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.09.2025	04.09.2025 Flow monitoring and distribution control via showerhead flow distribution devices WO2025184059 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.02.2025 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.09.2025	04.09.2025 Showerhead testing hardware based on particle count WO2025183854 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 31.01.2025 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.09.2025	04.09.2025 Systems and techniques for bulk precursor delivery for semiconductor processing WO2025184048 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.02.2025 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.09.2025	04.09.2025 Performing Fabrication Process Simulations WO2025183905 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.02.2025 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.09.2025	04.09.2025 Equipment and method for post-exposure bake and dry development of extreme ultraviolet photoresists WO2025184252 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.02.2025 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen