MKS Instruments Patente
🇺🇸 USA
MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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425 gesamt| Patent | |||
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25.02.2026
Verbesserte Abstimmungsverfahren zur Abschwächung von Hf-Lastimpedanzvariationen Aufgrund Periodischer Störungen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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18.02.2026
Radikalausgabemonitor für eine Entfernte Plasmaquelle und Verfahren zur Verwendung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 12.06.2019
Erteilt am 18.02.2026
Vertretung
MKS IP Association · Berlin
HGF · München
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03.12.2025
Nichtinvasive Ied-Schätzung für Anwendungen mit Gepulstem Gleichstrom und Niedriger Frequenz
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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03.12.2025
Gepulster Hf-Plasmagenerator mit Hohem Dynamikbereich
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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30.10.2025
Toroidal plasma source and method of using the same
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.04.2025
Anhängig
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22.10.2025
Verfahren und Vorrichtung zur Massendurchflussregelung
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.09.2023
Anhängig
Vertretung
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24.09.2025
Hf-Impulsflankenformung
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 24.10.2013
Erteilt am 24.09.2025
Vertretung
Jaszek, Ryszard · London
MKS IP Association · Berlin
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27.08.2025
Resonanzübertragungsleitung zur Lieferung von Rf-Präzisionsspannung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.11.2019
Erteilt am 27.08.2025
Vertretung
Epping - Hermann - Fischer · München
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20.08.2025
Pirani-Messgerät
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 06.10.2023
Anhängig
Vertretung
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06.08.2025
System und Verfahren zur Stromerzeugung mit Phasengekoppelten Festkörpergeneratormodulen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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24.07.2025
Methods and apparatus for reporting inlet pressure in mass flow controllers
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Steuerungs- & Regelungstechnik
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Status
Angemeldet am 15.01.2025
Anhängig
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16.07.2025
Extremwertsuchende Steuerungsvorrichtungen mit Online-Parametereinstellung und Verfahren
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.03.2023
Anhängig
Vertretung
MKS IP Association · Berlin
Mathys & Squire · München
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16.07.2025
Extremwertsteuerungsvorrichtungen und Verfahren zur Automatischen Frequenzabstimmung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.06.2023
Anhängig
Vertretung
MKS IP Association · Berlin
Mathys & Squire · München
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19.06.2025
Electronic device cooling system and method of using the same
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 26.11.2024
Anhängig
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18.06.2025
Plasmaprozesssteuerung von mit Ionenenergiesensoren Ausgestatteten Multielektrodensystemen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.06.2023
Anhängig
Vertretung
MKS IP Association · Berlin
Mathys & Squire · München
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05.06.2025
Source tuning with pulsed dc bias
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.08.2024
Anhängig
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04.06.2025
System zur Abgabe von Ozoniertem Wasser und Verfahren zur Verwendung
Verfahrens- & Trenntechnik
Anorganische Chemie & Werkstoffe
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28.05.2025
Plasmaquelle mit einer Dielektrischen Plasmakammer mit Verbesserter Plasmabeständigkeit und ein Verfahren zur Herstellung einer Plasmakammer mit Verbesserter Plasmabeständigkeit
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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01.05.2025
Power Factor Correction Architecture
Elektrische Energietechnik
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Status
Angemeldet am 17.10.2024
Anhängig
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24.04.2025
Process gas delivery control system with concentration monitoring
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 14.10.2024
Anhängig
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09.04.2025
Ventilvorrichtungen und Zugehörige Verfahren zur Reaktiven Prozessgasisolierung und Spülerleichterung Während der Isolierung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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19.02.2025
Beschichtungen zur Verwendung in Fernplasmaquellenanwendungen und Verfahren zu deren Herstellung
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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12.02.2025
Nichtinvasiver Echtzeit-Iedf-Plasmasensor
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 11.01.2023
Anhängig
Vertretung
Mathys & Squire · München
MKS IP Association · Berlin
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29.01.2025
Verfahren und Vorrichtung zur Massenflussüberprüfung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 24.02.2023
Anhängig
Vertretung
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02.01.2025
Endpunktdetektionssystem und Verfahren zur Verwendung davon
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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02.01.2025
Pulsformung unter Verwendung einer Teilbereichsabstimmvorrichtung und Verfahren
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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02.01.2025
Pulsformung unter Verwendung einer Teilbereichsabstimmvorrichtung und Verfahren
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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02.01.2025
Endpunktdetektionssystem und Verfahren zur Verwendung davon
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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25.12.2024
Vorrichtung zur Druckbasierten Massenflusssteuerung und Montageverfahren der Vorrichtung
Steuerungs- & Regelungstechnik
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Status
Angemeldet am 23.01.2023
Anhängig
Vertretung
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05.12.2024
Gepulster Hf-Plasmagenerator mit Hohem Dynamikbereich
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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05.12.2024
Gepulster Hf-Plasmagenerator mit Hohem Dynamikbereich
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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04.12.2024
Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung des Gesundheitszustands eines Plasmasystems
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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27.11.2024
Beheizte Drosselklappenvorrichtung und Verfahren zu Ihrer Verwendung und Herstellung
Maschinenelemente & Fluidtechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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20.11.2024
Verfahren und Systeme zur Impuls- und Vorspannungssynchronisierung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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06.11.2024
Entmagnetisierungsspulen zur Linearitätsverbesserung des Stromverhältnisses von Plasmaverarbeitungssystemen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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23.10.2024
System zur Abgabe von Gelöstem Ammoniak und Verfahren zur Verwendung
Anorganische Chemie & Werkstoffe
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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09.10.2024
Festkörperimpedanzanpassungssysteme mit einem Hybriden Abstimmnetzwerk mit einem Schaltbaren Grobabstimmungsnetzwerk und einem Varaktor-Feinabstimmungsnetzwerk
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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18.09.2024
Verfahren und Systeme zur Rückkopplungssteuerung in der Plasmaverarbeitung mittels Radikalerfassung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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04.09.2024
Stromversorgungsvorrichtung
Steuerungs- & Regelungstechnik
Elektrische Energietechnik
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21.08.2024
Mikrowellenapplikator mit Solid-State Generator
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Wer vertritt MKS Instruments?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die MKS Instruments vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
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