MKS Instruments Patente
🇺🇸 USA
MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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425 gesamt| Patent | |||
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09.06.2005
Integrated absolute and differential pressure transducer
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 24.11.2004
Anhängig
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07.04.2005
Two phase flow sensor using tomography techniques
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 20.09.2004
Anhängig
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16.02.2005
Verfahren und Vorrichtung zur Vhf-Plasmabehandlung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.04.2003
Anhängig
Vertretung
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16.02.2005
Stabilierung Elektronegativer Plasmen mittels Rückkopplungs-Regelung von Rf-Generator-Systemen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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02.02.2005
Stauscheibe für einen kapazitiven Drucksensor
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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27.01.2005
Graphical user interface with process quality indicator
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 09.07.2004
Anhängig
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27.01.2005
Method and apparatus for automated bi-directional integration of peripheral data sources for a production tool
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 09.07.2004
Anhängig
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20.01.2005
System and method for in-situ flow verification and calibration
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 24.05.2004
Anhängig
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23.12.2004
Method for protecting a pneumatic control system from ingested contamination
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.06.2004
Anhängig
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02.12.2004
Thermal anemometry mass flow measurement apparatus and method
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 17.05.2004
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04.11.2004
Verfahren und Vorrichtung zur Konditionierung eines Gasstromes um Somit die Messung einer Druckänderungsrate zu Verbessern
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Steuerungs- & Regelungstechnik
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Status
Angemeldet am 11.02.2004
Anhängig
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13.10.2004
Druckaufnehmer mit Dual-Slope Ausgangssignal
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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22.07.2004
Pendulum Valve Assembly
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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Status
Angemeldet am 26.11.2003
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05.02.2004
Pressure controlled degas system for hot cathode ionization pressure gauges
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 25.07.2003
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21.01.2004
Stauscheibe für einen Kapazitiven Drucksensor
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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30.10.2003
Druckwandler mit Kompensation für Thermische Durchgänge
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 18.04.2003
Anhängig
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22.10.2003
Kapazitiver Druckwandler mit Verbessertem Elektrodensitz
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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30.01.2003
System zur Dampfabgabe
Verfahrens- & Trenntechnik
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Status
Angemeldet am 16.07.2002
Anhängig
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10.10.2002
System zur Beschleunigten Partikel/gas Trennung
Verfahrens- & Trenntechnik
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Status
Angemeldet am 12.03.2002
Anhängig
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03.10.2002
Kondensationsfalle und Methode für Kondensierbare Nebenprodukte einer Abscheidungsreaktion
Verfahrens- & Trenntechnik
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Status
Angemeldet am 08.03.2002
Anhängig
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01.11.2001
Heizungsregelsystem mit Entfernten Einheiten, die Integrierte Stromversorgungen Aufweisen und Elektronische Temperaturregelung
Steuerungs- & Regelungstechnik
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Status
Angemeldet am 20.04.2001
Anhängig
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11.10.2001
Klappventil
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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Status
Angemeldet am 29.03.2001
Anhängig
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27.09.2001
Differentialkombination und Absolutdruckwandler zur Kontrolle von Ladungsschleusen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.03.2001
Anhängig
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26.07.2001
Apparat und Methode zum Entfernen Kondensierbarer Aluminiumdämpfe aus Aluminium-Ätzgasen
Verfahrens- & Trenntechnik
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 19.01.2001
Anhängig
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12.04.2001
Flow Control Valve Assembly
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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Status
Angemeldet am 29.09.2000
Anhängig
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Wer vertritt MKS Instruments?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die MKS Instruments vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
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